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저 굴절률 유전체 기판;상기 저 굴절률 유전체 기판의 상부에 형성된 나노 박막 구조; 및상기 저 굴절률 유전체 기판의 상부에 형성되고, 상기 나노 박막 구조의 내부에 단일 모드(single mode)로 동작하는 고 굴절률 반도체 도파로를 포함하고, 위상 변조된 광파를 자유 공간으로 발산하는 안테나가 소형화되어 위상 배열된 안테나 배열의 방사 빔을 집중하고 스캐닝 범위를 확장시키며,상기 고 굴절률 도파로는,상기 안테나에서 상기 저 굴절률 유전체 기판이 제거됨에 따라 상기 고 굴절률 도파로가 부양되어 형성되는것을 특징으로 하는 광 위상 배열 안테나를 구성하는 소자
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제1항에 있어서, 상기 안테나를 횡 방향으로 1차원의 1xM 형태로 배열하고, 각각의 안테나에 공급하는 위상을 순차적으로 달리하여 상기 1xM 형태의 배열이 정렬되는 방향과 동일한 방향인 횡 방향의 공간으로 1차원 빔 스캐닝을 하는것을 특징으로 하는 광 위상 배열 안테나를 구성하는 소자
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제1항에 있어서, 상기 안테나를 횡 방향과 종 방향으로 2차원의 MxN 형태로 배열하고, 각각의 안테나에 공급하는 위상을 순차적으로 달리하여 상기 MxN 형태의 배열이 정렬되는 상기 횡 방향 및 상기 종 방향의 공간으로 2차원 빔 스캐닝을 하는 것을 특징으로 하는 광 위상 배열 안테나를 구성하는 소자
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저 굴절률 유전체 기판;상기 저 굴절률 유전체 기판의 상부에 형성된 나노 박막 구조; 및상기 저 굴절률 유전체 기판의 상부에 형성되고, 상기 나노 박막 구조의 내부에 단일 모드(single mode)로 동작하는 고 굴절률 반도체 도파로를 포함하고, 위상 변조된 광파를 자유 공간으로 발산하는 안테나가 소형화되어 위상 배열된 안테나 배열의 방사 빔을 집중하고 스캐닝 범위를 확장시키며,소자를 보호하기 위하여 상기 안테나에 저 굴절률 막을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광 위상 배열 안테나를 구성하는 소자
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저 굴절률 유전체 기판;상기 저 굴절률 유전체 기판의 상부에 형성된 나노 박막 구조; 및상기 저 굴절률 유전체 기판의 상부에 형성되고, 상기 나노 박막 구조의 내부에 단일 모드(single mode)로 동작하는 고 굴절률 반도체 도파로를 포함하고, 위상 변조된 광파를 자유 공간으로 발산하는 안테나가 소형화되어 위상 배열된 안테나 배열의 방사 빔을 집중하고 스캐닝 범위를 확장시키며,상기 고 굴절률 광 도파로는, 빛의 진행방향에 수직으로 전기장이 형성되는 TE(transverse electric) 모드 광파가 입사되는 것을 특징으로 하는 광 위상 배열 안테나를 구성하는 소자
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나노 박막 구조; 및저 굴절률 유전체 기판이 제거됨에 따라 부양되어 형성되고, 상기 나노 박막 구조의 내부에 포함되어 단일 모드(single mode)로 동작하는 고 굴절률 반도체 도파로를 포함하고, 위상 변조된 광파를 자유 공간으로 발산하는 안테나가 소형화되어 위상 배열된 안테나 배열의 방사 빔을 집중하고 스캐닝 범위를 확장시키는것을 특징으로 하는 광 위상 배열 안테나를 구성하는 소자
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제7항에 있어서, 상기 안테나를 횡 방향으로 1차원의 1xM 형태로 배열하고, 각각의 안테나에 공급하는 위상을 순차적으로 달리하여 상기 1xM 형태의 배열이 정렬되는 방향과 동일한 방향인 횡 방향의 공간으로 1차원 빔 스캐닝을 하는것을 특징으로 하는 광 위상 배열 안테나를 구성하는 소자
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제7항에 있어서, 상기 안테나를 횡 방향과 종 방향으로 2차원의 MxN 형태로 배열하고, 각각의 안테나에 공급하는 위상을 순차적으로 달리하여 상기 MxN 형태의 배열이 정렬되는 상기 횡 방향 및 상기 종 방향의 공간으로 2차원 빔 스캐닝을 하는 것을 특징으로 하는 광 위상 배열 안테나를 구성하는 소자
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저 굴절률 유전체 기판;상기 저 굴절률 유전체 기판의 상부에 형성된 나노 박막 구조; 상기 저 굴절률 유전체 기판의 상부에 형성되고, 상기 나노 박막 구조의 내부에 단일 모드(single mode)로 동작하는 고 굴절률 반도체 도파로; 및상기 나노 박막 구조의 상부에 형성된 저 굴절률 막을 포함하고, 위상 변조된 광파를 자유 공간으로 발산하는 안테나가 소형화되어 위상 배열된 안테나 배열의 방사 빔을 집중하고 스캐닝 범위를 확장시키는것을 특징으로 하는 광 위상 배열 안테나를 구성하는 소자
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제10항에 있어서,상기 안테나를 횡방향으로 1차원의 1xM 형태로 배열하고, 각각의 안테나에 공급하는 위상을 순차적으로 달리하여 상기 1xM 형태의 배열이 정렬되는 방향과 동일한 방향인 횡 방향의 공간으로 1차원 빔 스캐닝을 하는것을 특징으로 하는 광 위상 배열 안테나를 구성하는 소자
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제10항에 있어서, 상기 안테나를 횡 방향과 종 방향으로 2차원의 MxN 형태로 배열하고, 각각의 안테나에 공급하는 위상을 순차적으로 달리하여 상기 MxN 형태의 배열이 정렬되는 상기 횡 방향 및 상기 종 방향의 공간으로 2차원 빔 스캐닝을 하는 것을 특징으로 하는 광 위상 배열 안테나를 구성하는 소자
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