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플라즈마 진단장치 및 진단방법

  • 기술번호 : KST2014060326
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 플라즈마 진단장치 및 진단방법은 소정 공간에 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생부; 및 상기 플라즈마 발생부에 의해 생성된 플라즈마의 상태를 진단하는 플라즈마 진단부;를 포함하며, 상기 플라즈마 진단부는 상기 플라즈마에 의해 중합된 후 색상이 변하거나 형광을 생성하는 폴리머 센서를 이용하여 상기 플라즈마의 상태를 용이하게 진단할 수 있다.
Int. CL H01J 37/32 (2006.01.01) H01L 21/67 (2006.01.01)
CPC H01J 37/32935(2013.01) H01J 37/32935(2013.01)
출원번호/일자 1020110034533 (2011.04.14)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1246575-0000 (2013.03.18)
공개번호/일자 10-2012-0117042 (2012.10.24) 문서열기
공고번호/일자 (20130325) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.04.14)
심사청구항수 17

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김종만 대한민국 서울특별시 강동구
2 정진욱 대한민국 서울특별시 송파구
3 이효창 대한민국 대전광역시 서구
4 전성호 대한민국 서울특별시 성동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유병욱 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로**길* 백년빌딩*층(세연특허법률사무소)
2 한승범 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로**길* (역삼동) 백년빌딩 *층(세연특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 서울특별시 성동구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.04.14 수리 (Accepted) 1-1-2011-0273186-70
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.12.19 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.01.18 수리 (Accepted) 9-1-2012-0007158-73
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.09.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0528951-87
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.11.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0906266-39
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.11.05 수리 (Accepted) 1-1-2012-0906265-94
7 등록결정서
Decision to grant		 2013.03.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0175265-28
8 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2013.04.19 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2013-0342255-09
9 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document		 2013.04.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2013-0044027-87
10 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2013.05.27 수리 (Accepted) 1-1-2013-0465087-20
11 서류반려통지서
Notice for Return of Document		 2013.06.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2013-0062240-17
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.06.05 수리 (Accepted) 4-1-2014-5068294-39
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5022074-70
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
삭제
2 2
플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생부;상기 플라즈마가 생성되는 공간이 내부에 형성되고, 상단, 하단, 좌측 또는 우측 중 어느 한 곳에는 상기 플라즈마 발생부 또는 전극이 각각 제공되는 챔버; 상기 플라즈마 발생부에 의해 생성된 상기 플라즈마의 상태를 진단하도록 상기 챔버의 내부에 제공되는 플라즈마 진단부; 및상기 플라즈마 발생부에 전원을 공급하는 메인 전원 공급부;를 포함하며,상기 플라즈마 진단부는 상기 플라즈마에 의해 중합 반응을 하여 색상이 변하거나 형광을 생성하는 모노머 또는 올리고머를 포함하거나, 상기 모노머 또는 상기 올리고머가 중합된 형태인 폴리머를 포함하는 폴리머 센서를 구비하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 진단장치
