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다층 미세 구조의 제조 방법에 있어서, (i) 상부 미세 구조를 제조하는 단계;(ii) 하부 미세 구조를 제조하는 단계;(iii) 상기 하부 미세 구조 상에 상기 상부 미세 구조를 부착하는 단계; (iv) 상기 부착된 상부 미세 구와 하부 미세 구조를 연결하여 관통하는 제 1 홀(Hole)을 형성하여 다층 미세 구조 틀을 형성하는 단계; (v) 상기 다층 미세 구조 틀 상부에 제 1 필름을 부착하는 단계; (vi) 상기 제 1 필름 상에 상기 상부 미세를 관통하도록 제 2 홀(Hole)을 형성하는 단계; 및(vii) 상기 제 2 홀(Hole)이 형성된 다층 미세 구조 틀의 하부에 제 2 필름을 부착하는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 다층 미세 구조의 제조 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 (i) 단계의 상기 상부 미세 구조, 또는 (ii) 단계의 상기 하부 미세 구조를 제조하는 단계는 (a) 마스터 몰드 상에 고분자 용액을 도포하고, 경화시켜 고분자 몰드를 제조하는 단계; (b) 상기 경화된 고분자 몰드를 상기 마스터 몰드에서 분리하는 단계;(c) 상기 분리된 고분자 몰드 상에 고분자 용액을 도포하고,상기 고분자 용액을 반경화시키는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 다층 미세 구조의 제조 방법
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청구항 2에 있어서, 상기 (i) 단계의 상기 상부 미세 구조를 제조하는 단계에 있어서, 상기 (c) 단계 이후에, (d) 상기 반경화된 고분자 용액 상에 기판을 부착시키고,상기 고분자 용액을 경화시켜 미세 구조를 완성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 다층 미세 구조의 제조 방법
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청구항 2에 있어서, 상기 고분자 용액은 폴리우레탄(Poly urethane, PU)계, 폴리디메틸실옥산(Polydimethylsiloxane, PDMS)계, NOA(Noland Optical Adhesive)계, 에폭시(Epoxy)계 및 그 혼합물 중의 적어도 어느 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 다층 미세 구조의 제조 방법
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청구항 2에 있어서, 상기 (a) 단계에서, 상기 마스터 몰드 상에 도포된 고분자 용액 상에 지지기판을 부착시키고, 상기 지지기판 상에 자외선을 조사하는 방법으로 상기 고분자 용액을 경화시키는 것을 특징으로 하는 다층 미세 구조의 제조 방법
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청구항 2에 있어서, 상기 (c) 단계에서, 상기 고분자 몰드 상에 도포된 고분자 용액에 자외선을 조사하는 방법으로상기 고분자 용액을 반경화시키는 것을 특징으로 하는 다층 미세 구조의 제조 방법
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청구항 3에 있어서, 상기 (d) 단계에서, 상기 기판 상에 자외선을 조사하는 방법으로 상기 고분자 용액을 경화시키는 것을 특징으로 하는 다층 미세 구조의 제조 방법
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청구항 3에 있어서, 상기 기판, 제 1 필름 및 제 2 필름 중의 어느 하나는 COC(cyclic olefin copolymer), 유리(glass), PET(polyethylene terephthalate), 종이(paper), 금속 박(metal foil), 직물(fabric), 그리드(grid) 및 플라스틱(plastic) 중의 적어도 어느 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 다층 미세 구조의 제조 방법
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청구항 3에 있어서, 상기 (iii) 단계는상기 상부 미세 구조에 부착된 상기 기판이 상기 하부 미세 구조의 기판으로 작용하도록상기 하부 미세 구조의 반경화된 고분자 용액 상에상기 기판을 부착시키는 것을 특징으로 하는 다층 미세 구조의 제조 방법
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10
청구항 1에 있어서, 상기 (iv) 또는 (vi) 단계에서, 드릴(Drill)을 이용하여 상기 제 1 홀 또는 상기 제 2 홀을 형성하는 것을 특징으로 하는 다층 미세 구조의 제조 방법
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청구항 10에 있어서, 상기 (iv) 또는 (vi) 단계 전에, 상기 드릴이 삽입되거나 관통되는 층의 표면에보호층을 부착하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다층 미세 구조의 제조 방법
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12
청구항 11에 있어서, 상기 보호층은 PE(polyethylene), PET(polyethylene terephthalate), PC(polycarbonate), silicon(Si), PDMS(polydimethylsiloxane), PP(polypropylene) 및 PU(polyurethene) 중의 적어도 어느 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 다층 미세 구조의 제조 방법
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13
다층 미세 구조에 있어서, 상기 청구항 1 내지 12 중의 어느 하나의 방법으로 제조되며, 플렉서블(Flexible)한 표면에 부착 가능한 것을 특징으로 하는 다층 미세 구조
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청구항 13의 다층 미세 구조를다층 미세 구조의 유체 이동 채널로 포함하는 것을 특징으로 하는 랩온어필름(Lab-on-a-film)
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다층 미세 구조를 포함하는 장치에 있어서, 청구항 14의 랩온어필름(Lab-on-a-film)을 포함하며, 바이오 칩, 바이오 센서, 웨어러블 센서(wearable sensor), 광학 부품 및 배터리 제조 기판 중의 적어도 어느 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 다층 미세 구조를 포함하는 장치
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