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절연 기판; 상기 절연 기판 상에 형성된 제1 도전층; 상기 제1 도전층과 이격되어 형성된 제2 도전층; 상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층과 대향되고, 이격되어 형성된 제3 도전층; 및 상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층에 전압을 인가하는 전원부;를 포함하는, 액츄에이터
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제1항에 있어서, 상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층이 서로 다른 면적으로 형성된, 액츄에이터
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 제1 도전층과 상기 제2 도전층 상에 절연막이 형성된 액츄에이터
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제1항에 있어서, 상기 제3 도전층은 도펀트가 도핑 된 다결정 실리콘 또는 금속 중 하나를 포함하는, 액츄에이터
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제1항에 있어서, 상기 제3 도전층과 상기 절연 기판 사이에 형성되어 상기 제3 도전층을 지지하는 지지부를 더 포함하는, 액츄에이터
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6
제1항에 있어서, 상기 인가된 전압에 의해 상기 제1 도전층, 상기 제2 도전층 및 상기 제3 도전층 사이에 전계분포가 형성되는, 액츄에이터
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7
제6항에 있어서, 상기 전계 분포에 의해 상기 제3 도전층이 상기 제1 도전층 및 제2 도전층 방향으로 이동하는, 액츄에이터
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8
제6항에 있어서, 상기 전계 분포에 의해 상기 제1 도전층 및 상기 제3 도전층 사이와 상기 제2 도전층 및 상기 제3 도전층 사이에 커패시터가 형성되고, 상기 제3 도전층의 이동에 따라 정전용량이 가변되는, 액츄에이터
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9
절연 기판; 상기 절연 기판 상에 형성된 제1 도전층; 상기 제1 도전층과 이격되어 형성된 제2 도전층; 상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층과 대향되고, 이격되어 형성된 제3 도전층; 상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층에 전압을 인가하는 전원부; 상기 제3 도전층 하부에 설치된 딤플; 상기 절연 기판 상에 설치된 제1 신호 전송선; 상기 제1 신호 전송선과 이격되어 설치된 제2 신호 전송선; 을 포함하는 스위치
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제9항에 있어서, 상기 제3 도전층과 상기 딤플 사이에 설치된 절연층을 더 포함하는, 스위치
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제9항에 있어서,상기 제1 도전층과 상기 제2 도전층 상에 절연막이 형성된, 스위치
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제9항에 있어서, 상기 제3 도전층은 도펀트가 도핑 된 다결정 실리콘 또는 금속 중 하나를 포함하는, 스위치
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제9항에 있어서, 상기 제3 도전층과 상기 절연 기판 사이에 형성되어 상기 제3 도전층을 지지하는 지지부를 더 포함하는, 스위치
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14
제9항에 있어서, 상기 인가된 전압에 의해 상기 제1 도전층, 상기 제2 도전층 및 상기 제3 도전층 사이에 전계분포가 형성되는, 스위치
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제14항에 있어서, 상기 전계 분포에 의해 상기 제3 도전층이 상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층 방향으로 이동하는, 스위치
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제9항 또는 제15항에 있어서, 상기 딤플이 상기 제3 도전층의 이동에 의해 상기 제1 신호 전송선과 상기 제2 신호 전송선에 전기적으로 연결되어 신호를 전달하는, 스위치
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