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광원과; 박막이 형성되는 기판의 이면에 상기 광원으로부터 나온 광을 입사시키기 위한 복수의 입사용 광섬유 가닥들과, 상기 기판의 이면에서 반사된 광을 수신하도록 상기 입사용 광섬유 가닥들의 각각의 주위에 대칭적으로 분포하게 위치한 복수의 수신용 광섬유 가닥들과, 상기 입사 및 수신용 광섬유 가닥들의 일부를 내부에 삽입하여 집적시키기 위한 모세관을 포함하는 광섬유 다발 프로브와; 박막이 형성됨에 따라 상기 기판에 휨이 발생하도록 상기 기판의 일측단만을 고정하는 기판 홀더와; 상기 기판의 이면과 프로브 사이의 거리를 조절하기 위한 수단과; 상기 수신용 광섬유에서 나오는 광을 전기신호로 변환하는 광 검출수단을 구비하는 박막 스트레스 측정장치
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제1항에 있어서, 상기 입사 및 수신용 광섬유 가닥들의 각각이 전단응력에 의한 손상을 받지 않도록 에폭시에 의해 그 측면이 피복된 것을 특징으로 하는 박막 스트레스 측정장치
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제1항에 있어서, 상기 광원이 할로겐 램프인 것을 특징으로 하는 박막 스트레스 측정장치
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제1항에 있어서, 상기 거리 조절수단이 미세 마이크로미터가 부착된 이동계인 것을 특징으로 하는 박막 스트레스 측정장치
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제1항에 있어서, 상기 변환된 전기신호를 증폭하는 수단과; 상기 증폭된 전기신호에서 직류신호만을 받고 잡음을 제거하기 위한 저역 통과 필터수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 박막 스트레스 측정장치
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제1항에 있어서, 진공챔버 내에서 형성되는 박막에 적용하기 위해, 상기 진공챔버 내부의 기밀을 유지한 상태에서 상기 입사용 및 수신용 광섬유 가닥들을 그 내부로 인입하기 위한 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 박막 스트레스 측정장치
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박막이 형성되는 기판의 이면에 광을 입사시키기 위한 복수의 입사용 광섬유 가닥들과, 상기 기판의 이면에서 반사된 광을 수신하기 위한 복수의 수신용 광섬유 가닥들의 측면을 각각 에폭시로 피복하는 단계와; 상기 입사용 및 수신용 광섬유 가닥들을 모세관 내부에 삽입하여 집적하는 단계와; 상기 입사용 및 수신용 광섬유 가닥들의 단부를 연마하는 단계를 구비하는 박막 스트레스 측정장치용 프로브의 제조방법
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제7항에 있어서, 상기 광섬유 가닥들을 집적하는 단계에서 각각의 광섬유 가닥의 고정위치를 결정하는 방법이: 상기 입사용 및 수신용 광섬유 가닥들의 배치형태를 2차원 무작위 구조로 변화시키는 단계와; 상기 기판의 이면과 프로브 사이의 간격을 변화시켜 가며, 상기 입사용 광섬유 가닥들에 광을 도입하여 기판의 이면에서 반사시키는 단계와; 상기 수신용 광섬유 가닥들을 통해 상기 반사광을 수신하는 단계와; 상기 수신된 광을 검출하는 단계와; 상기 기판의 이면과 프로브 사이의 간격 변화에 따른 검출광의 세기변화를 가장 크게 만드는 입사용 및 수신용 광섬유 가닥들의 위치를 선택하는 단계를 통하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 박막 스트레스 측정장치용 프로브의 제조방법
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