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복수 레이저 소스를 이용한 박막형성방법(Method of forming thin film using multiple laser source)

  • 기술번호 : KST2017005348
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 박막형성방법에 관한 것으로, 복수의 레이저 소스를 구비하는 단계와; 소스가스를 결정하는 단계와; 상기 소스가스에 대응하는 레이저 소스를 선택하는 단계와; 상기 소스가스를 반응공간에 공급하고 플라즈마와 선택된 레이저 소스로부터의 레이저를 이용하여 대상체 상에 박막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 51/56 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 51/52 (2006.01.01) H01L 51/00 (2006.01.01)
CPC H01L 51/56(2013.01) H01L 51/56(2013.01) H01L 51/56(2013.01) H01L 51/56(2013.01)
출원번호/일자 1020150123588 (2015.09.01)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0027097 (2017.03.09) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 취하
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 염근영 대한민국 서울특별시 송파구
2 김경남 대한민국 경기도 수원시 장안구
3 김기석 대한민국 인천광역시 부평구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 인비전 특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길**, *층(대치동, 동산빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2015.09.01 수리 (Accepted) 1-1-2015-0848783-97
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2017.10.13 수리 (Accepted) 1-1-2017-5021727-39
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
박막형성방법에 있어서,복수의 레이저 소스를 구비하는 단계와;소스가스를 결정하는 단계와;상기 소스가스에 대응하는 레이저 소스를 선택하는 단계와;상기 소스가스를 반응공간에 공급하고 플라즈마와 선택된 레이저 소스로부터의 레이저를 이용하여 대상체 상에 박막을 형성하는 단계를 포함하는 박막형성방법
2 2
제1항에 있어서,상기 복수의 레이저 소스는 UV레이저 소스, 가시광선 레이저 소스 및 적외선 레이저 소스를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막형성방법
3 3
제2항에 있어서,상기 소스가스는 NH3이며, 이에 대응하는 레이저 소스는 적외선 레이저 소스인 것을 특징으로 하는 박막형성방법
4 4
제2항에 있어서,상기 소스가스는 N2이며, 이에 대응하는 레이저 소스는 자외선 레이저 소스인 것을 특징으로 하는 박막형성방법
5 5
제1항에 있어서,상기 레이저는 상기 대상체에 평행하게 조사되는 것을 특징으로 하는 박막형성방법
6 6
제5항에 있어서,상기 레이저는 간헐적으로 조사되는 것을 특징으로 하는 박막형성방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한국디스플레이연구조합 산업기술혁신사업[산업핵심기술개발사업] 레이저를 이용한 유연 유기소자 밀봉용 하이브리드 무기박막 증착시스템 개발