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산화인듐아연 스퍼터링 타겟 및 이의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015063603
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 (a) 산화인듐; (b) 산화아연; 및 (c) 산화티타늄 (TiO2-a)을 함유하고, 하기 화학식 1의 조성으로 표기되는 것을 특징으로 하는 산화인듐아연 (IZO)계 스퍼터링 타겟을 제공한다[화학식 1]InxZny(TiO2-a)z (상기 식에서, x+y ≤ 1, 0.0001 ≤ z 003c# 0.002이며, 여기서 x : y : z = 8.5~9.5 : 1.5~ 0.5 범위이며, a는 0.5 ≤ a ≤ 1이다.)본 발명에서는 도펀트 물질 사용에 따른 전기적 특성의 저하 없이, 에칭 특성이 우수한 산화인듐아연 (IZO)계 박막을 제작할 수 있다.
Int. CL C23C 14/08 (2006.01) C23C 14/34 (2006.01)
CPC C23C 14/08(2013.01) C23C 14/08(2013.01) C23C 14/08(2013.01) C23C 14/08(2013.01)
출원번호/일자 1020100127666 (2010.12.14)
출원인 한국전자통신연구원, 주식회사 나노신소재
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2012-0066364 (2012.06.22) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.12.14)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 주식회사 나노신소재 대한민국 세종특별자치시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정승묵 대한민국 경기도 수원시 영통구
2 정우석 대한민국 대전광역시 유성구
3 황치선 대한민국 대전광역시 유성구
4 박상희 대한민국 대전광역시 유성구
5 조경익 대한민국 대전광역시 유성구
6 김상희 대한민국 대전광역시 유성구
7 박장우 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 고려 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.12.14 수리 (Accepted) 1-1-2010-0823526-67
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.09.27 수리 (Accepted) 4-1-2012-5204781-41
3 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2013.11.04 수리 (Accepted) 1-1-2013-0999358-23
4 [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Resignation of Agent] Report on Agent (Representative)
2014.11.18 수리 (Accepted) 1-1-2014-1110948-69
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.06.09 수리 (Accepted) 4-1-2015-0033155-99
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.12.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-1220658-60
8 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2015.12.14 수리 (Accepted) 1-1-2015-1220662-43
9 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2016.10.14 수리 (Accepted) 1-1-2016-0998438-13
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.12.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0894999-45
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2016-5186477-02
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.02.13 무효 (Invalidation) 1-1-2017-0148101-29
13 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.02.13 수리 (Accepted) 1-1-2017-0148100-84
14 보정요구서
Request for Amendment
2017.02.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0025668-81
15 무효처분통지서
Notice for Disposition of Invalidation
2017.03.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0043401-20
16 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2017.07.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0494711-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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(a) 산화인듐; (b) 산화아연; 및 (c) 산화티타늄 (TiO2-a)을 함유하고, 하기 화학식 1의 조성으로 표기되는 것을 특징으로 하는 산화인듐아연 (IZO)계 스퍼터링 타겟:[화학식 1]InxZny(TiO2-a)z 상기 식에서, x+y ≤ 1, 0
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국전자통신연구원 정보통신산업원천기술개발사업 투명전자소자를 이용한 스마트 창