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쇼키 장벽 금속 산화물 반도체 전계 효과 트랜지스터의양극 전도성을 이용한 소자

  • 기술번호 : KST2015080554
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 쇼키 장벽 금속 산화물 반도체 전계 효과 트랜지스터(SB-MOSFET)의 양극 전도성을 이용한 소자 및 소자 동작 방법을 제시한다. 본 발명에 따르면, 실리콘 채널 영역, 채널 영역 양단에 접촉하게 금속층을 포함하여 형성된 소스 및 드레인, 및 채널 영역 상에 게이트 유전층을 계면에 수반하여 중첩되는 게이트를 포함하는 SB-MOSFET 구조에서, 게이트에 양(+), 0 또는 음(-)의 게이트 전압이 선택적으로 인가하여 소자를 동작시킴으로써, 정공 전류 및 전자 전류의 두 가지 드레인 전류 상태와 전류가 흐르지 않는 전류 상태의 세 가지 상태를 하나의 SB-MOSFET에 구현할 수 있다. 이에 따라, 이러한 SB-MOSFET를 다단 메모리(multi-bit memory) 소자 또는/ 및 다단 논리 소자 등과 같은 소자로서 이용할 수 있다. SBTT, 쇼키 장벽, 정공 전류, 전자 전류, 금속실리사이드
Int. CL H01L 29/78 (2006.01)
CPC H01L 29/0891(2013.01) H01L 29/0891(2013.01) H01L 29/0891(2013.01)
출원번호/일자 1020040109297 (2004.12.21)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0670803-0000 (2007.01.11)
공개번호/일자 10-2006-0070717 (2006.06.26) 문서열기
공고번호/일자 (20070119) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.12.21)
심사청구항수 13

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 신재헌 대한민국 대전 유성구
2 장문규 대한민국 대전 유성구
3 김약연 대한민국 대전 중구
4 이성재 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 리앤목특허법인 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)
2 이해영 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)(리앤목특허법인)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2004.12.21 수리 (Accepted) 1-1-2004-0602285-89
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.04.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0251632-12
3 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.06.09 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0407079-85
4 의견서
Written Opinion
2006.06.09 수리 (Accepted) 1-1-2006-0407078-39
5 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2006.07.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0413945-42
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.08.30 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2006-0627031-09
7 의견서
Written Opinion
2006.08.30 수리 (Accepted) 1-1-2006-0627030-53
8 등록결정서
Decision to grant
2006.12.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0775454-26
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
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번호 청구항
1 1
실리콘 채널 영역;상기 채널 영역의 일단에 접촉하면서, 전자에 대하여 상기 채널 영역과 제1 일함수를 가지는 소스; 상기 채널 영역의 타단에 접촉하면서, 정공에 대하여 상기 채널 영역과 상기 제1 일함수보다 큰 제2 일함수를 가진 드레인; 및상기 채널 영역 상에 게이트 유전층을 계면에 수반하여 중첩되며양(+), 0 또는 음(-)의 게이트 전압이 선택적으로 인가되되 상기 게이트 전압이 음(-)의 문턱 전압과 양(+)의 문턱 전압 사이로 인가될 때 상기 채널이 오프(off) 상태가 되고 상기 게이트 전압이 음(-)의 문턱 전압 보다 작거나 양(+)의 문턱 전압보다 클 때 각각 상기 채널이 제1온(on) 상태 및 제2온 상태가 되게 상기 게이트 전압이 인가되는 게이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 쇼키 장벽 금속 산화물 반도체 전계 효과 트랜지스터
2 2
제1항에 있어서, 상기 소스 및 드레인은 상기 금속층으로 금속 실리사이드층을 포함하여 형성된 것을 특징으로 하는 쇼키 장벽 금속 산화물 반도체 전계 효과 트랜지스터
3 3
제1항에 있어서, 상기 채널 영역은 무도핑 또는 P형으로 도핑된 것을 특징으로 하는 쇼키 장벽 금속 산화물 반도체 전계 효과 트랜지스터
4 4
