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그 일면 상에, 광을 흡수하여 열을 발생시키는 광열변환층 및 전사재료를 증착시킨 전사재료층이 차례로 형성된 투명 플레이트;
그 상면을 상기 전사재료층과 간격을 두고 대향하여 위치시킨 기판; 및
상기 기판의 하면에 설치되고, 진동을 발생시키는 진동 모듈;
을 포함하고,
상기 진동 모듈로부터 상기 기판으로 향하는 방향으로 진동을 전달하며, 상기 투명 플레이트로부터 상기 기판으로 향하는 방향으로 레이저 광을 주사하여, 상기 전사재료를 상기 기판의 상면으로 전사하는,
패턴 전사 시스템
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2
제1항에 있어서,
상기 기판의 상면에는 접착층이 형성되어 있는,
패턴 전사 시스템
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3 |
3
제1항에 있어서,
상기 진동 모듈에 의하여 발생된 진동의 폭의 변화에 따라 상기 전사재료층과 상기 기판의 상면 간의 상기 간격을 조절하는,
패턴 전사 시스템
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4 |
4
제1항에 있어서,
상기 진동 모듈은 초음파를 이용하여 진동을 발생시키는,
패턴 전사 시스템
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5 |
5
제1항에 있어서,
상기 투명 플레이트는, 상기 광열변환층으로부터의 열을 차단하는 절연층이 상기 광열변환층 상에 더 형성되어 있는,
패턴 전사 시스템
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6
제5항에 있어서,
상기 투명 플레이트는, 그 위에 형성되는 층이 분리되도록 도와주는 이형층이 상기 절연층 상에 더 형성되어 있는,
패턴 전사 시스템
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7 |
7
투명 플레이트 상에, 광을 흡수하여 열을 발생시키는 광열변환층 및 전사재료를 증착시킨 전사재료층을 차례로 형성하는 제1 단계;
기판의 하면에, 진동을 발생시키는 진동 모듈을 설치하는 제2 단계; 및
상기 전사재료층과 상기 기판의 상면을 간격을 두고 서로 대향하도록 위치시키고, 상기 진동 모듈로부터 상기 기판으로 향하는 방향으로 진동을 전달하며, 상기 투명 플레이트로부터 상기 기판으로 향하는 방향으로 레이저 광을 주사하여, 상기 전사재료를 상기 기판의 상면으로 전사하는 제3 단계;
를 포함하는 패턴 전사 방법
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8
그 하면에, 광을 흡수하여 열을 발생시키는 광열변환층 및 전사재료를 증착시킨 전사재료층이 차례로 형성된 투명 플레이트;
그 상면을 상기 전사재료층과 간격을 두고 서로 대향하여 위치시킨 기판; 및
상기 투명 플레이트의 상면의 양 단 영역 상에 설치되고, 진동을 발생시키는 진동 모듈;
을 포함하고,
상기 진동모듈로부터 상기 기판으로 향하는 방향으로 진동을 전달하며, 상기 투명 플레이트로부터 상기 기판으로 향하는 방향으로 레이저 광을 주사하여, 상기 전사재료를 상기 기판 상으로 전사하는,
패턴 전사 시스템
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9
제8항에 있어서,
상기 투명 플레이트는, 상기 광열변환층으로부터의 열을 차단하는 절연층이 상기 광열변환층 상에 더 형성되어 있는,
패턴 전사 시스템
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10
제9항에 있어서,
상기 투명 플레이트는, 그 위에 형성되는 층이 분리되도록 도와주는 이형층이 상기 절연층 상에 더 형성되어 있는,
패턴 전사 시스템
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11 |
11
그 일 면 상에, 전사하고자 하는 패턴, 광을 흡수하여 열을 발생시키는 광열변환층 및 전사재료를 증착시킨 전사재료층이 차례로 형성된 감광유리;
그 상면을 상기 전사재료층과 간격을 두고 대향하여 위치시킨 기판; 및
상기 기판의 하면에 설치되고, 진동을 발생시키는 진동 모듈;
을 포함하고,
상기 진동모듈로부터 상기 기판으로 향하는 방향으로 진동을 전달하며, 상기 감광유리로부터 상기 기판으로 향하는 방향으로 레이저 광을 주사하여, 상기 전사재료를 상기 기판의 상면으로 전사하는,
패턴 전사 시스템
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12
제11항에 있어서,
상기 감광유리는, 상기 광열변환층으로부터의 열을 차단하는 절연층이 상기 광열변환층 상에 더 형성되어 있는,
패턴 전사 시스템
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13
제12항에 있어서,
상기 감광유리는, 그 위에 형성되는 층이 분리되도록 도와주는 이형층이 상기 절연층 상에 더 형성되어 있는, 패턴 전사 시스템
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