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공초점 원리를 이용한 현미경 자동초점장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2015112211
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 공초점 원리를 이용한 현미경 자동초점조절장치에 관한 것으로, 전통적인 공초점 현미경 구조에서 사용된 핀홀을 단일모드 광섬유로 대체함으로써 시스템 구성을 단순화하면서, 광원과 검출기의 역할이 하나의 광섬유로 통합되는 상반구성을 적용함으로써 광축 정렬의 어려움을 크게 해소함과 동시에, 광원변조 방법을 이용한 초점오차신호 획득을 통해 초점위치 검출을 위한 광축 주사과정을 제거하면서 대물렌즈 변조 방법에 비해 시스템에 미치는 물리적 영향을 최소화한 초점조절을 수행하는 것을 그 특징으로 한다. 공초점 현미경, 초점조절, 단일모드 광섬유, 광원변조
Int. CL G02B 21/00 (2006.01) G02B 21/26 (2006.01)
CPC G02B 21/0032(2013.01) G02B 21/0032(2013.01) G02B 21/0032(2013.01) G02B 21/0032(2013.01) G02B 21/0032(2013.01)
출원번호/일자 1020040051788 (2004.07.03)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0602915-0000 (2006.07.12)
공개번호/일자 10-2006-0002653 (2006.01.09) 문서열기
공고번호/일자 (20060719) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.07.03)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김승우 대한민국 대전광역시 유성구
2 박정재 대한민국 서울특별시 구로구
3 이호재 대한민국 서울특별시 동대문구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이재갑 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 원빌딩**층 *T국제특허사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2004.07.03 수리 (Accepted) 1-1-2004-0294989-10
2 서지사항 보정서
Amendment to Bibliographic items
2004.07.07 수리 (Accepted) 1-1-2004-0299255-99
3 서지사항 보정서
Amendment to Bibliographic items
2004.07.20 수리 (Accepted) 1-1-2004-0319086-38
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2005.11.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2005.12.15 수리 (Accepted) 9-1-2005-0081743-55
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.01.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0061743-14
7 의견서
Written Opinion
2006.03.31 수리 (Accepted) 1-1-2006-0230317-51
8 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.03.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0230316-16
9 등록결정서
Decision to grant
2006.06.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0349150-26
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
자동초점 조절장치에 있어서 광섬유가 사용된 공초점 시스템과; 광섬유 페룰의 광축 방향 변조를 위한 광원변조장치와; 측정 물체 표면에서 반사되어 돌아오는 광을 검출하여 초점오차신호로부터 제어신호를 발생시키기 위한 신호처리부로 구성되며, 측정물체를 움직이면서 공초점 시스템을 통해 신호를 획득하고, 상기 획득한 신호의 미분결과를 얻어 초점위치를 획득하는 것을 특징으로 하는 자동초점 조절장치
2 2
자동초점조절 장치에 있어서, 핀홀 대신 광섬유가 사용된 공초점 현미경 시스템과; 광섬유 페룰의 광축 방향 변조를 위한 광원변조장치와; 측정 물체 표면에서 반사되어 돌아오는 광을 검출하여 초점오차신호로부터 제어신호를 발생시키기 위한 신호처리부와; 제어신호를 이용하여 초점조절을 위한 대물렌즈 구동을 담당하는 대물렌즈 구동부로 구성된 것을 특징으로 하는 자동초점조절 장치
3 3
제2항에 있어서, 상기 공초점 시스템에서 측정물체 표면상의 초점과 공초점 관계를 갖는 점광원과 점검출기의 역할을 단일모드 광섬유 코어가 담당하는 상반구성을 적용하고, 내부 광학계는 무한보정 광학계로 구성되는 것을 특징으로 하는 자동초점조절 장치
4 4
제 1항 또는 제2항에 있어서 상기 광원변조장치는 일정한 진폭과 주파수를 갖는 파형을 발생시키는 변조파형발생기와 신호증폭기, 그리고 압전소자와 광섬유 페룰로 구성되며, 광섬유 페룰의 광축 방향 변조를 가능하게 하는 다양한 구조를 포함하는 것을 특징으로 하는 자동초점조절 장치
5 5
제 1항 또는 제2항에 있어서 상기 신호처리부는 광원변조장치에 의해 변조된 신호가 측정물체 표면에서 반사되어 돌아오는 것을 검출하는 광검출기, 검출 신호와 변조 신호를 이용하여 초점오차신호를 발생시키는 미소신호동기증폭기, 초점오차신호로부터 초점조절을 위한 제어신호를 발생시키는 제어기로 구성되는 것을 특징으로 하는 자동초점조절 장치
6 6
제 2항에 있어서, 상기 대물렌즈 구동부는 대물렌즈 구동을 담당하는 압전소자와 압전소자에 고정되는 대물렌즈로 구성되며, 초점조절을 위한 구동방식에 있어서 측정시편을 이동시키거나 현미경 시스템 전체를 이동시키는 것을 특징으로 하는 자동초점조절 장치
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제 5항에 있어서, 상기 미소신호동기증폭기에서 신호 처리 흐름은 상기 검출 신호를 일정한 입력 이득으로 증폭하고, 상기 변조 신호와 증폭된 검출 신호를 곱하며, 두 신호가 곱해진 결과를 저대역 통과 필터를 거쳐 얻은 신호를 통해 대물렌즈의 광축 주사를 통해 얻게 되는 종방향 특성 곡선의 미분 형태에 해당하는 방향성을 가진 초점오차신호를 획득하는 것을 특징으로 하는 자동초점조절 장치
8 8
삭제
9 9
자동초점 획득방법에 있어서, 대물렌즈 구동을 통해 초점영역을 설정하는 1단계와; 단일모드 광섬유을 통해 광을 측정물에 조사하는 2단계와; 측정물로부터 반사되는 광을 단일모드 광섬유로 획득하는 3단계와; 상기 광섬유에 광축방향으로 광변조시키는 4단계와; 상기 3단계의 광섬유에서 획득한 신호에 상기 4단계의 광변조 신호를 곱하는 5단계와; 상기 5단계에서 얻는 신호의 DC성분을 얻는 6단계와; 상기 6단계에서 얻은 신호를 통해 초점위치를 획득하는 자동초점 획득방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.