요약 | 본 발명은 전력 정류 소자를 개시한다. 그의 소자는, 기판과, 상기 기판 상의 소스 층과, 상기 소스 층 상의 채널 층과, 상기 채널 층 상에 개별적으로 분리된 게이트 패턴들과, 상기 게이트 패턴들과 상기 채널 층 사이의 게이트 절연막들과, 상기 게이트 패턴들 사이의 상기 채널 층 내에 형성된 드레인을 포함한다. 상기 게이트 패턴들은, 상기 기판의 셀(Cell) 영역 상에서 넓은 선폭(wide width)과 좁은 선폭(short width)이 조합된 십자 모양, 티자 모양, 원형 모양, 직사각형 모양, 팔각형 모양 중 어느 하나의 모양으로 배치되고, 상기 기판 가장자리(Peripheral) 영역을 둘러싸는 링 모양으로 배치될 수 있다. |
---|---|
Int. CL | H01L 29/78 (2006.01) H01L 21/336 (2006.01) |
CPC | H01L 29/4238(2013.01) H01L 29/4238(2013.01) H01L 29/4238(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020130085554 (2013.07.19) |
출원인 | 한국전자통신연구원 |
등록번호/일자 | |
공개번호/일자 | 10-2015-0010472 (2015.01.28) 문서열기 |
공고번호/일자 | |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 공개 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | N |
심사청구항수 | 1 |