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정전용량형 마이크로 경사계 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2014044343
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 정전용량형 마이크로 경사계는, 정전용량을 검출하는 이동 전극과 고정 전극이 형상 결함이 없는 평탄하고 수직한 측면을 가지면서 경사진 빗살형상으로 형성되어 종래의 정전용량형 마이크로 경사계에 비하여 정전용량의 변화를 민감하게 검출할 수 있다. 또한, 이동 전극에 대한 고정 전극의 상하 간격이 서로 다르기 때문에, 전체 경사 각도 범위에서 정전용량의 변화를 고감도로 검출할 수 있다. 경사계, (110) 결정질 실리콘, (111) 결정면, 결정성 습식 식각, 경사진 빗살형상, 정전용량, 표면 거칠기, 평활도, 잡음
Int. CL B81C 1/00 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01) G01C 9/06 (2006.01) G01R 27/26 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020090037239 (2009.04.28)
출원인 한국전자통신연구원, 광주과학기술원
등록번호/일자 10-1090697-0000 (2011.12.01)
공개번호/일자 10-2010-0118406 (2010.11.05) 문서열기
공고번호/일자 (20111208) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.04.28)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이명래 대한민국 대전광역시 유성구
2 이종현 대한민국 광주광역시 북구
3 윤성식 대한민국 광주광역시 북구
4 정대훈 대한민국 광주광역시 북구
5 최창억 대한민국 대전 유성구
6 황건 대한민국 서울 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 신영무 대한민국 서울특별시 강남구 영동대로 ***(대치동) KT&G타워 *층(에스앤엘파트너스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.04.28 수리 (Accepted) 1-1-2009-0258809-61
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.05.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0248419-84
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.07.07 수리 (Accepted) 1-1-2011-0520994-72
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.07.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0521002-95
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.09.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5187089-85
7 등록결정서
Decision to grant		 2011.11.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0685902-19
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
경사 각도에 따라 기울어지는 질량체; 상기 질량체의 경사 각도에 따라 변위되어 상기 질량체를 소정 방향으로 이동시키는 스프링; 및 상기 질량체의 이동에 의한 정전용량의 변화를 검출하는 이동 전극 및 고정 전극을 포함하되, 상기 이동 전극과 상기 고정 전극은 평탄하고 수직한 측면을 가지며, 경사진 빗살형상으로 형성되고, 상기 이동 전극에 대한 상기 고정 전극의 상하 간격이 서로 다른 것을 특징으로 하는 정전용량형 마이크로 경사계
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 이동 전극 및 상기 고정 전극과, 상기 스프링은 (110) 결정질 실리콘 기판을 (111) 결정면에 정렬하여 DRIE(Deep Reactive Ion Etching) 공정으로 식각한 후, 식각 측면을 결정성 습식 식각법으로 더 식각하여 형성된 것을 특징으로 하는 정전용량형 마이크로 경사계
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 이동 전극의 수직 측면 및 상기 고정 전극의 수직 측면과, 상기 스프링의 수직 측면은 상기 (110) 결정질 실리콘 기판의 (111) 결정면에 정렬된 것을 특징으로 하는 정전용량형 마이크로 경사계
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 경사진 빗살형상의 이동 전극은 상기 질량체와 일체로 형성되어 상기 질량체와 함께 소정 방향으로 이동되고, 상기 경사진 빗살형상의 고정 전극은 상기 이동 전극과 마주보는 형태로 소정 간격 이격되어 형성되며, 상기 이동 전극에 대한 상기 고정 전극의 상하 간격에 있어, 이동 전극에 대한 고정 전극의 아래쪽 간격(DL)이 이동 전극에 대한 고정 전극의 위쪽 간격(DH)보다 더 큰 것을 특징으로 하는 정전용량형 마이크로 경사계
5 5
제 4 항에 있어서, 상기 질량체가 소정 방향으로 이동되면, 상기 이동 전극과 상기 고정 전극이 겹쳐지는 면적과 상기 상하 간격이 변화되어, 상기 이동 전극과 상기 고정 전극간의 정전용량이 변화되는 것을 특징으로 하는 정전용량형 마이크로 경사계
6 6
제 5항에 있어서, 상기 이동 전극에 대한 상기 고정 전극의 상하 간격에 의한 정전용량의 변화량이 상기 이동 전극과 상기 고정 전극이 겹쳐지는 면적에 의한 정전용량의 변화량 보다 더 큰 것을 특징으로 하는 정전용량형 마이크로 경사계
7 7
삭제
8 8
(a) (110) 결정질 실리콘 기판을 기판과 수직한 (111) 방향의 결정면에 정렬하여 DRIE(Deep Reactive Ion Etching) 공정으로 식각하여 경사진 빗살형상의 이동 전극과 고정 전극, 및 스프링을 각각 형성하는 단계와, (b) 상기 이동 전극과 상기 고정 전극, 및 상기 스프링의 식각 측면을 결정성 습식 식각법으로 식각하는 단계를 포함하고, 상기 (a) 단계에서, 상기 이동 전극에 대한 상기 고정 전극의 상하 간격이 서로 다르게 형성되는 것을 특징으로 하는 정전용량형 마이크로 경사계의 제조 방법
9 9
삭제
10 10
삭제
11 11
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 및 정보통신연구진흥원 한국전자통신연구원 IT원천기술개발 유비쿼터스용 CMOS 기반 MEMS 복합센서기술개발