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레이저 유도 초음파 발생장치 및 그 제조방법

기술번호 : KST2015116649
담당센터 : 대전기술혁신센터
전화번호 : 042-610-2279

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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	레이저 유도 초음파 발생장치 및 그 제조방법이 개시된다. 개시된 제1면에 복수의 나노구조가 형성된 기판과, 상기 기판의 상기 제1면 상에서 상기 기판으로 입사된 레이저 빔을 흡수하여 초음파를 발생하는 열탄성층을 포함한다. 상기 나노구조는 실린더 형상의 나노 필라일 수 있다.
Int. CL	G01N 29/14 (2006.01.01) G01N 29/34 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자	1020130136302 (2013.11.11)
출원인	삼성전자주식회사, 한국과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자	10-2015-0054179 (2015.05.20) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	공개
심사진행상태	수리
심판사항
구분	신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2018.11.06)
심사청구항수	15

출원인

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번호	이름	국적	주소
1	삼성전자주식회사	대한민국	경기도 수원시 영통구
2	한국과학기술원	대한민국	대전광역시 유성구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	강성찬	대한민국	경기 화성
2	김종석	대한민국	경기 화성
3	김창정	대한민국	경기 용인시 수지구
4	양승범	대한민국	대전 유성구
5	오영재	대한민국	대전 유성구
6	윤용섭	대한민국	서울 서초구
7	정기훈	대한민국	대전 유성구

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	리앤목특허법인	대한민국	서울 강남구 언주로 길 , 층, 층, 층, *층(도곡동, 대림아크로텔)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application	2013.11.11	수리 (Accepted)	1-1-2013-1024434-28
2	[출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment	2013.12.03	수리 (Accepted)	1-1-2013-1107641-42
3	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2014.12.24	수리 (Accepted)	4-1-2014-5157993-01
4	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2014.12.24	수리 (Accepted)	4-1-2014-5157968-69
5	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2014.12.24	수리 (Accepted)	4-1-2014-5158129-58
6	[심사청구]심사청구(우선심사신청)서 [Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)	2018.11.06	수리 (Accepted)	1-1-2018-1098923-94
7	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2019.04.24	수리 (Accepted)	4-1-2019-5081392-49
8	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2019.12.18	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2019-0916802-91
9	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2020.02.13	수리 (Accepted)	1-1-2020-0155664-69
10	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2020.02.13	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2020-0155665-15
11	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2020.05.15	수리 (Accepted)	4-1-2020-5108396-12
12	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2020.06.12	수리 (Accepted)	4-1-2020-5131486-63
13	최후의견제출통지서 Notification of reason for final refusal	2020.06.25	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2020-0435104-50
14	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서	2020.08.21	수리 (Accepted)	1-1-2020-0880781-19
15	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2020.08.21	보정승인 (Acceptance of amendment)	1-1-2020-0880782-54
16	거절결정서 Decision to Refuse a Patent	2020.11.24	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2020-0816844-09

