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기판 상에 서로 이격된 제1 전극 및 제2 전극을 형성하는 것;상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 상에 지지 패턴들을 형성하는 것;상기 지지 패턴들을 그래핀 산화물 함유 용액으로 코팅하여 복합 패턴들을 형성하는 것; 및상기 복합 패턴들로부터 상기 지지 패턴들을 분리하는 것을 포함하는 그래핀 전자 소자의 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 지지 패턴들은 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극을 연결하도록 형성되는 그래핀 전자 소자의 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 지지 패턴들은 고분자 섬유를 포함하는 그래핀 전자 소자의 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 지지 패턴들을 형성하는 것은:상기 제1 및 제2 전극들 상에 마스크를 제공하는 것; 및 상기 마스크가 제공된 상기 제1 및 제2 전극들 상에 고분자 용액을 전기 방사하는 것을 포함하되,상기 마스크는 상기 제1 전극의 단부, 상기 제2 전극의 단부, 및 상기 단부들 사이의 기판을 노출하는 그래핀 전자 소자의 제조방법
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청구항 4에 있어서,상기 지지 패턴들은 상기 제1 전극의 단부와 상기 제2 전극의 단부를 연결하고, 상기 기판과 이격되어 형성되는 그래핀 전자 소자의 제조방법
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청구항 4에 있어서,상기 지지 패턴들을 형성하는 것은, 암모니아 용액 또는 수산화나트륨용액을 이용하여 상기 지지 패턴들이 불용성(insolubility)을 갖도록 하는 것을 더 포함하는 그래핀 전자 소자의 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 그래핀 산화물 함유 용액 내의 그래핀 산화물은 상기 지지 패턴들과 자기 조립되는 그래핀 전자 소자의 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 복합 패턴들로부터 상기 지지 패턴들을 분리하는 것은, 상기 복합 패턴들을 포함하는 전자 소자를 열처리 또는 화학적 용융하는 것을 포함하는 그래핀 전자 소자의 제조방법
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청구항 8에 있어서, 상기 화학적 용융은 산 계열의 용매를 이용하는 그래핀 전자 소자의 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 지지 패턴들을 그래핀 산화물 함유 용액으로 코팅하여 복합 패턴들을 형성하는 것은:상기 지지 패턴들을 상기 그래핀 산화물 함유 용액 내에 담가 그래핀 산화물 복합 패턴들을 형성하는 것; 및상기 그래핀 산화물 복합 패턴들을 그래핀 복합 패턴들로 환원하는 것을 포함하는 그래핀 전자 소자의 제조방법
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청구항 10에 있어서,상기 그래핀 산화물 복합 패턴들을 그래핀 복합 패턴들로 환원하는 것은, 열적, 광적, 또는 화학적 방법으로 환원하는 것을 포함하는 그래핀 전자 소자의 제조방법
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기판;상기 기판 상에 제공되고 서로 이격된 제1 전극 및 제2 전극; 및상기 제1 전극과 상기 제2 전극을 연결하는 그래핀 채널들을 포함하되,상기 그래핀 채널들은 상기 기판과 이격되고, 실린더의 형태를 갖는 그래핀 전자 소자
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13
청구항 12에 있어서,상기 각 그래핀 채널은 그래핀 또는 그래핀 산화물을 포함하는 그래핀 전자 소자
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청구항 12에 있어서,상기 각 그래핀 채널의 내부 직경은 1nm 내지 100μm 인 그래핀 전자 소자
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