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전극용 투명 도전막 및 이의 제조방법

  • 기술번호 : KST2014045353
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 (a) 산화인듐, (b) 산화주석, 및 (c) Zr, Ce, Ca, Ga, Gd, Er, Eu 및 Tb 로 구성된 군으로부터 선택된 1종 이상의 금속(M)을 함유하고 환원처리된 금속산화물로서, 상기 환원처리된 금속산화물의 금속(M)은 미처리된 금속산화물의 금속(M) 대비 이온 반경비가 1.2~1.7 : 1 범위인 금속 산화물을 포함하는 산화인듐주석 타켓으로부터 형성된 투명 도전막 및 이의 제조방법을 제공한다.본 발명에서는 산화인듐주석의 결정 성장을 억제시키는 도펀트 물질을 사용함으로써, 균일한 모폴로지를 갖는 산화인듐주석 타겟을 제공하여 높은 광투과율과 낮은 표면저항을 갖는 투명 도전성 박막을 제작할 수 있다.
Int. CL C23C 14/34 (2006.01) C23C 14/08 (2006.01)
CPC C23C 14/3407(2013.01) C23C 14/3407(2013.01) C23C 14/3407(2013.01) C23C 14/3407(2013.01) C23C 14/3407(2013.01) C23C 14/3407(2013.01) C23C 14/3407(2013.01)
출원번호/일자 1020100097398 (2010.10.06)
출원인 한국전자통신연구원, 주식회사 나노신소재
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2012-0035707 (2012.04.16) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.10.06)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 주식회사 나노신소재 대한민국 세종특별자치시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정승묵 대한민국 경기도 수원시 영통구
2 정우석 대한민국 대전광역시 유성구
3 황치선 대한민국 대전광역시 유성구
4 조경익 대한민국 대전광역시 유성구
5 김상희 대한민국 대전광역시 유성구
6 박장우 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 고려 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.10.06 수리 (Accepted) 1-1-2010-0646028-89
2 보정요구서
Request for Amendment
2010.10.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2010-0089426-75
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2010.10.21 수리 (Accepted) 1-1-2010-0680240-49
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.09.27 수리 (Accepted) 4-1-2012-5204781-41
5 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2013.11.04 수리 (Accepted) 1-1-2013-0999357-88
6 [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Resignation of Agent] Report on Agent (Representative)
2014.11.18 수리 (Accepted) 1-1-2014-1110948-69
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.06.09 수리 (Accepted) 4-1-2015-0033155-99
9 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2015.10.06 수리 (Accepted) 1-1-2015-0967250-87
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.10.06 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0967249-30
11 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.04.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
12 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.06.10 수리 (Accepted) 9-1-2016-0026788-55
13 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2016.10.14 수리 (Accepted) 1-1-2016-0998438-13
14 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.11.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0789589-09
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2016-5186477-02
16 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.01.02 수리 (Accepted) 1-1-2017-0002104-87
17 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.01.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0002105-22
18 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2017.02.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0118818-45
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(a) 산화인듐, (b) 산화주석, 및 (c) Zr, Ce, Ca, Ga, Gd, Er, Eu 및 Tb 로 구성된 군으로부터 선택된 1종 이상의 금속(M)을 함유하고 환원처리된 금속산화물로서, 상기 환원처리된 금속산화물의 금속(M)은 미처리된 금속산화물의 금속(M) 대비 이온 반경비가 1
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.