요약 | 스위핑 구동신호를 이용한 배관 내부 부산물 부착 방지 장치에 관하여 개시한다. 본 발명의 일 측면에 따르면, 진공 챔버, 상기 진공 챔버에 구비된 진공 펌프, 상기 진공 펌프를 통해 부산물들이 이송되는 배관, 상기 배관을 통해 이송된 부산물을 처리하는 스크러버 및 상기 배관에 진동을 제공하는 초음파 발생기를 포함하는 배관 내부 부산물 부착 장치에 있어서, 상기 초음파 발생기에는 입력된 전기신호를 진동신호로 변환하는 에너지 변환재료로 구성된 진동 디바이스가 구비되되, 상기 진동 디바이스의 공진 또는 반공진 주파수에 맞춰진 설정주파수 인근 대역을 구동하는 스위핑 구동신호를 제공하는 스위핑 구동모듈을 포함하는 스위핑 구동신호를 이용한 배관 내부 부산물 부착 방지 장치를 제공할 수 있다. |
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Int. CL | F16L 55/24 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01) B08B 7/02 (2006.01) |
CPC | F16L 55/24(2013.01) F16L 55/24(2013.01) F16L 55/24(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020140071420 (2014.06.12) |
출원인 | (주)테키스트, 한국세라믹기술원 |
등록번호/일자 | |
공개번호/일자 | 10-2016-0001726 (2016.01.07) 문서열기 |
공고번호/일자 | |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 거절 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2014.06.12) |
심사청구항수 | 6 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한국세라믹기술원 | 대한민국 | 경상남도 진주시 소호로 *** |
2 | (주)테키스트 | 대한민국 | 경기도 안성시 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
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1 | 이영진 | 대한민국 | 경기도 안양시 동안구 |
2 | 박태현 | 대한민국 | 경기도 평택시 추담로 **-** |
3 | 이춘교 | 대한민국 | 경기도 화성시 |
4 | 김세기 | 대한민국 | 서울특별시 영등포구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
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1 | 특허법인(유한) 대아 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 역삼로 ***, 한양빌딩*층(역삼동) |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
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최종권리자 정보가 없습니다 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2014.06.12 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0549444-10 |
2 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2014.06.17 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0564698-96 |
3 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2014.07.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0716899-32 |
4 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2014.09.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0935017-26 |
5 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2014.12.30 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
6 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2015.02.10 | 수리 (Accepted) | 9-1-2015-0011088-28 |
7 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.03.31 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5040685-78 |
8 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2015.04.21 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2015-0266488-84 |
9 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2015.06.22 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2015-0599396-56 |
10 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2015.06.22 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-0599395-11 |
11 | 거절결정서 Decision to Refuse a Patent |
2015.10.13 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2015-0705083-27 |
12 | [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration) |
2015.11.13 | 수리 (Accepted) | 7-1-2015-0051944-65 |
13 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2015.12.14 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-1224563-14 |
