맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

다양한 크기의 나노스피어를 이용한 2차원 광결정 구조체 및 이의 제조방법２Ｄ

  • 기술번호 : KST2014059832
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 다양한 크기의 나노스피어를 이용한 2차원 광결정 구조체 및 이의 제조방법이 개시된다. 본 발명에 의한 다양한 크기의 나노스피어를 이용한 2차원 광결정 구조체는 기판, 상기 기판 상에 형성된 광결정 구조체를 포함하되, 상기 광결정 구조체는 일정 거리 이격되어 주기적으로 형성된 플라워 타입의 패턴 구조를 가짐으로써 광결정 구조체의 형태적 다양성을 확장시킬 수 있다. 또한, 다양한 크기의 나노스피어를 이용한 2차원 광결정 구조체의 제조방법은 기판 상에 광결정층을 형성하는 단계, 상기 광결정층이 형성된 기판 상에 제1 나노스피어 자기조립단분자 어레이를 형성한 후, 제1 식각하여 상기 제1 나노스피어의 크기를 조절하는 단계, 상기 제1 나노스피어 자기조립단분자 어레이 상에 제2 나노스피어 자기조립단분자 어레이를 형성한 후, 제2 식각하여 플라워 타입의 마스크 패턴을 형성하는 단계 및 상기 플라워 타입의 마스크 패턴 전면에 마스크막을 형성한 후, 상기 플라워 타입의 마스크 패턴을 제거하고, 상기 마스크막을 이용하여 상기 광결정층이 형성된 기판을 제3 식각함으로써 플라워 타입의 패턴 구조를 가지는 광결정 구조체를 형성하는 단계를 포함함으로써 다양한 패턴을 가지는 2차원 광결정 구조체를 형성할 수 있다.
Int. CL G02B 5/20 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01) G02B 5/08 (2006.01)
CPC G02B 5/201(2013.01) G02B 5/201(2013.01) G02B 5/201(2013.01) G02B 5/201(2013.01) G02B 5/201(2013.01) G02B 5/201(2013.01) G02B 5/201(2013.01) G02B 5/201(2013.01)
출원번호/일자 1020120007402 (2012.01.25)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1289200-0000 (2013.07.17)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20130726) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.01.25)
심사청구항수 10

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 안진호 대한민국 서울 강남구
2 고기영 대한민국 서울 강북구
3 이길복 대한민국 서울 강서구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인이상 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***(양재동, 우도빌딩 *층)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 서울특별시 성동구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원] 특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.01.25 수리 (Accepted) 1-1-2012-5002649-03
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.12.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.01.09 수리 (Accepted) 9-1-2013-0000793-72
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.01.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0035042-15
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.01.29 수리 (Accepted) 1-1-2013-0085856-11
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.01.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0085877-70
7 등록결정서
Decision to grant		 2013.05.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0356780-76
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.06.05 수리 (Accepted) 4-1-2014-5068294-39
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5022074-70
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판;상기 기판 상에 형성된 광결정 구조체를 포함하되,상기 광결정 구조체는 일정 거리 이격되어 주기적으로 형성된 플라워 타입의 패턴 구조를 가지는 다양한 크기의 나노스피어를 이용한 2차원 광결정 구조체
2 2
제1항에 있어서,상기 플라워 타입의 패턴 구조는, 서로 다른 크기를 가지는 제1 나노스피어 및 제2 나노스피어의 일정한 배열로 형성된 플라워 타입의 마스크 패턴을 통해 형성되며, 상기 플라워 타입의 마스크 패턴은 하나의 제1 나노스피어의 주위에 복수개의 제2 나노스피어가 결합되어 형성된 것을 특징으로 하는 다양한 크기의 나노스피어를 이용한 2차원 광결정 구조체
3 3
제1항에 있어서,상기 기판은 유리, 쿼츠 및 실리콘 기판 중에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 다양한 크기의 나노스피어를 이용한 2차원 광결정 구조체
4 4
제1항에 있어서,상기 광결정 구조체는 SiO2, TiO2, ZnO, Al2O3, Ta2O5, HfO2 및 ZrO2 중에서 선택되는 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 다양한 크기의 나노스피어를 이용한 2차원 광결정 구조체
5 5
기판 상에 광결정층을 형성하는 단계;상기 광결정층이 형성된 기판 상에 제1 나노스피어 자기조립단분자 어레이를 형성한 후, 제1 식각하여 상기 제1 나노스피어의 크기를 조절하는 단계;상기 제1 나노스피어 자기조립단분자 어레이 상에 제2 나노스피어 자기조립단분자 어레이를 형성한 후, 제2 식각하여 플라워 타입의 마스크 패턴을 형성하는 단계; 및상기 플라워 타입의 마스크 패턴 전면에 마스크막을 형성한 후, 상기 플라워 타입의 마스크 패턴을 제거하고, 상기 마스크막을 이용하여 상기 광결정층이 형성된 기판을 제3 식각함으로써 플라워 타입의 패턴 구조를 가지는 광결정 구조체를 형성하는 단계를 포함하는 다양한 크기의 나노스피어를 이용한 2차원 광결정 구조체의 제조방법
6 6
제5항에 있어서,상기 제1 식각, 제2 식각 및 제3 식각 중 적어도 어느 하나는 반응성 이온 식각인 것을 특징으로 하는 다양한 크기의 나노스피어를 이용한 2차원 광결정 구조체의 제조방법
7 7
제5항에 있어서,상기 플라워 타입의 마스크 패턴은 하나의 제1 나노스피어의 주위에 복수개의 제2 나노스피어가 결합되어 형성된 것을 특징으로 하는 다양한 크기의 나노스피어를 이용한 2차원 광결정 구조체의 제조방법
8 8
제7항에 있어서,상기 복수개의 제2 나노스피어는 3개 ∼ 6개인 것을 특징으로 하는 다양한 크기의 나노스피어를 이용한 2차원 광결정 구조체의 제조방법
9 9
제7항에 있어서,상기 제1 나노스피어의 직경은 1μm ∼ 2μm 인 것을 특징으로 하는 다양한 크기의 나노스피어를 이용한 2차원 광결정 구조체의 제조방법
10 10
제7항에 있어서,상기 제2 나노스피어의 직경은 300nm ∼ 1μm 인 것을 특징으로 하는 다양한 크기의 나노스피어를 이용한 2차원 광결정 구조체의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 지식경제부(한국기계연구원) 기술혁신사업(산업원천기술개발사업) 비노광 기반 나노구조체 제작기술