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폴리머 미세유체채널 제조방법, 이에 의하여 제조된 폴리머 미세유체채널 및 이를 포함하는 바이오 칩

  • 기술번호 : KST2015115450
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 폴리머 미세유체채널 제조방법, 이에 의하여 제조된 폴리머 미세유체채널 및 이를 포함하는 바이오 칩이 제공된다. 본 발명에 따른 폴리머 미세유체채널 제조방법은 실리콘 기판을 식각하여, 소정 단면 형상의 미세유체채널을 음각 형태로 제조하는 단계; 상기 실리콘 기판에 제 1 폴리머를 도포한 후, 경화시켜 제 1 폴리머 주형을 형성하는 단계; 상기 형성된 제 1 폴리머 주형을 상기 실리콘 기판으로부터 분리시키는 단계; 상기 제 1 폴리머 주형을 또 다른 제 2 폴리머층에 가압시켜, 상기 제 1 폴리머 주형에 형성된 양각 형태의 미세유체채널을 상기 제 2 폴리머층에 음각 형태로 전사시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하며, 본 발명에 따른 폴리머 미세유체채널 제조방법은 PDMS 뿐만 아니라 PMMA와 같은 다양한 재질의 고분자에도 적용될 수 있다. 또한, 몰더-몰더 임프린팅 방식으로 미세유체채널을 제조하므로, 공정이 간단하고, 경제적이다. 더 나아가, 원형, 삼각형 및 사각형 등의 다양한 형상으로 채널 형상을 제조할 수 있는 장점이 있다.
Int. CL B29C 59/02 (2006.01) G01N 33/48 (2006.01)
CPC G01N 33/48(2013.01) G01N 33/48(2013.01) G01N 33/48(2013.01) G01N 33/48(2013.01) G01N 33/48(2013.01) G01N 33/48(2013.01)
출원번호/일자 1020110048079 (2011.05.20)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1336177-0000 (2013.11.27)
공개번호/일자 10-2012-0129679 (2012.11.28) 문서열기
공고번호/일자 (20131205) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.05.20)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 서태석 대한민국 대전광역시 유성구
2 최종섭 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 다해 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로***, *층(삼성동,고운빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.05.20 수리 (Accepted) 1-1-2011-0379035-47
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.05.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.06.25 수리 (Accepted) 9-1-2012-0052149-17
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.02.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0098146-64
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.03.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0259836-90
7 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2013.03.26 수리 (Accepted) 1-1-2013-0259152-79
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.03.26 수리 (Accepted) 1-1-2013-0259835-44
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2013.08.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0575032-79
10 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2013.08.22 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2013-0762429-86
11 등록결정서
Decision to Grant Registration
2013.08.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0601129-54
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
003c#100003e# 결정 구조인 실리콘 기판을 식각하여, 소정 단면 형상의 미세유체채널을 음각 형태로 제조하는 단계;상기 실리콘 기판에 제 1 폴리머를 도포한 후, 경화시켜 제 1 폴리머 주형을 형성하는 단계;상기 형성된 제 1 폴리머 주형을 상기 실리콘 기판으로부터 분리시키는 단계;상기 제 1 폴리머 주형을 또 다른 제 2 폴리머층에 가압시켜, 상기 제 1 폴리머 주형에 형성된 양각 형태의 미세유체채널을 상기 제 2 폴리머층에 음각 형태로 전사시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 폴리머 미세유체채널 제조방법
2 2
삭제
3 3
제 1항에 있어서, 상기 식각은 습식 식각이며, 여기에서 식각액이 비등방식각을 위한 KOH 수용액인 경우 사각 또는 삼각 단면의 미세유체채널이 상기 실리콘 기판에 형성되는 것을 특징으로 하는, 폴리머 미세유체채널 제조방법
4 4
제 1항에 있어서, 상기 식각은 습식 식각이며, 여기에서 식각액이 등방식각을 위한 질산(HNO3), 불산(HF) 및 아세트산(CH3COOH)의 혼합액인 경우, 반원 단면의 미세유체채널이 상기 실리콘 기판에 형성되는 것을 특징으로 하는, 폴리머 미세유체채널 제조방법
5 5
제 1항에 있어서, 상기 경화된 제 1 폴리머 주형은 상기 제 2 폴리머층보다 높은 경도를 가지는 것을 특징으로 하는, 폴리머 미세유체채널 제조방법
6 6
제 1항에 있어서, 상기 제 2 폴리머층은 폴리디메틸실록산, 폴리메틸메타크릴레이트, 폴리스티렌, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리카보네이트, 씨클릭 올레핀 공중합체로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는, 폴리머 미세유체채널 제조방법
7 7
제 1항에 있어서, 상기 실리콘 기판을 식각하는 단계는 실리콘 기판 상에 버퍼층을 적층하는 단계; 상기 버퍼층 상에 포토레지스트층을 적층하는 단계; 상기 적층된 포토레지스트층을 패터닝하여 미세유체채널을 형성시키고자 하는 실리콘 기판 영역을 외부로 노출시키는 단계; 및 상기 노출된 실리콘 기판을 식각액으로 습식 식각하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 폴리머 미세유체채널 제조방법
8 8
삭제
9 9
삭제
10 10
삭제
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