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트렌지스터

  • 기술번호 : KST2015101862
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 실시예에 따른 트렌지스터는 활성층 및 상기 활성층에 접하는 게이트 절연막을 포함할 수 있다. 활성층 및 게이트 절연막은 동일한 물질의 산화물을 포함할 수 있다. 게이트 절연막은 활성층보다 높은 산소람량비를 가지는 산화물을 포함할 수 있다. 활성층 및 게이트 절연막이 동일한 물질을 포함함에 따라, 트렌지스터 구동 시 활성층 내에서 높은 전하이동도가 나타날 수 있다. 트렌지스터의 제조공정에서 활성층 및 게이트 절연막은 동일한 스퍼터링 챔버 내에서 산소분압비만 달리한 채, 동일한 물질을 증착하여 형성할 수 있다.
Int. CL H01L 29/786 (2006.01) H01L 21/336 (2006.01)
CPC H01L 29/7869(2013.01) H01L 29/7869(2013.01) H01L 29/7869(2013.01)
출원번호/일자 1020120144265 (2012.12.12)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2014-0076106 (2014.06.20) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 차홍기 대한민국 서울 강서구
2 안성덕 대한민국 대전 유성구
3 황치선 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 고려 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.12.12 수리 (Accepted) 1-1-2012-1032541-14
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2015.01.16 수리 (Accepted) 1-1-2015-0045356-47
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
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번호 청구항
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기판 상의 소스/드레인 전극; 상기 기판 상에서 상기 소스/드레인 전극의 가장자리와 접하는 활성층; 상기 기판 상에 제공되며, 상기 활성층에 대응하는 게이트 전극; 상기 활성층 및 상기 게이트 전극 사이에 개재된 게이트 절연막; 그리고 상기 게이트 전극 상에 배치되며, 상기 활성층을 덮는 패시베이션층을 포함하되, 상기 활성층은 제1 산화물을 포함하고, 상기 게이트 절연막은 제2 산화물을 포함하며, 상기 제1 산화물은 상기 제2 산화물과 동일한 물질로 구성되고, 제2 산화물보다 더 낮은 산소함량비를 가지는 트렌지스터
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국전자통신연구원 산업원천기술개발사업(ETRI지원사업) 모바일 플렉시블 입출력 플랫폼