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마이크로 미러 및 이를 이용한 마이크로 미러 어레이

  • 기술번호 : KST2015112819
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 마이크로 미러 및 이를 이용한 마이크로 미러 어레이에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 마이크로 미러는 절연기판, 절연기판 상에 형성된 어드레스(Address) 전극, 어드레스 전극 상에 형성된 절연층, 절연층 상에 형성되어, 어드레스 전극과 전기적으로 절연된 전하충전부, 및 지지부를 통하여 절연기판 상에 연결되고, 전하충전부와 대향되도록 이격되어 회전 가능하게 설치되며, 입사되는 입사광을 반사하는 반사체를 포함한다.
Int. CL G02B 26/08 (2006.01) B81B 7/02 (2006.01)
CPC G02B 26/0841(2013.01) G02B 26/0841(2013.01) G02B 26/0841(2013.01) G02B 26/0841(2013.01)
출원번호/일자 1020070103410 (2007.10.15)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0938994-0000 (2010.01.20)
공개번호/일자 10-2009-0038100 (2009.04.20) 문서열기
공고번호/일자 (20100128) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.10.15)
심사청구항수 23

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤준보 대한민국 대전 유성구
2 김대현 대한민국 대전 유성구
3 김민우 대한민국 대전 유성구
4 전진완 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김성호 대한민국 서울특별시 강남구 도곡로 *** (역삼동,미진빌딩 *층)(KNP 특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2007.10.15 수리 (Accepted) 1-1-2007-0735596-62
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.08.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.09.18 수리 (Accepted) 9-1-2008-0061066-09
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2009.05.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0222852-84
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2009.07.27 수리 (Accepted) 1-1-2009-0456465-47
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2009.08.27 수리 (Accepted) 1-1-2009-0525476-46
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2009.09.28 수리 (Accepted) 1-1-2009-0592908-28
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2009.10.27 수리 (Accepted) 1-1-2009-0657978-61
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2009.10.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0657993-46
10 등록결정서
Decision to grant		 2010.01.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0021797-70
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
절연기판;상기 절연기판 상에 형성된 어드레스 전극;상기 어드레스 전극과 전기적으로 절연된 전하충전부; 및상기 어드레스 전극 및 상기 전하충전부와 이격되어 형성되고, 상기 절연기판 상에 회전 가능하게 설치되어 입사되는 입사광을 반사하는 반사체를 포함하는, 마이크로 미러(Micro Mirror)
2 2
제1항에 있어서,상기 어드레스 전극과 상기 전하충전부 사이에 형성된 절연층을 더 포함하는, 마이크로 미러
3 3
제1항에 있어서,상기 전하충전부는 상기 어드레스 전극과 이격되어 상기 절연기판 상에 형성된, 마이크로 미러
4 4
