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대상물에 광을 투사하는 광학장치에 있어서,
광을 분할하는 광분할기;
상기 분할된 광의 경로를 변경하며, 회전 가능한 복수의 제1 조절미러; 및
상기 제1 조절미러에 의해 변경된 광의 경로를 재변경하며, 미러 가이드 상에서 이동 가능하고 초점이 동일한 복수의 제2 조절미러;
를 포함하며, 상기 제1 조절미러 중 하나는 상기 미러 가이드 상의 중심축 선상에 위치한 것을 특징으로 하는 광학 장치
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2
제1항에 있어서,
상기 광학장치는 식을 만족하는 것을 특징으로 하는 광학장치
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3
제1항에 있어서,
상기 미러 가이드는 원형 또는 원형의 일부인 곡선 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 광학장치
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4
제1항에 있어서,
상기 제1 조절미러에서 적어도 하나는 병진 운동이 가능한 것을 특징으로 하는 광학장치
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5
제1항에 있어서
상기 광분할기의 광경로상 이전에 배치되어, 광을 집광하는 집광렌즈를 더 포함하는 광학장치
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6
제1항에 있어서
상기 대상물은 기판으로서, 상기 광학장치는 상기 기판상에 광 간섭을 일으키는 것을 특징으로 하는 광학장치
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7
기판에 간섭광을 야기하는 광학장치에 있어서,
복수의 광(光)이 각각 입사되어 경로를 변경시키는 복수의 제1 조절미러; 및
상기 제1 조절미러에 의해 변경된 광의 경로를 재변경하며, 원형 미러 가이드 상에서 이동 가능하고 초점이 동일한 복수의 제2 조절미러;
를 포함하며, 상기 제1 조절미러 중 하나는 상기 원형 미러 가이드 상의 중심축 선상에 위치하고, 상기 광학장치는
식을 만족하는 것을 특징으로 하는 광학장치
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8
제7항에 있어서,
상기 원형 미러 가이드는 원형 또는 원형의 일부인 곡선 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 광학장치
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9
제7항에 있어서,
상기 제1 조절미러에서 적어도 하나는 병진 운동이 가능한 것을 특징으로 하는 광학장치
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10
제7항에 있어서
상기 복수의 광은 집광렌즈에 의하여 집광된 후에, 광분할기에 의하여 분할되어 형성된 것을 특징으로 하는 광학장치
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