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나노전력발전소자 및 이의 제조방법

  • 기술번호 : KST2014053769
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 나노전력발전소자는 베이스 기판과, 상기 베이스 기판 상에 구비되는 육방정계 질화붕소 원자층과, 상기 육방정계 질화붕소 원자층 상에 구비되는 제1 전극 및 상기 육방정계 질화붕소 원자층 상에 구비되며, 상기 제1 전극과 이격되는 제2 전극을 포함한다. 육방정계 질화붕소 원자층의 압전 특성을 이용하여 나노전력발전소자가 지속적이고 독립적으로 구동할 수 있다.
Int. CL H01L 41/02 (2006.01) H01L 41/22 (2006.01) H01L 41/16 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020120009576 (2012.01.31)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1259729-0000 (2013.04.24)
공개번호/일자 10-2012-0088599 (2012.08.08) 문서열기
공고번호/일자 (20130430) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020110009837   |   2011.01.31
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.01.31)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김상우 대한민국 경기 수원시 장안구
2 이주혁 대한민국 경기 안산시 상록구
3 이강혁 대한민국 경기 수원시 장안구
4 이근영 대한민국 경기 수원시 장안구
5 이진영 대한민국 경기 수원시 장안구
6 승완철 대한민국 경기 용인시 수지구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남건필 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
2 박종수 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
3 차상윤 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
4 한상민 대한민국 광주 북구 첨단과기로***번길**-**, A동***-***호(특허법인지원(광주분사무소))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 경기도 수원시 장안구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.01.31 수리 (Accepted) 1-1-2012-0080090-59
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090770-53
3 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2012.05.02 무효 (Invalidation) 1-1-2012-0350494-02
4 보정요구서
Request for Amendment		 2012.05.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2012-0053628-83
5 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2012.05.08 무효 (Invalidation) 1-1-2012-0365904-71
6 무효처분통지서
Notice for Disposition of Invalidation		 2012.05.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2012-0057003-51
7 보정요구서
Request for Amendment		 2012.05.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2012-0067422-57
8 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2012.06.01 수리 (Accepted) 1-1-2012-0439109-58
9 무효처분통지서
Notice for Disposition of Invalidation		 2012.06.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2012-0069589-19
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.20 수리 (Accepted) 4-1-2012-5131828-19
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.27 수리 (Accepted) 4-1-2012-5137236-29
12 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2012.10.16 수리 (Accepted) 1-1-2012-0841346-36
13 등록결정서
Decision to grant		 2013.04.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0271616-81
14 [대리인해임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Dismissal of Sub-agent] Report on Agent (Representative)		 2014.03.24 수리 (Accepted) 1-1-2014-0280380-00
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
베이스 기판;상기 베이스 기판 상에 구비되는 육방정계 질화붕소 원자층;상기 육방정계 질화붕소 원자층 상에 구비되는 제1 전극; 및상기 육방정계 질화붕소 원자층 상에 구비되며, 상기 제1 전극과 이격되는 제2 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 나노전력발전소자
2 2
제1항에 있어서, 상기 베이스 기판은 플렉서블 기판인 것을 특징으로 하는 나노전력발전소자
3 3
베이스 기판 상에 육방정계 질화붕소 원자층을 형성하는 단계; 및상기 육방정계 질화붕소 원자층 상에 서로 이격되도록 제1 전극과 제2 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노전력발전소자 제조 방법
4 4
제3항에 있어서, 상기 베이스 기판 상에 육방정계 질화붕소 원자층을 형성하는 단계는,구리 포일 상에 육방정계 질화붕소 원자층을 형성하는 단계;상기 육방정계 질화붕소 원자층이 형성된 구리 포일 상에 상기 육방정계 질화붕소 원자층을 지지하기 위한 폴리메틸 메타크릴레이트 층을 형성하는 단계;상기 구리 포일을 제거하는 단계;상기 육방정계 질화붕소 원자층과 상기 폴리메틸 메타크릴레이트 층을 상기 베이스 기판 상으로 이송하는 단계; 및상기 폴리메틸 메타크릴레이트 층을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노전력발전소자 제조 방법
5 5
제4항에 있어서, 상기 구리 포일 상에 육방정계 질화붕소 원자층을 형성하는 단계는 상기 구리 포일을 금속 촉매로 하고 암모니아 보레인(NH3-BH3)을 소스로 하여 화학기상증착 공정을 통해 이루어지는 것을 특징으로 하는 나노전력발전소자 제조 방법
6 6
제5항에 있어서, 상기 구리 포일 상에 육방정계 질화붕소 원자층을 형성하는 단계는 아르곤 수소 혼합가스 분위기에서 이루어지며, 질소 가스를 기화되는 암모니아 보레인을 이송하는 캐리어 가스로 사용하는 것을 특징으로 하는 나노전력발전소자 제조 방법
7 7
베이스 기판;상기 베이스 기판 상에 구비되는 제1 전극;상기 제1 전극 상에 구비되는 육방정계 질화붕소 원자층; 및상기 육방정계 질화붕소 원자층 상에 구비되는 제2 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 나노전력발전소자
8 8
베이스 기판 상에 제1 전극을 형성하는 단계;제1 전극 상에 육방정계 질화붕소 원자층을 형성하는 단계; 및상기 육방정계 질화붕소 원자층 상에 제2 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노전력발전소자 제조 방법
9 9
제8항에 있어서, 상기 제1 전극 상에 육방정계 질화붕소 원자층을 형성하는 단계는,구리 포일 상에 육방정계 질화붕소 원자층을 형성하는 단계;상기 육방정계 질화붕소 원자층이 형성된 구리 포일 상에 상기 육방정계 질화붕소 원자층을 지지하기 위한 폴리메틸 메타크릴레이트 층을 형성하는 단계;상기 구리 포일을 제거하는 단계;상기 육방정계 질화붕소 원자층과 상기 폴리메틸 메타크릴레이트 층을 상기 제1 전극 상으로 이송하는 단계; 및상기 폴리메틸 메타크릴레이트 층을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노전력발전소자 제조 방법
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US09406864 US 미국 FAMILY
2 US20130313944 US 미국 FAMILY
3 WO2012105800 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY
4 WO2012105800 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY
5 WO2012105800 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2013313944 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US9406864 US 미국 DOCDBFAMILY
3 WO2012105800 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
4 WO2012105800 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
5 WO2012105800 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 성균관대학교 산학협력단 에너지국제공동연구(전력기금) 광전 변환효율 10%급 저비용 CIGS 태양전지 개발