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평면 기판(substrate);
상기 평면 기판(substrate) 상에 또는 상기 평면 기판(substrate) 사이에 원형 배열로 배치되되, 빛을 받아들이는 미세 렌즈(microlens)와, 상기 미세 렌즈(microlens)를 통해 들어온 빛을 도파하는 광도파로(waveguide) 및 상기 미세 렌즈(microlens)와 광도파로(waveguide)를 양 단에서 연결하는 콘 구조체(cone structure)로 이루어지는 인공 오마티디아(artificial ommatidia);
상기 광도파로(waveguide) 끝 단에 연결되어 상기 광도파로(waveguide)를 통과한 빛을 후술할 광 디텍터(photodetector)로 보내는 그래팅(grating); 및
상기 그래팅(grating) 하부에 일렬 또는 원형으로 배열되어 상기 그래팅(grating)을 통과한 빛을 감지하는 광 디텍터(photodetector)를 포함하여 특정 방향에서 들어오는 광학 신호를 감지하여 물체의 위치 또는 움직임을 감지하는 것을 특징으로 하는 2차원 방향 감지 광센서 모듈
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3
평면 기판(substrate);
상기 평면 기판(substrate) 상에 또는 상기 평면 기판(substrate) 사이에 원형 배열로 배치되되, 빛을 받아들이는 미세 렌즈(microlens)와, 상기 미세 렌즈(microlens)를 통해 들어온 빛을 도파하는 광도파로(waveguide) 및 상기 미세 렌즈(microlens)와 광도파로(waveguide) 사이에 상기 미세 렌즈(microlens)를 일 단에서 연결하는 콘 구조체(cone structure)로 이루어지는 인공 오마티디아(artificial ommatidia);
상기 광도파로(waveguide) 끝 단에 연결되어 상기 광도파로(waveguide)를 통과한 빛을 후술할 광 디텍터(photodetector)로 보내는 그래팅(grating); 및
상기 그래팅(grating) 하부에 일렬 또는 원형으로 배열되어 상기 그래팅(grating)을 통과한 빛을 감지하는 광 디텍터(photodetector)를 포함하여 특정 방향에서 들어오는 광학 신호를 감지하여 물체의 위치 또는 움직임을 감지하되,
상기 인공 오마티디아(artificial ommatidia)는,
상기 콘 구조체(cone structure)와 광도파로(waveguide)가 연결되지 않아, 하나의 광도파로(waveguide)로 여러 개의 미세 렌즈(microlens)를 통과한 빛이 들어오는 것을 특징으로 하는 2차원 방향 감지 광센서 모듈
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제 2항 또는 제 3항에 있어서,
상기 인공 오마티디아(artificial ommatidia)는 상기 평면 기판(substrate) 상에 360도 이내의 특정 범위로 원형 배열로 배치되는 것을 특징으로 하는 2차원 방향 감지 광센서 모듈
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5
제 2항 또는 제 3항에 있어서,
상기 인공 오마티디아(artificial ommatidia)의 광도파로(waveguide) 끝은 일렬 또는 원형 배열로 배치되는 것을 특징으로 하는 2차원 방향 감지 광센서 모듈
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6 |
6
제 2항 또는 제 3항에 있어서,
상기 인공 오마티디아(artificial ommatidia)는 에칭(Etching)에 의해 상기 평면 기판(substrate) 내부에 형성되는 것을 특징으로 하는 2차원 방향 감지 광센서 모듈
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7 |
7
제 6항에 있어서,
상기 평면 기판(substrate)이 클래딩(cladding)이 되는 것을 특징으로 하는 2차원 방향 감지 광센서 모듈
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8 |
8
제 2항 또는 제 3항에 있어서,
상기 인공 오마티디아(artificial ommatidia)를 커버하는 클래딩(cladding)이 형성되는 것을 특징으로 하는 2차원 방향 감지 광센서 모듈
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9 |
9
제 8항에 있어서,
상기 클래딩(cladding)은 상기 인공 오마티디아(artificial ommatidia) 상에 또는 상기 인공 오마티디아(artificial ommatidia) 사이에 형성되는 것을 특징으로 하는 2차원 방향 감지 광센서 모듈
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삭제
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11
제 2항 또는 제 3항에 있어서,
상기 2차원 방향 감지 광센서 모듈을 수직으로 쌓아올려 보다 넓은 수직 측정 범위를 가지는 것을 특징으로 하는 2차원 방향 감지 광센서 모듈
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제 2항 또는 제 3항에 있어서,
상기 2차원 방향 감지 광센서 모듈을 동일 기판 상의 서로 다른 위치에 배치한 쌍안 장치로 제작하여 물체의 위치, 움직임, 거리까지 감지가 가능한 것을 특징으로 하는 2차원 방향 감지 광센서 모듈
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13
평면 기판(substrate)에 광 디텍터(photodetector)를 배열시키는 광 디텍터 배열(photodetector array) 단계;
상기 광 디텍터(photodetector) 상에 그래팅(grating)을 형성하는 그래팅(grating) 형성 단계; 및
상기 그래팅(grating)에 인공 오마티디아(artificial ommatidia)를 원형 배열로 연결하는 오마티디아(ommatidia) 연결 단계를 포함하되,