14 | [명세서등 보정]보정서(재심사) Amendment to Description, etc(Reexamination) |
2015.12.14 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 1-1-2015-1224584-73 |
15 | 거절결정서 Decision to Refuse a Patent |
2016.01.21 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2016-0053568-33 |
번호 | 청구항 |
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1 |
1 진공 챔버, 상기 진공 챔버에 구비된 진공 펌프, 상기 진공 펌프를 통해 부산물들이 이송되는 배관, 상기 배관을 통해 이송된 부산물을 처리하는 스크러버 및 상기 배관에 진동을 제공하는 초음파 발생기를 포함하는 배관 내부 부산물 부착 장치에 있어서,상기 초음파 발생기에는 입력된 전기신호를 진동신호로 변환하는 에너지 변환재료로 구성된 진동 디바이스가 구비되되, 상기 진동 디바이스의 공진 또는 반공진 주파수에 맞춰진 설정주파수 인근 대역을 구동하는 스위핑 구동신호를 제공하는 스위핑 구동모듈을 포함하는 스위핑 구동신호를 이용한 배관 내부 부산물 부착 방지 장치 |
2 |
2 제1항에 있어서,상기 스위핑 구동모듈은, 상기 설정주파수의 신호를 발생하는 신호 발생부;상기 입력된 설정주파수의 신호를 스위핑 구동신호로 처리하는 스위핑 처리부; 및상기 스위핑 구동신호를 상기 진동 디바이스에 제공하여 상기 진동 디바이스로 하여금 상기 배관에 진동을 인가하도록 해주는 스위핑 구동부;를 포함하는 스위핑 구동신호를 이용한 배관 내부 부산물 부착 방지 장치 |
3 |
3 제2항에 있어서,상기 신호 발생부에 설정되는 기준신호 및 스위핑 신호의 주기, 진폭, 위상은 상기 배관의 직경, 두께, 재질 및 연결 형상에 따라 정해지는 것을 특징으로 하는 스위핑 구동신호를 이용한 배관 내부 부산물 부착 방지 장치 |
4 |
4 제2항에 있어서,상기 스위핑 구동신호는 스위핑 구동신호를 이용하여 배관에 진행파(travelling wave)의 형태로 진동을 제공되는 것을 특징으로 하는 내부 부산물 부착 방지 장치 |
5 |
5 제2항에 있어서,상기 스위핑 처리부는 VCO(Voltage Controlled Oscillator) 회로를 포함하는 것을 특징으로 하는 스위핑 구동신호를 이용한 배관 내부 부산물 부착 방지 장치 |
6 |
6 제1항에 있어서,상기 설정주파수는 10kHz ~ 10MHz 범위 내에서 정해지는 것을 특징으로 하는 스위핑 구동신호를 이용한 배관 내부 부산물 부착 방지 장치 |
7 |
7 제6항에 있어서,스위핑 구동구간은 상기 설정주파수의 ±10% 이내로 이용하는 배관 내부 부산물 부착 방지 장치 |
8 |
8 제1항에 있어서,상기 초음파 발생기는,상기 스위핑 구동신호의 주파수가 상기 진동 디바이스의 공진 또는 반공진 주파수와 일치될 때, 상기 진동 디바이스의 전기적 임피던스가 낮아지도록 구성되어, 상기 진동 디바이스에 상대적으로 큰 값의 전류가 흐르도록 제공되는 스위핑 구동신호를 이용한 배관 내부 부산물 부착 방지 장치 |
9 |
9 진공 챔버, 상기 진공 챔버에 구비된 진공 펌프, 상기 진공 펌프를 통해 부산물들이 이송되는 배관, 상기 배관을 통해 이송된 부산물을 처리하는 스크러버 및 상기 배관에 진동을 제공하는 초음파 발생기를 포함하는 배관 내부 부산물 부착 장치에 있어서,상기 초음파 발생기에는 입력된 전기신호를 진동신호로 변환하는 에너지 변환재료로 구성된 진동 디바이스가 구비되되, 상기 진동 디바이스의 공진 또는 반공진 주파수에 맞춰진 설정주파수 인근 대역을 구동하는 이중의 스위핑 파형을 갖는 스위핑 구동신호를 제공하는 스위핑 구동모듈을 포함하는 스위핑 구동신호를 이용한 배관 내부 부산물 부착 방지 장치 |
10 |
10 제9항에 있어서,상기 스위핑 구동모듈은, 서로 다른 주파수, 진폭, 위상을 갖는 복수의 신호를 발생하는 신호 발생부;상기 입력된 복수의 신호를 스위핑 처리하여 이중의 스위핑 파형을 갖는 스위핑 구동신호로 처리하는 스위핑 처리부; 및상기 스위핑 구동신호를 상기 진동 디바이스에 제공하여 상기 진동 디바이스로 하여금 상기 배관에 진동을 인가하도록 해주는 스위핑 구동부;를 포함하는 스위핑 구동신호를 이용한 배관 내부 부산물 부착 방지 장치 |
11 |
11 제10항에 있어서,상기 신호 발생부에 설정되는 기준신호 및 서로 다른 복수의 스위핑 신호의 주기, 진폭, 위상은 상기 배관의 직경, 두께, 재질 및 연결 형상에 따라 정해지는 것을 특징으로 하는 스위핑 구동신호를 이용한 배관 내부 부산물 부착 방지 장치 |
12 |
12 제10항에 있어서,상기 스위핑 구동신호는 스위핑 구동신호를 이용하여 배관에 진행파(travelling wave)의 형태로 진동을 제공되는 것을 특징으로 하는 내부 부산물 부착 방지 장치 |
13 |
13 제10항에 있어서,상기 스위핑 처리부는 VCO(Voltage Controlled Oscillator) 회로를 포함하는 것을 특징으로 하는 스위핑 구동신호를 이용한 배관 내부 부산물 부착 방지 장치 |
14 |
14 제9항에 있어서,상기 설정주파수는 10kHz ~ 10MHz 범위 내에서 정해지는 것을 특징으로 하는 스위핑 구동신호를 이용한 배관 내부 부산물 부착 방지 장치 |
15 |
15 제14항에 있어서,스위핑 구동구간은 상기 설정주파수의 ±10% 이내로 이용하는 배관 내부 부산물 부착 방지 장치 |
16 |
16 제9항에 있어서,상기 초음파 발생기는,상기 스위핑 구동신호의 주파수가 상기 진동 디바이스의 공진 또는 반공진 주파수와 일치될 때, 상기 진동 디바이스의 전기적 임피던스가 낮아지도록 구성되어, 상기 진동 디바이스에 상대적으로 큰 값의 전류가 흐르도록 제공되는 스위핑 구동신호를 이용한 배관 내부 부산물 부착 방지 장치 |
지정국 정보가 없습니다 |
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순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
---|---|---|---|---|
1 | WO2015190734 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | FAMILY |
