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진동에 둔감한 간섭계

  • 기술번호 : KST2015117535
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 진동에 둔감한 간섭계에 관한 것으로, 측정물체의 진동이 기준파면과 측정파면에 공통적으로 존재함으로써 움직이는 물체의 형상을 안정적으로 측정할 수 있으며, 기준면으로 인해 생성되는 오차를 없애기 위해 단일모드 광섬유에서 조사되는 구면파를 직접 기준파면으로 사용함으로써 시스템 오차를 최소화 할 수 있다. 따라서, 본 발명의 장치는 정밀한 측정을 위한 공간위상천이 장치가 구비되며, 실시간으로 측정대상 물체의 임의 형상을 측정할 수 있다. 간섭계, 광섬유, 공간위상천이,
Int. CL G01B 9/02 (2006.01)
CPC G01B 9/0201(2013.01) G01B 9/0201(2013.01) G01B 9/0201(2013.01) G01B 9/0201(2013.01) G01B 9/0201(2013.01) G01B 9/0201(2013.01)
출원번호/일자 1020040065700 (2004.08.20)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0593783-0000 (2006.06.20)
공개번호/일자 10-2006-0017143 (2006.02.23) 문서열기
공고번호/일자 (20060628) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.08.20)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김승우 대한민국 대전광역시 유성구
2 김학용 대한민국 대전광역시 유성구
3 박정재 대한민국 서울특별시 구로구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이재갑 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 원빌딩**층 *T국제특허사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2004.08.20 수리 (Accepted) 1-1-2004-0372751-70
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2006.01.18 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2006.02.13 수리 (Accepted) 9-1-2006-0008538-91
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.03.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0185081-72
5 의견서
Written Opinion		 2006.05.24 수리 (Accepted) 1-1-2006-0363116-66
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.05.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0363115-10
7 등록결정서
Decision to grant		 2006.06.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0336430-12
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
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번호 청구항
1 1
측정물체로부터의 기준광과 측정광을 통해 간섭신호를 획득하기 위한 점회절 간섭계에 있어서,상기 측정물체로부터 반사되어 온 기준광을 편광시켜 구면파를 형성하여 출사하는 광섬유;상기 광섬유를 통과한 기준광과 상기 측정물체로부터의 측정광이 동일경로로 만나되 두개의 광이 서로 직교하여 출사하는 편광분할기; 상기 편광분할기로부터의 두개의 광을 공간위상천이시키기 위한 공간위상천이기; 및상기 공간위상천이된 복수개의 간섭신호를 동시에 획득하기 위한 광검출기를 포함하는 것을 특징으로 하는 간섭계
2 2
제 1항에 있어서, 상기 측정물체로부터의 측정광이 상기 편광분할기 쪽으로 향하도록 하는 광경로 변경수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 간섭계
3 3
제 2항에 있어서, 상기 광경로변경수단은 코너큐브인 것을 특징으로 하는 간섭계
4 4
제 1항에 있어서, 상기 공간위상천이기는 입사되는 광을 반사 및 투과시키기위한 광분할기와, 상기 반사된 광을 위상천이하기 위한 1/4파장판과, 상기 투과된 광을 그대로 통과하기 위한 평판과, 상기 1/4파장판을 통과한 광을 반사 및 투과하고 상기 평판을 통과한 광을 반사 및 투과하기 위한 편광분할기와, 상기 편광분할기에서 투과된 광들을 반사하기 위한 미러를 포함하며, 상기 편광분할기에서 반사된 2개의 광과 상기 미러에서 반사된 2개의 광을 출사하는 것을 특징으로 하는 간섭계
5 5
측정물체로부터의 기준광과 측정과을 통해 간섭신호를 획득하기 위해 측정물체로부터의 기준광과 측정광이 동일경로로 만나되 두개의 광이 서로 직교하여 출사하는 편광분할기를 포함하는 점회절 간섭계에 있어서,상기 편광분할기로부터의 광을 반사 및 투과시키기 위한 광분할기와, 상기 반사된 광을 위상천이하기 위한 1/4파장판과, 상기 투과된 광을 그대로 통과하기 위한 평판과, 상기 1/4파장판을 통과한 광을 반사 및 투과하고 상기 평판을 통과한 광을 반사 및 투과하기 위한 편광분할기와, 상기 편광분할기에서 투과된 광들을 반사하기 위한 미러를 포함하는 공간위상천이장치; 및 상기 편광분할기에서 반사된 2개의 광과 상기 미러에서 반사된 2개의 광으로부터 4개의 간섭신호를 획득하는 광검출기를 포함하는 것을 특징으로 하는 간섭계
6 6
측정물체로부터의 기준광과 측정광을 통해 간섭신호를 획득하기 위한 점회절 간섭계에 있어서,상기 측정물체에 조사되는 조사면을 넓게하고 평면파를 입사시키기 위한 시준렌즈;상기 측정물체로부터 반사되어 온 기준광을 편광시켜 구면파를 형성하여 출사하는 광섬유;상기 광섬유를 통과한 기준광과 상기 측정물체로부터의 측정광이 동일경로로 만나되 두개의 광이 서로 직교하여 출사하는 편광분할기; 상기 편광분할기로부터의 두개의 광을 공간위상천이시키기 위한 공간위상천이기; 및상기 공간위상천이된 복수개의 간섭신호를 동시에 검출하기 위한 광검출기를 포함하는 것을 특징으로 하는 간섭계
7 7
제 6항에 있어서, 상기 측정물체로부터의 측정광이 상기 편광분할기 쪽으로 향하도록 하는 광경로 변경수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 간섭계
8 8
제 7항에 있어서, 상기 광경로변경수단은 코너큐브인 것을 특징으로 하는 간섭계
9 9
제 6항에 있어서, 상기 공간위상천이기는 입사되는 광을 반사 및 투과시키기위한 광분할기와, 상기 반사된 광을 위상천이하기 위한 1/4파장판과, 상기 투과된 광을 그대로 통과하기 위한 평판과, 상기 1/4파장판을 통과한 광을 반사 및 투과하고 상기 평판을 통과한 광을 반사 및 투과하기 위한 편광분할기와, 상기 편광분할기에서 투과된 광들을 반사하기 위한 미러를 포함하며, 상기 편광분할기에서 반사된 2개의 광과 상기 미러에서 반사된 2개의 광을 출사하는 것을 특징으로 하는 간섭계
10 10
제 9항에 있어서, 상기 측정광은 상기 측정물체의 앞면반사광과 뒷면반사광으로부터의 측정물체의 표면형상정보를 포함하며, 코너큐브를 이용한 광경로 일치 과정을 통해 광경로차로부터 두께정보 또는 굴절률을 획득하는 것을 특징으로 하는 간섭계
11 10
제 9항에 있어서, 상기 측정광은 상기 측정물체의 앞면반사광과 뒷면반사광으로부터의 측정물체의 표면형상정보를 포함하며, 코너큐브를 이용한 광경로 일치 과정을 통해 광경로차로부터 두께정보 또는 굴절률을 획득하는 것을 특징으로 하는 간섭계
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2 US7405830 US 미국 DOCDBFAMILY
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