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전면(front surface) 내에 저 젖음성 영역 및 상기 저 젖음성 영역에 비해 높은 젖음성을 갖는 고 젖음성 영역을 구비하는 캐리어 기판을 제공하는 단계;소자 기판을 제공하는 단계;상기 캐리어 기판의 전면 또는 상기 소자 기판의 전면 상에 접착층을 제공하는 단계;상기 캐리어 기판의 전면과 상기 소자 기판의 전면을 접착층을 사용하여 접착시키는 단계;상기 소자 기판의 배면을 처리하는 단계;상기 고 젖음성 영역 상의 접착층을 적어도 일부 제거하는 단계; 및상기 처리된 소자 기판으로부터 상기 캐리어 기판을 탈착하는 단계를 포함하되,상기 저 젖음성 영역은 나노 사이즈의 패턴을 구비하는 소자 기판 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 고 젖음성 영역은 마이크로 사이즈의 패턴을 구비하는 소자 기판 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 접착층을 제공하기 전에,상기 캐리어 기판의 저 젖음성 영역 상에 상기 접착층과 다른 친화력을 갖는 비친화성 물질층을 형성하는 단계를 더 포함하는 소자 기판 제조 방법
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제4항에 있어서,상기 접착층은 소수성을 갖고, 상기 비친화성 물질층은 친수성 물질층인 소자 기판 제조 방법
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제5항에 있어서,상기 친수성 물질층은 SiO2인 소자 기판 제조방법
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제1항에 있어서,상기 캐리어 기판의 고 젖음성 영역 상에 상기 접착층과 같은 친화력을 갖는 친화성 물질층을 형성하는 단계를 더 포함하는 소자 기판 제조 방법
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제7항에 있어서,상기 접착층은 소수성을 갖고, 상기 친화성 물질층은 소수성 물질층인 소자 기판 제조 방법
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제8항에 있어서,상기 소수성 물질층은 PPFC(Plasma Polymerized Fluorocarbon)층, 아연산화물(ZnO)층, 실리콘(silicone)층, 불화 폴리머층, 폴리실라잔(polysilazane)층, 또는 지방족 탄화수소층인 소자 기판 제조방법
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제1항에 있어서,상기 고 젖음성 영역은 상기 캐리어 기판의 전면의 최외곽부에 배치된 소자 기판 제조방법
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제1항에 있어서,상기 저 젖음성 영역은 상기 캐리어 기판의 전면의 중앙부에 배치되고,상기 고 젖음성 영역은 상기 저 젖음성 영역을 둘러싸는 소자 기판 제조방법
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제11항에 있어서,상기 저 젖음성 영역은 중앙부로부터 외곽부로 연장된 직선 영역들을 더 포함하는 형상, 나선 형상, 또는 다수 개의 서로 분리된 영역들을 포함하는 형상인 소자 기판 제조방법
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제11항에 있어서,상기 저 젖음성 영역과 상기 고 젖음성 영역은 반복하여 배치되는 소자 기판 제조방법
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전면(front surface) 내에 저 젖음성 영역; 및상기 저 젖음성 영역에 비해 높은 젖음성을 갖는 고 젖음성 영역을 포함하되,상기 저 젖음성 영역은 나노 사이즈의 패턴을 구비하는 캐리어 기판
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제14항에 있어서,상기 고 젖음성 영역은 마이크로 사이즈의 패턴을 구비하는 캐리어 기판
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제14항에 있어서,상기 저 젖음성 영역 상에 배치된 친수성 물질층을 더 포함하는 캐리어 기판
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제14항에 있어서,상기 고 젖음성 영역은 상기 캐리어 기판의 전면의 최외곽부에 배치된 캐리어 기판
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제14항에 있어서,상기 저 젖음성 영역은 상기 캐리어 기판의 상기 전면의 중앙부에 배치되고,상기 고 젖음성 영역은 상기 저 젖음성 영역을 둘러싸는 캐리어 기판
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제19항에 있어서,상기 저 젖음성 영역은 중앙부로부터 외곽부로 연장된 직선 영역들을 더 포함하는 형상, 나선 형상, 또는 다수 개의 서로 분리된 영역들을 포함하는 형상인 캐리어 기판
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제20항에 있어서,상기 저 젖음성 영역과 상기 고 젖음성 영역은 반복하여 배치되는 캐리어 기판
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제14항에 있어서,상기 고 젖음성 영역 상에 배치된 소수성 물질층을 더 포함하는 캐리어 기판
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