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열전대를 구비하는 고전력 소자 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015082239
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 고전력 소자에서 최고 온도를 발생하는 발열체의 온도를 실시간으로 감지할 수 있는 열전대를 구비한 고전력 소자를 제공하기 위한 것으로, 이를 위해 본 발명은 발열체와, 상기 발열체에 근접하도록 형성된 열전대와, 상기 발열체와 상기 열전대를 절연시키기 위해 이들 사이에 형성된 유전체를 포함하는 고전력 소자를 제공한다. 열전대, 고전력 소자, 발열체, 온도 측정
Int. CL H01L 29/78 (2006.01) H01L 21/336 (2006.01) H01L 23/32 (2006.01)
CPC H01L 23/34(2013.01) H01L 23/34(2013.01) H01L 23/34(2013.01) H01L 23/34(2013.01) H01L 23/34(2013.01) H01L 23/34(2013.01) H01L 23/34(2013.01) H01L 23/34(2013.01)
출원번호/일자 1020060094656 (2006.09.28)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0821127-0000 (2008.04.03)
공개번호/일자 10-2008-0029096 (2008.04.03) 문서열기
공고번호/일자 (20080414) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.09.28)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 곽창수 대한민국 대전 유성구
2 엄만석 대한민국 대전 유성구
3 염인복 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 신성특허법인(유한) 대한민국 서울특별시 송파구 중대로 ***, ID타워 ***호 (가락동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 (주) 제이앤케이사이언스 서울특별시 서초구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.09.28 수리 (Accepted) 1-1-2006-0708002-18
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2007.05.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2007.06.13 수리 (Accepted) 9-1-2007-0036064-97
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2007.09.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0530714-14
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2007.10.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0762585-93
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2007.10.24 수리 (Accepted) 1-1-2007-0762586-38
7 등록결정서
Decision to grant		 2008.03.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0160741-47
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
제1 기판; 상기 제1 기판 상에 형성된 열전대;상기 열전대를 덮도록 상기 제1 기판 상에 형성된 제2 기판; 및상기 열전대와 대응되도록 상기 제2 기판 상에 형성된 발열체를 포함하는 고전력 소자
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 열전대는 두 종류의 금속 또는 합금으로 이루어진 제1 및 제2 박막을 포함하는 고전력 소자
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 제1 및 제2 박막은 일측단이 서로 접합되어 측온 접점을 형성하는 고전력 소자
4 4
제 3 항에 있어서, 상기 발열체는 중앙부가 상기 측온 접점과 대응되도록 정렬된 고전력 소자
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 열전대와 연결된 비아 콘택; 및상기 비아 콘택을 외부 리드 프레임과 연결시키기 위한 패드를 더 포함하는 고전력 소자
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 발열체는 게이트 전극인 고전력 소자
7 7
제 6 항에 있어서, 상기 열전대는 두 종류의 금속 또는 합금으로 이루어진 제1 및 제2 박막을 포함하는 고전력 소자
8 8
제 6 항에 있어서, 상기 제1 및 제2 박막은 일측단이 서로 접합되어 측온 접점을 형성하는 고전력 소자
9 9
제 8 항에 있어서, 상기 게이트 전극은 중앙부가 상기 측온 접점과 대응되도록 정렬된 고전력 소자
10 10
제 6 항에 있어서, 상기 제2 기판은 상기 열전대와 대응되는 부위에 리세스 홈이 형성된 고전력 소자
11 11
제 6 항에 있어서, 상기 열전대와 연결된 비아 콘택; 및상기 비아 콘택을 외부 리드 프레임과 연결시키기 위한 패드를 더 포함하는 고전력 소자
12 12
제1 기판 상에 제1 박막을 형성하는 단계;일측단이 상기 제1 박막과 접합되어 상기 제1 박막과 열전대를 이루는 제2 박막을 형성하는 단계;상기 제1 및 제2 박막을 덮도록 상기 제1 기판 상에 제2 기판을 형성하는 단계; 및상기 제1 및 제2 박막의 접합점과 대응되도록 상기 제2 기판 상에 발열체를 형성하는 단계를 포함하는 고전력 소자의 제조방법
13 13
제 12 항에 있어서, 상기 제2 기판을 형성하는 단계 후, 상기 제1 및 제2 박막의 접합점과 대응되는 부위의 상기 제2 기판을 리세스시켜 홈을 형성하는 단계를 더 포함하는 고전력 소자의 제조방법
14 14
제 13 항에 있어서, 상기 발열체는 게이트 전극으로서 상기 홈에 형성하는 고전력 소자의 제조방법
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US08294247 US 미국 FAMILY
2 US20100090329 US 미국 FAMILY
3 WO2008038922 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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1 US2010090329 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US8294247 US 미국 DOCDBFAMILY
3 WO2008038922 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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