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기판 정렬 모듈을 구비한 리소그래피 장치

  • 기술번호 : KST2014039845
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 기판과 스탬프의 위치를 정렬하고 정렬된 상태를 고정 및 유지시킬 수 있는 기판 정렬 모듈과 이를 구비하는 리소그래피 장치가 개시된다. 기판을 정렬하고 정렬된 기판 및 스탬프의 위치를 유지할 수 있는 기판 및 스탬프 모듈은, 기판이 장착되는 기판 홀더, 스탬프가 장착되는 스탬프 홀더 및 상기 스탬프 홀더 또는 상기 기판 홀더 중 일측에 구비되어 상기 기판과 상기 스탬프를 고정시키는 기판 고정부를 포함하여 구성될 수 있다. 여기서, 기판 및 스탬프 모듈은 정렬된 기판을 고정시킨 상태로 기판 및 스탬프 모듈 자체가 이송 및 리소그래피 장치에 장착되어 리소그래피 공정이 수행된다. 임프린트 리소그래피(imprint lithography), 기판 및 스탬프 정렬
Int. CL H01L 21/027 (2006.01) H01L 21/67 (2006.01)
CPC G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01)
출원번호/일자 1020090063435 (2009.07.13)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1005582-0000 (2010.12.27)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20110105) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.07.13)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 임형준 대한민국 대전시 유성구
2 이재종 대한민국 대전시 유성구
3 최기봉 대한민국 대전시 유성구
4 김기홍 대한민국 대전시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 무한 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(역삼동,화물재단빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.07.13 수리 (Accepted) 1-1-2009-0423687-14
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2009.07.17 수리 (Accepted) 1-1-2009-0436028-40
3 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2010.07.16 수리 (Accepted) 1-1-2010-0460213-12
4 [우선심사신청]선행기술조사의뢰서
[Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search		 2010.07.20 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search		 2010.07.26 수리 (Accepted) 9-1-2010-0046664-43
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.09.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0413062-70
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.10.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0677619-78
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.10.20 수리 (Accepted) 1-1-2010-0677618-22
9 등록결정서
Decision to grant		 2010.12.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0582264-15
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판이 장착되는 기판 홀더; 스탬프가 장착되는 스탬프 홀더; 및 상기 스탬프 홀더 또는 상기 기판 홀더 중 일측에 구비되어 상기 기판과 상기 스탬프를 고정시키는 기판 고정부; 를 포함하고, 상기 기판 홀더에 상기 기판이 장착되고 상기 스탬프 홀더에 상기 스탬프가 장착된 상태에서 상기 기판 및 상기 스탬프를 이송하고 리소그래피 장치에 장착되는 기판 및 스탬프 모듈
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서, 상기 기판 홀더 또는 상기 스탬프 홀더는 진공 척이나 정전 척 중 어느 하나의 형태를 갖는 기판 및 스탬프 모듈
4 4
기판을 정렬하는 기판 정렬 모듈; 상기 기판과 스탬프가 장착되고 상기 스탬프의 패턴을 상기 기판에 전사하는 임프린트 모듈; 상기 기판 정렬 모듈과 상기 임프린트 모듈 사이에 구비되어 상기 기판 및 상기 스탬프를 이송하는 기판 이송 모듈; 및 상기 기판 정렬 모듈에서 정렬된 상기 기판과 상기 스탬프를 고정시킨 상태로 이송 및 상기 임프린트 모듈에 장착되는 기판 및 스탬프 모듈; 을 포함하고, 상기 기판 정렬 모듈은, 상기 기판의 위치를 측정하는 기판 측정부; 및 상기 기판 측정부에서 측정된 결과에 따라 상기 기판의 위치를 조정하는 기판 정렬 스테이지; 를 포함하는 리소그래피 장치
5 5
제4항에 있어서, 상기 기판 및 스탬프 모듈은, 기판이 장착되는 기판 홀더; 스탬프가 장착되는 스탬프 홀더; 및 상기 스탬프 홀더 또는 상기 기판 홀더 중 일측에 구비되어 상기 기판과 상기 스탬프를 고정시키는 기판 고정부; 를 포함하고, 상기 스탬프 홀더를 투과성 재질로 형성된 리소그래피 장치
6 6
삭제
7 7
제4항에 있어서, 상기 기판 정렬 스테이지는, 상기 기판의 각도를 조정하는 각도 조정 스테이지; 상기 기판의 높이를 조정하는 높이 조정 스테이지; 및 상기 기판의 수평 위치를 조정하는 수평 조정 스테이지; 를 포함하는 리소그래피 장치
8 8
제7항에 있어서, 상기 수평 조정 스테이지는 제1 단위 수준으로 상기 기판의 수평 위치를 조정하는 제1 수평 조정 스테이지 및 상기 제1 수평 조정 스테이지보다 더 세밀한 제2 단위 수준으로 상기 기판의 수평 위치를 조정하는 제2 수평 조정 스테이지를 포함하는 리소그래피 장치
9 9
제4항에 있어서, 상기 기판 정렬 모듈은 상기 기판 홀더를 고정시키는 기판 홀더 고정부와 상기 스탬프 홀더를 선택적으로 고정시키는 스탬프 홀더 고정부를 포함하고, 상기 기판 홀더 고정부와 상기 스탬프 홀더 고정부는 자기력, 정전기력, 공기압 중 어느 하나의 방식을 이용하여 상기 기판 홀더 또는 상기 스탬프 홀더를 고정시키는 리소그래피 장치
10 10
제4항에 있어서, 상기 임프린트 모듈은 상기 스탬프의 패턴을 전사하고 상기 기판에 도포된 레지스트를 경화시키기 위한 패터닝부가 구비되고, 상기 패터닝부는 상기 기판 및 스탬프 모듈을 가압하는 가압부, 가열하는 가열부 및 상기 기판 및 스탬프 모듈에 광을 조사하는 광원부 중 어느 하나 또는 둘 이상을 포함하는 리소그래피 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 한국기계연구원 나노메카트로닉스 사업 다층 나노임프린팅 장비핵심원천기술개발