맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

가스센서 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2014036561
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 가스센서 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 촉매가 함유된 다공성 구조의 금속산화물 박층을 감지소재로 이용한 가스센서 및 그 제조방법에 관한 것이다. 이를 위해, 본 발명은 센서 기판 위에 희생입자가 균일하게 분산된 희생입자층을 형성하는 단계; 상기 희생입자층 위에 스퍼터링 방법을 이용하여 촉매가 포함된 금속산화물 감지층을 형성하는 단계; 및 상기 촉매가 포함된 금속산화물 감지층을 열처리하여 상기 희생입자층을 제거하여 촉매가 포함된 다공성 금속산화물 감지층을 얻는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스센서의 제조방법을 제공한다. 기판, 전극, 촉매, 금속산화물, 다공성, 희생입자층
Int. CL G01N 27/12 (2006.01) G01N 27/407 (2006.01)
CPC G01N 27/12(2013.01) G01N 27/12(2013.01) G01N 27/12(2013.01) G01N 27/12(2013.01) G01N 27/12(2013.01)
출원번호/일자 1020090004532 (2009.01.20)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-1092865-0000 (2011.12.06)
공개번호/일자 10-2010-0085321 (2010.07.29) 문서열기
공고번호/일자 (20111214) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.01.20)
심사청구항수 13

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김일두 대한민국 서울특별시 동작구
2 윤석진 대한민국 서울특별시 도봉구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 이학수 대한민국 부산광역시 연제구 법원로 **, ****호(이학수특허법률사무소)
2 백남훈 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, KTB네트워크빌딩**층 한라국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.01.20 수리 (Accepted) 1-1-2009-0035536-83
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2010.02.18 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2010.03.15 수리 (Accepted) 9-1-2010-0014823-12
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.03.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0123929-15
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.05.04 수리 (Accepted) 1-1-2011-0333294-99
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.05.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0333292-08
8 등록결정서
Decision to grant		 2011.10.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0612539-48
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
가스센서의 제조방법에 있어서, 센서 기판(10) 위에 희생입자가 균일하게 분산된 희생입자층(14)을 형성하는 단계; 상기 희생입자층(14) 위에 스퍼터링 방법을 이용하여 촉매(12)가 포함된 금속산화물 감지층(13)을 형성하는 단계; 및 상기 촉매(12)가 포함된 금속산화물 감지층(13)을 열처리하여 상기 희생입자층(14)을 제거하여 촉매(12)가 포함된 다공성 금속산화물 감지층(13)을 얻는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스센서의 제조방법
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 센서 기판(10) 위에는 외부 가스 노출에 대해서 저항의 변화를 감지할 수 있는 센서 전극(11)이 형성된 것을 특징으로 하는 가스센서의 제조방법
3 3
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 희생입자의 평균 크기는 100㎚ ~ 10㎛의 범위에 있는 것을 특징으로 하는 가스센서의 제조방법
4 4
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 희생입자는 구형의 고분자 유기입자인 것을 특징으로 하는 가스센서의 제조방법
5 5
청구항 4에 있어서, 상기 구형의 고분자 유기입자는 폴리스타이렌(PS), 폴리메틸메싸크릴레이트(PMMA), 폴리염화비닐(PVC), 폴리부타디엔(poly(butadiene)), 폴리스타이렌-코-아크릴로나이트릴(poly(strene-co-acrylonitrile)(SAN)), 폴리염화비닐리덴-코-염화비닐(poly(vinylidene chloride-co-vinyl chloride)), 라텍스(latex), 폴리불화비닐리덴(poly(vinylidene fluoride)(PVDF)) 중 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 가스센서의 제조방법
6 6
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 희생입자층(14)은 단층 또는 복층으로 형성된 것을 특징으로 하는 가스센서의 제조방법
7 7
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 촉매(12)가 포함된 다공성 금속산화물 감지층(13)은 스퍼터링법을 이용하여 복수의 타겟으로부터 증착되는 것을 특징으로 하는 가스센서의 제조방법
8 8
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 촉매(12)가 포함된 다공성 금속산화물 감지층(13)은 촉매(12)가 포함된 금속산화물의 단일 타겟으로부터 증착된 것을 특징으로 하는 가스센서의 제조방법
9 9
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 열처리 후에 얻어지는 촉매(12)가 포함된 다공성 금속산화물 감지층(13)의 두께는 10㎚ ～ 1 ㎛의 범위 내에 있는 것을 특징으로 하는 가스센서의 제조방법
10 10
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 희생입자층(14)의 형성단계와, 상기 촉매(12)가 포함된 금속산화물 감지층(13)의 형성단계 및 상기 열처리 단계를 반복하여 다층 구조의 촉매(12)가 포함된 금속산화물 감지층(13)을 얻는 것을 특징으로 하는 가스센서의 제조방법
11 11
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 열처리는 300 ~ 800℃에서 10분 ~ 2시간 동안 이루어지는 것을 특징으로 하는 가스센서의 제조방법
12 12
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 촉매(12)는 Pt, Pd, Ni, Cu, Fe 중에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 가스센서의 제조방법
13 13
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 금속산화물은 SnO2, TiO2, ZnO, VO2, In2O3, NiO, MoO3, SrTiO3, Fe2O3, WO3 및 CuO 중에서 선택된 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 가스센서의 제조방법
14 14
삭제
15 15
삭제
16 16
삭제
17 17
삭제
18 18
삭제
19 19
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국과학기술연구원 부품소재기술개발사업(소재원천) In-Situ 공정에 의한 나노구조체 지능형 소재 기술