3 3
제2항에 있어서,상기 플라즈마 진단부는 상기 챔버 내에 제공되는 기판 위에서의 플라즈마 정보를 측정하기 위해 상기 전극 또는 상기 기판 상에 상기 폴리머 센서를 위치시키는 것을 특징으로 하는 플라즈마 진단장치
4 4
제3항에 있어서,상기 플라즈마 진단부는 상기 전극 또는 상기 전극에 전원을 공급하는 바이어스 전원 공급부에 연결된 지지대 및 상기 지지대 상에 놓여지는 폴리머 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 진단장치
5 5
제4항에 있어서,상기 폴리머 센서는 상기 지지대 전체에 대해 고르게 분포되도록 형성되거나 상기 지지대에 코팅된 것을 특징으로 하는 플라즈마 진단장치
6 6
제2항에 있어서,상기 플라즈마 진단부는 상기 챔버의 내부 벽면 중 적어도 일부에 부착된 폴리머 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 진단장치
7 7
제2항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 모노머 또는 올리고머는 다이아세틸렌계인 것을 특징으로 하는 플라즈마 진단장치
8 8
제2항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 모노머 또는 올리고머는, 10,12-pentacosadiynoic acid (PCDA), 5,7-eicosadiynoic acid (ECDA), 8,10-heneicosadiynoic acid (HCDA), 4,6-heptadecadiynoic acid (HDDA), 10,12-tricosadiynoic acid (TCDA), 10,12-docosadiyndioic acid (DCDDA) 또는 dodeca-5,7-diynedioic acid (DDDDA) 중 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 플라즈마 진단장치
9 9
제2항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 폴리머 센서는 상기 모노머 또는 올리고머 내지 상기 모노머 또는 올리고머의 중합반응에 의해 생성된 폴리다이아세틸렌을 보호하는 고분자 수지를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 진단장치
10 10
제9항에 있어서,상기 고분자 수지는 폴리스타이렌(polystyrene), 폴리메틸메타크릴레이트(poly(methyl methacrylate) 또는 폴리디메틸실록산(polydimethylsiloxane)인 것을 특징으로 하는 플라즈마 진단장치
11 11
제9항에 있어서,상기 폴리머 센서에 포함된 상기 모노머 또는 올리고머는 흰색을 띠는 상태로 존재하며 상기 플라즈마의 상태가 변함에 따라 청색 또는 적색을 띠는 상기 폴리다이아세틸렌이 되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 진단장치
12 12
제11항에 있어서,상기 폴리머 센서는 상기 플라즈마의 자외선만 통과시키는 자외선 투과부재로 둘러 싸인 것을 특징으로 하는 플라즈마 진단장치
13 13
제11항에 있어서,상기 폴리머 센서는 상기 플라즈마의 자외선을 차단하는 자외선 차단부재로 둘러 싸인 것을 특징으로 하는 플라즈마 진단장치
14 14
제11항에 있어서,상기 폴리머 센서는 상기 플라즈마에 의한 손상으로부터 보호되도록 보호막으로 둘러 싸인 것을 특징으로 하는 플라즈마 진단장치
15 15
제11항에 따른 플라즈마 진단장치를 이용하여 플라즈마를 진단하는 방법에 있어서,상기 폴리머 센서를 마련하는 단계;상기 폴리머 센서를 상기 챔버 내에 넣는 단계;상기 챔버 내부에 플라즈마를 발생시키는 단계;상기 플라즈마 조건에 따라 상기 폴리머 센서의 색상 변화를 관찰하는 단계; 및상기 폴리머 센서의 색상 변화에 따라 상기 플라즈마의 상태를 진단하는 단계;를 포함하는 플라즈마 진단방법
16 16
제15항에 있어서,상기 폴리머 센서를 마련하는 단계는,상기 플라즈마에 의해 중합되어 색상이 변하거나 형광을 생성하는 상기 모노머 또는 올리고머와 상기 고분자 수지를 혼합하여 전기 방사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 진단방법
17 17
제15항에 있어서,상기 플라즈마 조건에 따라 상기 폴리머 센서의 색상 변화를 관찰하는 단계는 상기 플라즈마의 밀도 또는 입자의 에너지가 증가함에 따라 상기 폴리머 센서는 청색에서 적색으로 변하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 진단방법
18 18
제15항에 있어서,상기 폴리머 센서의 색상 변화에 따라 상기 플라즈마의 상태를 진단하는 단계는 플라즈마의 밀도, 중성종의 온도, 중성종의 밀도, 플라즈마 또는 중성종의 공간분포, 자외선 방출 정도, 플라즈마의 공간 분포 균일도, 상기 챔버 내에 제공되는 웨이퍼의 온도 분포 중 적어도 하나를 분석하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 진단방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 한양대학교 산학협력단 이공분야기초연구사업＞선도연구센터지원사업＞이공학분야(S/ERC)＞플라즈마 바이오과학 연구센터 대기압 바이오 플라즈마의 온도 밀도 라티칼 진단 및 원천 특성 제어 연구
2 교육과학기술부 한양대학교 산학협력단 원천기술개발사업＞첨단융합기술개발사업＞신기술융합형성장동력사업 (20121196) 극저밀도 우주환경 플라즈마 진단기술