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발생된 플라즈마에 의해 난분해성 폐가스를 분해하거나 난분해성 폐가스를 포함하는 가스를 플라즈마화하여 난분해성 폐가스를 분해하도록 구성된 플라즈마 분해 장치로서, 상기 난분해성 폐가스는 불소를 포함하는 가스인, 플라즈마 분해 장치; 및폐가스 분해 촉매를 수용하는 촉매 분해 장치로서, 상기 촉매 분해 장치는 상기 플라즈마 분해 장치에 의해 분해된 난분해성 폐가스가 토출되는 위치에 위치하여, 상기 토출되는 분해된 난분해성 폐가스 및 상기 플라즈마 분해 장치의 열이 상기 촉매로 유입되도록 구성되고, 상기 유입된 가스는 상기 촉매를 통과하면서 촉매에 의한 추가 분해 반응이 일어나도록 구성되는, 촉매 분해 장치를 포함하고,상기 플라즈마 분해 장치는 상기 분해된 난분해성 폐가스가 토출되는 토출부 방향이 상기 촉매 분해 장치 내로 삽입되어 토출부가 상기 촉매 분해 장치 내로 삽입되어 있고,상기 촉매 분해 장치는,상기 토출부와 유체 소통 가능하게 연결되어 상기 토출부로부터 토출되는 상기 분해된 난분해성 폐가스가 유입되고, 상기 토출부의 직경보다 확장된 직경을 갖는 유입부; 상기 유입부로부터 상기 분해된 난분해성 폐가스의 토출의 역방향으로 연장되어 상기 토출부 측의 외면을 감싸도록 단면이 환형인 촉매공간으로서, 상기 폐가스 분해 촉매는 상기 환형의 촉매공간에 채워져 있고, 상기 플라즈마 분해 장치는 상기 촉매 분해 장치의 환형의 촉매공간의 환형 안쪽으로 삽입되어 있어, 상기 채워진 촉매들이 상기 토출부 측의 외면을 감싸도록 구성된 촉매공간;상기 촉매공간의 후단에 배치된 배출부; 및상기 유입부와 상기 촉매공간 사이 및 상기 배출부와 상기 촉매공간 사이에 위치하는 타공판으로서, 상기 타공판은 촉매의 이동은 제한하고 유체의 소통을 가능하도록 구성된 타공판을 포함하고,상기 토출부로부터 배출된 상기 분해된 난분해성 폐가스는 순차적으로 상기 유입부, 타공판, 촉매, 타공판 및 배출부를 경유하면서 상기 토출부로부터 토출된 방향의 역방향으로 진행하여 배출되는 것을 특징으로 하는,플라즈마 및 촉매에 의한 난분해성 폐가스 분해 장치
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제1항에 있어서,상기 촉매 분해 장치는 촉매가 수용된 공간의 외면에 단열재를 포함하는,플라즈마 및 촉매에 의한 난분해성 폐가스 분해 장치
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제1항에 있어서,습식 스크러버를 상기 촉매 분해 장치의 후단에 추가로 더 포함하고,상기 촉매 분해 장치를 통해 배출되는 분해 가스가 상기 습식 스크러버로 유입되어 정제되는,플라즈마 및 촉매에 의한 난분해성 폐가스 분해 장치
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제1항에 있어서,상기 폐가스는, PFCs 계 가스, CF4, NF3 중 SF6 중 어느 하나의 가스인,플라즈마 및 촉매에 의한 난분해성 폐가스 분해 장치
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제1항에 있어서,상기 플라즈마 분해 장치는,원통형이고, 상기 원통의 축방향에 수직한 제1 측면부 및 상기 제1 측면부에 대향하는 제2 측면부를 포함하는 외부 반응기;상기 외부 반응기보다 작은 직경을 갖는 원통형이고, 상기 제2 측면부를 향해 상기 외부 반응기 내로 삽입되어 있으며, 상기 외부 반응기 내부로 삽입된 부분은 상기 외부 반응기보다 짧은 길이로 상기 제1 측면부를 향해 연장되어 있는 내부 반응기;상기 제1 측면부에 연결되고, 상기 외부 반응기의 축방향으로 플라즈마가 주입되도록 위치하고, 상기 내부 반응기의 삽입된 부분의 말단과 이격되어 있는 플라즈마 주입부;상기 제2 측면부에 근접한 위치에서 상기 외부 반응기의 원주곡면에 연결되어 있고, 상기 외부 반응기의 내부로 난분해성 폐가스를 주입하기 위한 가스 주입부; 및상기 내부 반응기의 상기 제2 측면부 쪽 말단에 위치한 토출부를 포함하는,플라즈마 및 촉매에 의한 난분해성 폐가스 분해 장치
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제1항에 있어서,상기 촉매 분해 장치에서, 상기 촉매가 수용된 공간의 입구에는 스팀이 공급되는,플라즈마 및 촉매에 의한 난분해성 폐가스 분해 장치
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