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보호 박막 증착 처리 장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2014053863
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이의 보호 박막 증착 처리 시, 챔버 내에 상호 수직 대향 배치된 제 1 전극 및 제 2 전극에 각각 인가할 제 1 적정 전력 및 제 2 적정 전력을 설정하고, 플렉서블 디스플레이용 기판을 제 2 전극 상에 배치하고, 챔버 내에 전구체로서 OMCTS(Octamethylcyclotetrasiloxane) 유체를 공급하고, 반응 유체로서 O2 및 N2 중 적어도 하나의 반응 유체를 공급하고, 제 1 전극 및 제 2 전극에 각각 제 1 적정 전력 및 제 2 적정 전력을 인가하여 플라즈마를 발생시키고, 기설정된 반응 시간 동안 플렉서블 디스플레이용 기판에 SiOx 및 SiON 중 어느 하나의 보호 박막을 한층 이상 증착한다.
Int. CL C23C 16/50 (2006.01) C23C 16/44 (2006.01)
CPC C23C 16/505(2013.01) C23C 16/505(2013.01) C23C 16/505(2013.01) C23C 16/505(2013.01) C23C 16/505(2013.01)
출원번호/일자 1020110004073 (2011.01.14)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1280969-0000 (2013.06.26)
공개번호/일자 10-2012-0082657 (2012.07.24) 문서열기
공고번호/일자 (20130702) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.01.14)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 한전건 대한민국 서울특별시 송파구
2 최인식 대한민국 서울특별시 영등포구
3 최윤석 대한민국 경기도 수원시 장안구
4 진수봉 대한민국 경기도 수원시 장안구
5 배은현 대한민국 인천광역시 부평구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인엠에이피에스 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 **, *층 (역삼동, 한동빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 경기도 수원시 장안구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.01.14 수리 (Accepted) 1-1-2011-0033288-66
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2011.02.08 수리 (Accepted) 1-1-2011-0088982-12
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.12.19 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.01.20 수리 (Accepted) 9-1-2012-0007569-24
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090770-53
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.20 수리 (Accepted) 4-1-2012-5131828-19
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.27 수리 (Accepted) 4-1-2012-5137236-29
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.12.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0743504-24
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.02.05 수리 (Accepted) 1-1-2013-0107671-88
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.02.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0107672-23
11 등록결정서
Decision to grant		 2013.06.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0410915-00
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
삭제
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
플렉서블 디스플레이(flexible display)의 보호 박막 증착 처리 방법에 있어서,(a)챔버 내에 상호 수직 대향 배치된 제 1 전극 및 제 2 전극에 각각 인가할 제 1 적정 전력 및 제 2 적정 전력을 설정하는 단계;(b)플렉서블 디스플레이용 기판의 일면이 노출되도록 상기 제 2 전극 상에 배치하는 단계;(c)상기 챔버 내에 전구체로서 OMCTS(Octamethylcyclotetrasiloxane) 유체를 공급하고, 반응 유체로서 O2 및 N2 중 적어도 하나의 반응 유체를 공급하는 단계;(d)상기 제 1 전극 및 제 2 전극에 각각 상기 제 1 적정 전력 및 제 2 적정 전력을 인가하여 플라즈마를 발생시키는 단계; 및(e)기설정된 반응 시간 동안 상기 플렉서블 디스플레이용 기판에 SiOx 및 SiON 중 어느 하나의 보호 박막을 한층 이상 증착하는 단계를 포함하되,상기 (e) 단계 수행 후,상기 제 2 전극 상에 상기 플렉서블 디스플레이용 기판을 배치시키되, 상기 플렉서블 디스플레이용 기판의 타면이 노출되도록 배치시키는 단계; 및상기 (c) 내지 (e) 단계를 수행하는 단계를 포함하는 보호 박막 증착 처리 방법
5 5
제 4 항에 있어서,상기 (d) 단계는,상기 제 1 전극의 단위 면적 당 0
6 6
제 5 항에 있어서,상기 (d) 단계는,상기 제 2 전극의 단위 면적 당 0
7 7
삭제
8 8
제 4 항에 있어서,상기 (e) 단계는,상기 플렉서블 디스플레이용 기판에 SiOx 및 SiON 중 어느 한 종류의 보호 박막을 증착한 후, 상기 증착된 보호 박막과 상이한 종류의 보호 박막을 증착하는 보호 박막 증착 처리 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.