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 제1면에 복수의 나노구조가 형성된 기판; 및상기 기판의 상기 제1면 상에서 상기 기판으로 입사된 레이저 빔을 흡수하여 초음파를 발생하는 열탄성층을 구비하는 레이저 유도 초음파 발생장치
2	2 제 1 항에 있어서, 상기 나노구조는 실린더 형상의 나노 필라인 레이저 유도 초음파 발생장치
3	3 제 2 항에 있어서, 상기 나노 필라는 10nm~1000nm 직경을 가진 레이저 유도 초음파 발생장치
4	4 제 3 항에 있어서, 상기 나노 필라는 10nm~1000nm 간격으로 형성된 레이저 유도 초음파 발생장치
5	5 제 1 항에 있어서, 상기 열탄성층은 금속 물질 또는 폴리머 물질로 이루어진 레이저 유도 초음파 발생장치
6	6 제 1 항에 있어서, 상기 기판은 레이저 빔 투과물질로 이루어진 레이저 유도 초음파 발생장치
7	7 제 1 항에 있어서, 상기 열탄성층 상에서 상기 기판과 마주보게 형성된 매칭층을 더 구비하는 레이저 유도 초음파 발생장치
8	8 제 7 항에 있어서, 상기 매칭층은 폴리머로 이루어진 레이저 유도 초음파 발생장치
9	9 제 1 항에 있어서, 상기 기판에 레이저 빔을 조사하는 레이저 발진기를 더 구비한 레이저 유도 초음파 발생장치
10	10 기판 상에 금속 박막을 형성하는 단계;상기 기판을 열처리하여 상기 금속 박막을 소정 크기의 복수의 금속 도트로 전환하는 단계;상기 복수의 금속 도트를 마스크로 하여 상기 기판을 건식 식각하여 상기 기판 상에 복수의 나노구조를 형성하는 단계;상기 복수의 금속 도트를 제거하는 단계; 및상기 기판 상으로 상기 복수의 나노구조를 덮는 열탄성층을 형성하는 단계를 구비한 레이저 유도 초음파 발생장치의 제조방법
11	11 제 10 항에 있어서, 상기 기판은 레이저 빔 투과물질로 이루어진 레이저 유도 초음파 발생장치의 제조방법
12	12 제 10 항에 있어서, 상기 금속 박막을 형성하는 단계는, 10nm~1000nm 두께의 금속 박막을 형성하는 단계인 레이저 유도 초음파 발생장치의 제조방법
13	13 제 10 항에 있어서, 상기 복수의 금속 도트로 전환하는 단계는 10nm~1000nm 직경의 복수의 금속 도트로 전환하는 단계인 레이저 유도 초음파 발생장치의 제조방법
14	14 제 13 항에 있어서, 상기 복수의 나노구조를 형성하는 단계는 상기 복수의 금속 도트의 크기를 가진 복수의 나노 필라를 형성하는 단계인 레이저 유도 초음파 발생장치의 제조방법
15	15 제 10 항에 있어서, 상기 열탄성층을 형성하는 단계는 금속 또는 폴리머로 이루어진 열탄성층을 형성하는 단계인 레이저 유도 초음파 발생장치의 제조방법
16	16 제 15 항에 있어서, 상기 열탄성층 상으로 상기 기판과 마주보게 매칭층을 형성하는 단계를 더 구비하는 레이저 유도 초음파 발생장치의 제조방법
17	17 제 16 항에 있어서, 상기 매팅층을 형성하는 단계는 폴리머로 이루어진 매팅층을 형성하는 단계인 레이저 유도 초음파를 이용한 영상 생성 방법

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순번	패밀리번호	국가코드	국가명	종류
1	US09865246	US	미국	FAMILY
2	US20150131408	US	미국	FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번	패밀리번호	국가코드	국가명	종류
1	US2015131408	US	미국	DOCDBFAMILY
2	US9865246	US	미국	DOCDBFAMILY

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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송번호의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 통합행정정보 > 등록료란 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서	2013.11.11	수리 (Accepted)	1-1-2013-1024434-28
2	[출원서등 보정]보정서	2013.12.03	수리 (Accepted)	1-1-2013-1107641-42
3	출원인정보변경(경정)신고서	2014.12.24	수리 (Accepted)	4-1-2014-5157993-01
4	출원인정보변경(경정)신고서	2014.12.24	수리 (Accepted)	4-1-2014-5157968-69
5	출원인정보변경(경정)신고서	2014.12.24	수리 (Accepted)	4-1-2014-5158129-58
6	[심사청구]심사청구(우선심사신청)서	2018.11.06	수리 (Accepted)	1-1-2018-1098923-94
7	출원인정보변경(경정)신고서	2019.04.24	수리 (Accepted)	4-1-2019-5081392-49
8	의견제출통지서	2019.12.18	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2019-0916802-91
9	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2020.02.13	수리 (Accepted)	1-1-2020-0155664-69
10	[명세서등 보정]보정서	2020.02.13	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2020-0155665-15
11	출원인정보변경(경정)신고서	2020.05.15	수리 (Accepted)	4-1-2020-5108396-12
12	출원인정보변경(경정)신고서	2020.06.12	수리 (Accepted)	4-1-2020-5131486-63
13	최후의견제출통지서	2020.06.25	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2020-0435104-50
14	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서	2020.08.21	수리 (Accepted)	1-1-2020-0880781-19
15	[명세서등 보정]보정서	2020.08.21	보정승인 (Acceptance of amendment)	1-1-2020-0880782-54
16	거절결정서	2020.11.24	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2020-0816844-09


과제고유번호	1345204081
세부과제번호	2011-0020186
연구과제명	메타렌즈어레이기반 대면적 고속 나노리소그래피 플렛폼 개발
성과구분	출원
부처명	미래창조과학부
연구관리전문기관명
연구주관기관명
성과제출연도	2013
연구기간	201106~201606
기여율	1
연구개발단계명	기초연구
6T분류명	NT(나노기술)

특허성과

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