제1항에 있어서, 상기 채널 영역은 무도핑 또는 N형으로 도핑된 것을 특징으로 하는 쇼키 장벽 금속 산화물 반도체 전계 효과 트랜지스터
5 5
제1항에 있어서, 상기 음(-) 및 양(+)의 문턱 전압들 중 어느 하나는 상기 소스와 상기 채널 영역 간의 전자에 대한 쇼키 장벽의 높이에 의존하여 설정되고 다른 하나는 상기 드레인과 상기 채널 영역 간의 정공에 대한 쇼키 장벽의 높이에 의존하여 설정되는 것을 특징으로 하는 쇼키 장벽 금속 산화물 반도체 전계 효과 트랜지스터
6 6
제1항에 있어서, 상기 채널의 제1온(on) 상태 및 제2온 상태 각각에서 서로 다른 캐리어(carrier)가 상기 채널을 통해 이동되는 것을 특징으로 하는 쇼키 장벽 금속 산화물 반도체 전계 효과 트랜지스터
7 7
제1항에 있어서, 상기 채널의 제1온(on) 상태 및 제2온 상태 각각에서 상기 소스로부터 상기 드레인쪽으로 흐르는 드레인 전류의 값은 서로 다른 것을 특징으로 하는 쇼키 장벽 금속 산화물 반도체 전계 효과 트랜지스터
8 8
제7항에 있어서, 상기 채널의 제1온(on) 상태 및 제2온 상태에서 각각 검출되는 상기 드레인 전류들 중 어느 하나는 상기 드레인으로부터 상기 소스쪽으로 이동하는 정공 흐름에 의해 형성되고 다른 하나는 상기 소스로부터 상기 드레인쪽으로 이동하는 전자 흐름에 의해 형성된 것을 특징으로 하는 쇼키 장벽 금속 산화물 반도체 전계 효과 트랜지스터
9 9
제1항에 있어서, 상기 채널의 제1온(on) 상태 및 제2온 상태일 때 상기 드레인에는 양(+) 전압 또는 음(-)의 전압이 인가되고, 상기 게이트 전압은 상기 드레인 전압과 동일한 극성이거나 또는 반대 극성으로 인가되어 상기 제1온 상태 및 상기 제2온 상태가 제어되는 것을 특징으로 하는 쇼키 장벽 금속 산화물 반도체 전계 효과 트랜지스터
10 10
실리콘 채널 영역;상기 채널 영역의 일단에 접촉하면서, 전자에 대하여 상기 채널 영역과 제1 일함수를 가지는 소스; 상기 채널 영역의 타단에 접촉하면서, 정공에 대하여 상기 채널 영역과 상기 제1 일함수보다 큰 제2 일함수를 가진 드레인; 및상기 채널 영역 상에 게이트 유전층을 계면에 수반하여 중첩되며양(+), 0 또는 음(-)의 게이트 전압이 선택적으로 인가되되 상기 게이트 전압이 음(-)의 문턱 전압과 양(+)의 문턱 전압 사이로 인가될 때 상기 채널이 오프(off) 상태가 되고 상기 게이트 전압이 음(-)의 문턱 전압 보다 작거나 양(+)의 문턱 전압보다 클 때 각각 상기 채널이 제1온(on) 상태 및 제2온 상태가 되게 상기 게이트 전압이 인가되는 게이트; 및 상기 소스에 전기적으로 연결되되 상기 게이트 전압의 극성에 따라 서로 다른 전하량들이 축전되는 커패시터를 포함하는 것을 특징으로 하는 쇼키 장벽 금속 산화물 반도체 전계 효과 트랜지스터를 이용한 다단 메모리 소자
11 11
제10항에 있어서, 상기 음(-) 및 양(+)의 문턱 전압들 중 어느 하나는 상기 소스와 상기 채널 영역 간의 전자에 대한 쇼키 장벽의 높이에 의존하여 설정되고 다른 하나는 상기 드레인과 상기 채널 영역 간의 정공에 대한 쇼키 장벽의 높이에 의존하여 설정되는 것을 특징으로 하는 쇼키 장벽 금속 산화물 반도체 전계 효과 트랜지스터를 이용한 다단 메모리 소자
12 12
실리콘 채널 영역;상기 채널 영역의 일단에 접촉하면서, 전자에 대하여 상기 채널 영역과 제1 일함수를 가지는 소스; 상기 채널 영역의 타단에 접촉하면서, 정공에 대하여 상기 채널 영역과 상기 제1 일함수보다 큰 제2 일함수를 가진 드레인; 및상기 채널 영역 상에 게이트 유전층을 계면에 수반하여 중첩되며양(+), 0 또는 음(-)의 게이트 전압이 입력 전압으로 선택적으로 인가되되 상기 게이트 전압이 음(-)의 문턱 전압과 양(+)의 문턱 전압 사이로 인가될 때 상기 채널이 오프(off) 상태가 되고 상기 게이트 전압이 음(-)의 문턱 전압 보다 작거나 양(+)의 문턱 전압보다 클 때 각각 상기 채널이 제1온(on) 상태 및 제2온 상태가 되게 상기 게이트 전압이 입력 전압으로 인가된 게이트; 및 상기 드레인에 전기적으로 연결되어 상기 게이트 전압의 극성에 따라 상기 드레인에 전기적으로 연결되어 검출되는 출력 전압이 전압 강하에 의해 달라지게 상기 바이어스 전압을 상기 드레인에 인가하는 저항을 포함하는 것을 특징으로 하는 쇼키 장벽 금속 산화물 반도체 전계 효과 트랜지스터를 이용한 다단 논리 소자
13 13
제12항에 있어서, 상기 음(-) 및 양(+)의 문턱 전압들 중 어느 하나는 상기 소스와 상기 채널 영역 간의 전자에 대한 쇼키 장벽의 높이에 의존하여 설정되고 다른 하나는 상기 드레인과 상기 채널 영역 간의 정공에 대한 쇼키 장벽의 높이에 의존하여 설정되는 것을 특징으로 하는 쇼키 장벽 금속 산화물 반도체 전계 효과 트랜지스터를 이용한 다단 논리 소자
14 13
제12항에 있어서, 상기 음(-) 및 양(+)의 문턱 전압들 중 어느 하나는 상기 소스와 상기 채널 영역 간의 전자에 대한 쇼키 장벽의 높이에 의존하여 설정되고 다른 하나는 상기 드레인과 상기 채널 영역 간의 정공에 대한 쇼키 장벽의 높이에 의존하여 설정되는 것을 특징으로 하는 쇼키 장벽 금속 산화물 반도체 전계 효과 트랜지스터를 이용한 다단 논리 소자
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP18179865 JP 일본 FAMILY
2 US07312510 US 미국 FAMILY
3 US20060131621 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP2006179865 JP 일본 DOCDBFAMILY
2 US2006131621 US 미국 DOCDBFAMILY
3 US7312510 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.