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기판 상에 위치하는 드레인 전극; 및상기 드레인 전극과 물리적으로 이격되어 위치하는 소스 전극;을 포함하고, 상기 소스 전극의 표면에는 금속 나노입자가 코팅된 탄소나노튜브 층이 적층되며,소스 전극에 가해지는 힘에 의해 상기 금속 나노입자가 코팅된 탄소나노튜브 층이 압축되어 전기 저항이 변화되는 것을 특징으로 하는 접촉식 마이크로 소자
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제1항에 있어서, 상기 소스 전극은, 레늄(Re), 루테늄(Ru), 로듐(Rh), 팔라듐(Pd), 은(Ag), 이리듐(Ir), 백금(Pt) 또는 금(Au) 중에서 선택되는 어느 하나 이상인 것을 특징으로 하는, 접촉식 마이크로 소자
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제1항에 있어서, 상기 금속 나노입자는, 금(Au), 은(Ag), 백금(Pt), 티타튬(Ti), 철(Fe), 니켈(Ni) 또는 구리(Cu) 나노입자 중 선택되는 어느 하나 이상인 것을 특징으로 하는, 접촉식 마이크로 소자
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제1항에 있어서, 상기 기판은, 실리콘, 산화규소(SiO2), 천(fabric), 유리(glass), 사파이어(Al2O3), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethylene terephthalate, PET) 및 폴리디메틸프록실산(polydimethylsiloxane, PDMS)으로 이루어진 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는, 접촉식 마이크로 소자
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제1항에 있어서, 상기 마이크로 소자는, MEMS 스위치, MEMS relay, 접촉식 스위치 기반의 논리소자(micromechanical inverter) 혹은 접촉식 센서인 것을 특징으로 하는, 접촉식 마이크로 소자
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접촉식 마이크로 소자를 제조하는 방법에 있어서,기판을 준비한 후, 물리적으로 이격되도록 드레인 전극, 소스 전극 및 게이트 전극을 형성하는 단계;상기 소스 전극의 표면에 탄소나노튜브 층을 형성하는 단계; 및상기 탄소나노튜브 층에 금속 나노입자를 코팅하는 단계;를 포함하는 접촉식 마이크로 소자의 제조 방법
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제6항에 있어서,상기 게이트 전극과 소스 전극은, 레늄(Re), 루테늄(Ru), 로듐(Rh), 팔라듐(Pd), 은(Ag), 이리듐(Ir), 백금(Pt) 또는 금(Au) 중에서 선택되는 어느 하나 이상인, 접촉식 마이크로 소자의 제조 방법
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제6항에 있어서, 상기 금속 나노입자는, 금(Au), 은(Ag), 백금(Pt), 티타튬(Ti), 철(Fe), 니켈(Ni) 또는 구리(Cu) 나노입자 중 선택되는 어느 하나 이상인 것을 특징으로 하는, 접촉식 마이크로 소자
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제6항에 있어서, 상기 탄소나노튜브 층을 형성하는 단계는, 탄소나노튜브 분산액을 사용하여 침적코팅(dip coating), 스핀코팅(spin coating) 또는 drop 코팅 방법으로 수행되는 것을 특징으로 하는, 접촉식 마이크로 소자의 제조 방법
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제6항에 있어서,상기 탄소나노튜브 층을 형성하는 단계는, 산소(O2) 플라즈마를 사용한 전처리가 수행된 이후에 진행되는 것을 특징으로 하는, 접촉식 마이크로 소자의 제조 방법
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제6항에 있어서, 상기 탄소나노튜브 층을 형성하는 단계는, 금-탄소나노튜브 분산액을 사용하여 침적코팅(dip coating), 스핀코팅(spin coating) 또는 drop 코팅 방법으로 수행되는 것을 특징으로 하는, 접촉식 마이크로 소자의 제조 방법
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제6항에 있어서,상기 기판은, 실리콘, 산화규소(SiO2), 천(fabric), 유리(glass), 사파이어(Al2O3), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethylene terephthalate, PET) 및 폴리디메틸프록실산(polydimethylsiloxane, PDMS)으로 이루어진 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는, 접촉식 마이크로 소자의 제조 방법
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제6항에 있어서,상기 금속 나노입자를 코팅하는 단계는, 금속 나노입자 용액을 이용해 침적코팅(dip coating), 스핀코팅(spin coating) 또는 drop 코팅 방법으로 수행되는 것을 특징으로 하는, 접촉식 마이크로 소자의 제조 방법
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제6항에 있어서,상기 금속 나노입자를 코팅하는 단계는, 증착(evaporation) 또는 스퍼터링(sputtering) 방법으로 수행되는 것을 특징으로 하는, 접촉식 마이크로 소자의 제조 방법
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제6항 내지 제14항 중 어느 한 항에 기재된 제조 방법으로 제조된 접촉식 마이크로 소자에 있어서,상기 마이크로 소자는, MEMS 스위치, MEMS relay, 접촉식 스위치 기반의 논리소자(micromechanical inverter) 혹은 접촉식 센서인 것을 특징으로 하는, 접촉식 마이크로 소자
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