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산화인듐아연 투명 도전막 및 이의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015063638
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 (a) 산화인듐; (b) 산화아연; 및 (c) 산화티타늄 (TiO2-a)을 함유하고, 하기 화학식 1의 조성으로 표기되는 산화인듐아연 (IZO) 스퍼터링 타겟으로부터 형성되는 투명 도전막을 제공한다[화학식 1]InxZny(TiO2-a)z (상기 식에서, x+y ≤ 1, 0.0001 ≤ z 003c# 0.002이며, 여기서 x : y : z = 8.5~9.5 : 1.5~ 0.5 범위이며, a는 0.5 ≤ a ≤ 1이다.)본 발명에서는 도펀트 물질 사용에 따른 전기적 특성의 저하 없이, 에칭 특성이 우수한 산화인듐아연 (IZO)계 박막을 제작할 수 있다.
Int. CL C23C 14/08 (2006.01) C23C 14/34 (2006.01)
CPC C23C 14/3414(2013.01) C23C 14/3414(2013.01)
출원번호/일자 1020100123561 (2010.12.06)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2012-0062341 (2012.06.14) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 취하
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정승묵 대한민국 경기도 수원시 영통구
2 정우석 대한민국 대전광역시 유성구
3 황치선 대한민국 대전광역시 유성구
4 박상희 대한민국 대전광역시 유성구
5 조경익 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김용인 대한민국 서울특별시 송파구 올림픽로 ** (잠실현대빌딩 *층)(특허법인(유한)케이비케이)
2 박영복 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층(역삼동, 삼화빌딩)(특허법인 두성)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.12.06 수리 (Accepted) 1-1-2010-0802145-38
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2013.01.22 수리 (Accepted) 1-1-2013-0063367-92
3 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2013.08.28 수리 (Accepted) 1-1-2013-0784851-45
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(a) 산화인듐; (b) 산화아연; 및 (c) 산화티타늄 (TiO2-a)을 함유하고, 하기 화학식 1의 조성으로 표기되는 산화인듐아연 (IZO) 스퍼터링 타겟으로부터 형성되는 투명 도전막:[화학식 1]InxZny(TiO2-a)z 상기 식에서, x+y ≤ 1, 0
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국전자통신연구원 정보통신산업원천기술개발사업 투명전자소자를 이용한 스마트 창