상기 인공 오마티디아(artificial ommatidia)는,
빛을 받아들이는 미세 렌즈(microlens)와, 상기 미세 렌즈(microlens)를 통해 들어온 빛을 도파하는 광도파로(waveguide) 및 상기 미세 렌즈(microlens)와 광도파로(waveguide) 사이에 상기 미세 렌즈(microlens)를 일 단에서 연결하는 콘 구조체(cone structure)로 이루어지되, 상기 콘 구조체(cone structure)와 광도파로(waveguide)가 연결되지 않아, 하나의 광도파로(waveguide)로 여러 개의 미세 렌즈(microlens)를 통과한 빛이 들어오는 것을 특징으로 하는 2차원 방향 감지 광센서 모듈 제조방법
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14
평면 기판(substrate)에 광 디텍터(photodetector)를 배열시키는 광 디텍터 배열(photodetector array) 단계;
상기 광 디텍터(photodetector) 상에 그래팅(grating)을 형성하는 그래팅(grating) 형성 단계;
상기 그래팅(grating)에 인공 오마티디아(artificial ommatidia)를 원형 배열로 연결하는 오마티디아(ommatidia) 연결 단계; 및
상기 인공 오마티디아(artificial ommatidia)에 클래딩(cradding)을 형성하는 클래딩(cradding) 형성 단계를 포함하되,
상기 인공 오마티디아(artificial ommatidia)는,
빛을 받아들이는 미세 렌즈(microlens)와, 상기 미세 렌즈(microlens)를 통해 들어온 빛을 도파하는 광도파로(waveguide) 및 상기 미세 렌즈(microlens)와 광도파로(waveguide) 사이에 상기 미세 렌즈(microlens)를 일 단에서 연결하는 콘 구조체(cone structure)로 이루어지되, 상기 콘 구조체(cone structure)와 광도파로(waveguide)가 연결되지 않아, 하나의 광도파로(waveguide)로 여러 개의 미세 렌즈(microlens)를 통과한 빛이 들어오는 것을 특징으로 하는 2차원 방향 감지 광센서 모듈 제조방법
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15
제 13항 또는 제 14항에 있어서,
상기 광 디텍터 배열(photodetector array) 단계는 상기 평면 기판(substrate) 상에 상기 광 디텍터(photodetector)를 일렬 또는 원형으로 배열시키는 것을 특징으로 하는 2차원 방향 감지 광센서 모듈 제조방법
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16
제 13항 또는 제 14항에 있어서,
상기 광 디텍터 배열(photodetector array) 단계는 상기 평면 기판(substrate) 내에 또는 상기 평면 기판(substrate) 상에 상기 광 디텍터(photodetector)를 삽입하여 일렬 또는 원형으로 배열시키는 것을 특징으로 하는 2차원 방향 감지 광센서 모듈 제조방법
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17
제 13항 또는 제 14항에 있어서,
상기 오마티디아(ommatidia) 연결 단계는,
상기 미세 렌즈(microlens)를 형성하는 미세 렌즈(microlens) 형성 공정;
상기 광도파로(waveguide)를 형성하는 광도파로(waveguide) 형성 공정; 및
상기 콘 구조체(cone structure)를 형성하는 콘 구조체(cone structure) 형성 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 2차원 방향 감지 광센서 모듈 제조방법
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18
제 13항 또는 제 14항에 있어서,
상기 오마티디아(ommatidia) 연결 단계는,
상기 미세 렌즈(microlens)를 형성하는 미세 렌즈(microlens) 형성 공정;
상기 미세 렌즈(microlens)를 일 단에 연결시키는 콘 구조체(cone structure)를 형성하는 콘 구조체(cone structure) 형성 공정; 및
상기 미세 렌즈(microlens)를 통해 들어온 빛을 도파하는 광도파로(waveguide)를 형성하는 광도파로(waveguide) 형성 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 2차원 방향 감지 광센서 모듈 제조방법
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19
제 13항 또는 제 14항에 있어서,
상기 오마티디아(ommatidia) 연결 단계는,
상기 미세 렌즈(microlens)와 콘 구조체(cone structure) 및 광도파로(waveguide)의 형성이 한 번에 이루어지는 오마티디아(ommatidia) 형성 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 2차원 방향 감지 광센서 모듈 제조 방법
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20
제 13항 또는 제 14항에 있어서,
상기 오마티디아(ommatidia) 연결 단계는 복수의 인공 오마티디아(artificial ommatidia)를 상기 평면 기판(substrate) 상에 또는 상기 평면 기판(substrate) 내부에 360도 이내의 특정 범위로 원형 배열로 배치하는 것을 특징으로 하는 2차원 방향 감지 광센서 모듈 제조방법
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제 14항에 있어서,
상기 클래딩(cradding) 형성 단계는 상기 인공 오마티디아(artificial ommatidia) 상에 또는 상기 인공 오마티디아(artificial ommatidia) 사이에 클래딩(cradding)을 형성하는 것을 특징으로 하는 2차원 방향 감지 광센서 모듈 제조방법
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