제1항에 있어서,상기 반사체에서 입사광을 반사시키는 반사면의 대향면에 연결된 이동전극;상기 이동전극의 회전축에 연결된 힌지부; 및상기 이동전극을 상기 절연기판으로부터 지지하는 지지부를 더 포함하는, 마이크로 미러
5 5
제4항에 있어서,상기 힌지부는, 탄성물질로 이루어진, 마이크로 미러
6 6
제4항에 있어서,상기 힌지부와 상기 지지부가 입사광에 노출되지 않도록 상기 힌지부와 상기 지지부 상에 상기 반사체가 형성된, 마이크로 미러
7 7
제1항에 있어서,상기 반사체와 같은 동일평면에 형성되고, 상기 반사체에 연결된 이동전극;상기 이동전극의 회전축에 연결된 힌지부; 및상기 이동전극을 상기 절연기판으로부터 지지하는 지지부를 더 포함하는, 마이크로 미러
8 8
제7항에 있어서,상기 이동전극은 빗살(comb)형상인, 마이크로 미러
9 9
제7항에 있어서,상기 힌지부는, 탄성물질로 이루어진, 마이크로 미러
10 10
제1항에 있어서,상기 반사체를 상기 절연기판으로부터 지지하는 지지부를 더 포함하되, 상기 반사체는 탄성물질로 이루어진, 마이크로 미러
11 11
제1항에 있어서,상기 전하충전부에는 전하가 미리 저장되어 있는, 마이크로 미러
12 12
제1항에 있어서,상기 전하충전부의 표면에 형성된 방전방지층을 더 포함하는, 마이크로 미러
13 13
절연기판, 상기 절연기판 상에 형성된 어드레스 전극, 상기 어드레스 전극과 전기적으로 절연된 전하충전부 및 상기 어드레스 전극 및 상기 전하충전부와 이격되어 형성되고, 상기 절연기판 상에 회전 가능하게 설치되어 입사되는 입사광을 반사하는 반사체를 포함하는, 마이크로 미러(Micro Mirror)의 구동 방법에 있어서,상기 전하충전부에 전하를 충전하는 단계; 및상기 어드레스 전극과 상기 반사체 사이에 구동전압을 인가하는 단계를 포함하는, 마이크로 미러의 구동 방법
14 14
제13항에 있어서,상기 전하를 충전시키는 단계는,상기 전하충전부에 전압을 인가하는 단계; 및상기 전하가 충전된 전하충전부를 전기적으로 부유(floating)시키는 단계를 포함하는, 마이크로 미러의 구동 방법
15 15
절연기판, 상기 절연기판 상에 형성된 어드레스 전극, 상기 어드레스 전극과 전기적으로 절연된 전하충전부 및 상기 어드레스 전극 및 상기 전하충전부와 이격되어 형성되고, 상기 절연기판 상에 회전 가능하게 설치되어 입사되는 입사광을 반사하는 반사체를 포함하는 마이크로 미러(Micro Mirror)가 행 또는 열 방향으로 복수개 배열된, 마이크로 미러 어레이(Micro Mirror Array)
16 16
제15항에 있어서,상기 마이크로 미러는,상기 어드레스 전극과 상기 전하충전부 사이에 형성된 절연층을 더 포함하는, 마이크로 미러 어레이
17 17
제15항에 있어서,상기 마이크로 미러의 상기 전하충전부는,상기 어드레스 전극과 이격되어 상기 절연기판 상에 형성된, 마이크로 미러 어레이
18 18
제15항에 있어서,상기 마이크로 미러는,상기 반사체에서 입사광이 반사되는 반사면의 대향면에 연결된 이동전극;상기 이동전극의 회전축에 연결된 힌지부; 및상기 이동전극을 상기 절연기판으로부터 지지하는 지지부를 더 포함하는, 마이크로 미러 어레이
19 19
제18항에 있어서, 상기 힌지부는, 탄성물질로 이루어진, 마이크로 미러 어레이
20 20
제18항에 있어서,상기 힌지부와 상기 지지부가 입사광에 노출되지 않도록 상기 힌지부와 상기 지지부 상에 상기 반사체가 형성된, 마이크로 미러 어레이
21 21
제15항에 있어서,상기 마이크로 미러는,상기 반사체와 같은 동일평면에 형성되고, 상기 반사체에 연결된 이동전극;상기 이동전극의 회전축에 연결된 힌지부; 및상기 이동전극을 상기 절연기판으로부터 지지하는 지지부를 더 포함하는, 마이크로 미러 어레이
22 22
제21항에 있어서,상기 이동전극은, 빗살(comb)형상인, 마이크로 미러 어레이
23 23
제21항에 있어서,상기 힌지부는, 탄성물질로 이루어진, 마이크로 미러 어레이
24 24
제15항에 있어서,상기 마이크로 미러는,상기 반사체를 상기 절연기판 상에 지지하는 지지부를 더 포함하고, 상기 반사체는 복원력을 가진, 마이크로 미러 어레이
25 25
제15항에 있어서,상기 마이크로 미러의 상기 전하충전부에는 전하가 미리 저장되어 있는, 마이크로 미러 어레이
26 26
제15항에 있어서,상기 마이크로 미러의 상기 전하충전의 표면에 형성된 방전방지층을 더 포함하는, 마이크로 미러 어레이
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US08289612 US 미국 FAMILY
2 US20090097099 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2009097099 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US8289612 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.