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원자층 증착법과 플라즈마를 이용한 수분투과방지막 제작

  • 기술번호 : KST2015003582
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유기전자소자용 다층 박막 봉지에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 Si-O 결합을 갖는 십자형태의 유·무기 전구체 물질을 사용하여 제조되는 플라즈마 중합체 박막, 및 무기 박막을 포함하는, 유연성이 확보되고 봉지 특성이 향상된 유기전자소자용 다층 박막 봉지에 관한 것이다.
Int. CL H01L 51/00 (2006.01)
CPC H01L 21/02211(2013.01) H01L 21/02211(2013.01) H01L 21/02211(2013.01) H01L 21/02211(2013.01) H01L 21/02211(2013.01)
출원번호/일자 1020130122884 (2013.10.15)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1389197-0000 (2014.04.18)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20140605) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020130002648   |   2013.01.09
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020140017311;
심사청구여부/일자 Y (2013.10.15)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정동근 대한민국 서울 송파구
2 채희엽 대한민국 서울특별시 서초구
3 박민우 대한민국 서울 성북구
4 김훈배 대한민국 인천 계양구
5 이채민 대한민국 경기 과천시 별양로 ***,

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 손민 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, *층(문정동)(특허법인한얼)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 경기도 수원시 장안구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.10.15 수리 (Accepted) 1-1-2013-0931194-61
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2013.11.05 수리 (Accepted) 1-1-2013-1009665-61
3 [우선심사신청]선행기술조사의뢰서
[Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search		 2013.11.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search		 2013.11.15 수리 (Accepted) 9-1-2013-0097936-55
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.01.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0046629-97
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.02.14 수리 (Accepted) 1-1-2014-0147254-13
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.02.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0147256-15
8 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2014.02.14 수리 (Accepted) 1-1-2014-0147269-08
9 등록결정서
Decision to grant		 2014.04.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0251960-48
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
삭제
2 2
하기 화학식 1로 표시되는 전구체 물질을 사용하여 제조되는 플라즈마 중합체 박막, 및 무기 박막을 포함하는 유기전자소자용 다층 박막 봉지으로서, 상기 전구체 물질은 테트라키스(트리메틸실릴옥시)실란 (Tetrakis(trimethylsilyloxy)silane)인 것인 유기전자소자용 다층 박막 봉지
3 3
제2항에 있어서, 상기 플라즈마 중합체 박막은 무기 박막 상부 또는 하부에 적층된 것인 유기전자소자용 다층 박막 봉지
4 4
제2항에 있어서, 상기 플라즈마 중합체 박막은 무기 박막 사이에 적층된 것인 유기전자소자용 다층 박막 봉지
5 5
제2항에 있어서, 상기 플라즈마 중합체 박막은 플라즈마 보강 화학기상 증착법(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition, PECVD)을 이용하여 제조되는 것인 유기전자소자용 다층 박막 봉지
6 6
제2항에 있어서, 상기 무기 박막은 원자층 증착법을 이용하여 제조되는 것인 유기전자소자용 다층 박막 봉지
7 7
제2항에 있어서, 상기 무기 박막은 Al2O3, SiO2, TiO2 또는 이의 조합을 사용하여 제조되는 것인 유기전자소자용 다층 박막 봉지
8 8
제2항에 있어서, 상기 유기전자소자는 플렉서블 유기전자소자인 유기전자소자용 다층 박막 봉지
9 9
제2항에 있어서, 상기 유기전자소자는 유기 발광 다이오드, 유기 태양 전지 또는 유기 박막 트랜지스터인 유기전자소자용 다층 박막 봉지
10 10
제2항의 유기전자소자용 다층 박막 봉지를 포함하는 유기전자소자
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