순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
---|---|---|---|---|
1 | WO2015190734 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | DOCDBFAMILY |
국가 R&D 정보가 없습니다. |
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등록사항 정보가 없습니다 |
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번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 | 2014.06.12 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0549444-10 |
2 | [출원서등 보정]보정서 | 2014.06.17 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0564698-96 |
3 | [출원서등 보정]보정서 | 2014.07.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0716899-32 |
4 | [출원서등 보정]보정서 | 2014.09.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0935017-26 |
5 | 선행기술조사의뢰서 | 2014.12.30 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
6 | 선행기술조사보고서 | 2015.02.10 | 수리 (Accepted) | 9-1-2015-0011088-28 |
7 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.03.31 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5040685-78 |
8 | 의견제출통지서 | 2015.04.21 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2015-0266488-84 |
9 | [명세서등 보정]보정서 | 2015.06.22 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2015-0599396-56 |
10 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2015.06.22 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-0599395-11 |
11 | 거절결정서 | 2015.10.13 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2015-0705083-27 |
12 | [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2015.11.13 | 수리 (Accepted) | 7-1-2015-0051944-65 |
13 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2015.12.14 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-1224563-14 |
14 | [명세서등 보정]보정서(재심사) | 2015.12.14 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 1-1-2015-1224584-73 |
15 | 거절결정서 | 2016.01.21 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2016-0053568-33 |
기술번호 | KST2015004147 |
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자료제공기관 | NTB |
기술공급기관 | |
기술명 | 스위핑 구동신호를 이용한 배관 내부 부산물 부착 방지 장치 |
기술개요 |
스위핑 구동신호를 이용한 배관 내부 부산물 부착 방지 장치에 관하여 개시한다. 본 발명의 일 측면에 따르면, 진공 챔버, 상기 진공 챔버에 구비된 진공 펌프, 상기 진공 펌프를 통해 부산물들이 이송되는 배관, 상기 배관을 통해 이송된 부산물을 처리하는 스크러버 및 상기 배관에 진동을 제공하는 초음파 발생기를 포함하는 배관 내부 부산물 부착 장치에 있어서, 상기 초음파 발생기에는 입력된 전기신호를 진동신호로 변환하는 에너지 변환재료로 구성된 진동 디바이스가 구비되되, 상기 진동 디바이스의 공진 또는 반공진 주파수에 맞춰진 설정주파수 인근 대역을 구동하는 스위핑 구동신호를 제공하는 스위핑 구동모듈을 포함하는 스위핑 구동신호를 이용한 배관 내부 부산물 부착 방지 장치를 제공할 수 있다. |
개발상태 | 기술개발완료 |
기술의 우수성 | |
응용분야 | 배관 관리 시스템 |
시장규모 및 동향 | |
희망거래유형 | 라이센스,기술협력,기술지도, |
사업화적용실적 | |
도입시고려사항 |
과제고유번호 | 1415133868 |
---|---|
세부과제번호 | kicet2013 |
연구과제명 | 한국세라믹기술원출연 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 산업통상자원부 |
연구관리전문기관명 | |
연구주관기관명 | |
성과제출연도 | 2013 |
연구기간 | 201301~201312 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 기타 |
6T분류명 | 기타 |
과제고유번호 | 1425080367 |
---|---|
세부과제번호 | S2086562 |
연구과제명 | 초음파 진동을 이용한 반도체설비 배관 안티파우더 시스템 개발 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 중소기업청 |
연구관리전문기관명 | |
연구주관기관명 | |
성과제출연도 | 2013 |
연구기간 | 201306~201506 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 개발연구 |
6T분류명 | ET(환경기술) |
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