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대면적 나노렌즈 및 이의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015116718
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 대면적 나노렌즈 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게 기판 상에 나노스피어 단일층(nanosphere monolayer)을 형성하고, 건식식각으로 나노스피어 크기를 조절한 다음, 열적 리플로우를 통해 나노렌즈를 제조함으로써, 저가 제작이 용이한 나노스피어 리소그래피 기술을 이용하여 대면적 패터닝이 가능한 대면적 나노렌즈 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) G02B 3/00 (2006.01)
CPC G02B 3/04(2013.01)G02B 3/04(2013.01)G02B 3/04(2013.01)G02B 3/04(2013.01)G02B 3/04(2013.01)G02B 3/04(2013.01)G02B 3/04(2013.01)
출원번호/일자 1020130114419 (2013.09.26)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1528594-0000 (2015.06.08)
공개번호/일자 10-2015-0034395 (2015.04.03) 문서열기
공고번호/일자 (20150612) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.09.26)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정기훈 대한민국 대전 유성구
2 정혁진 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.09.26 수리 (Accepted) 1-1-2013-0873017-59
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2014.06.03 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2014.07.10 수리 (Accepted) 9-1-2014-0056540-18
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.09.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0652803-38
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.11.06 수리 (Accepted) 1-1-2014-1069454-64
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.11.06 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-1069445-53
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
10 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2015.01.14 수리 (Accepted) 1-1-2015-5002869-44
11 등록결정서
Decision to grant		 2015.04.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0286431-51
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
대면적 나노렌즈(1)를 제조하는 방법에 있어서,기판(20) 상에 나노스피어(10) 단일층을 형성하는 나노스피어(10) 단일층 형성 단계(S10);상기 나노스피어(10) 단일층을 건식 식각하는 건식 식각 단계(S20); 및상기 나노스피어(10) 단일층 및 상기 기판(20) 전면에 열을 가하여 상기 나노스피어(10)가 상기 기판(20)상에 퍼지며 나노렌즈를 형성하는 열처리 단계(S30); 를 포함하며,상기 건식 식각 단계(S20)는 상기 나노스피어(10)의 건식 식각 시간을 조절하여 상기 나노스피어(10)의 직경을 제어하는 것을 특징으로 하는, 대면적 나노렌즈 제조 방법
2 2
제 1항에 있어서,상기 나노스피어(10) 단일층 형성 단계(S10)에서는수평방향으로의 단면이, 원, 사각형 또는 육각형의 형상을 갖는 다수개의 나노스피어(10)로 이루어진 단일층이 형성되는 것을 특징으로 하는 대면적 나노렌즈 제조 방법
3 3
제 1항에 있어서,상기 나노스피어(10)는열가소성 수지로 제조되는 것을 특징으로 하는 대면적 나노렌즈 제조 방법
4 4
제 3항에 있어서,상기 나노스피어(10)는유리, 포토레지스트(photo resist), 폴리머(polymer), 실리콘(silicon) 또는 Ⅲ-Ⅴ족 반도체화합물 재질 중 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 대면적 나노렌즈 제조 방법
5 5
제 1항에 있어서,상기 건식 식각 단계(S20)에서는등방성 식각 또는 이방성 식각을 이용하여 상기 나노스피어(10) 단일층을 식각하는 것을 특징으로 하는 대면적 나노렌즈 제조 방법
6 6
제 1항에 있어서,상기 열처리 단계(S30)는상기 나노스피어(10) 단일층 및 상기 기판(20) 전면에 50 ~ 2000 ℃의 열이 가해지도록 하는 것을 특징으로 하는 대면적 나노렌즈 제조 방법
7 7
제 1항 내지 6항 중 어느 한 항에 의한 대면적 나노렌즈 제조 방법으로 제조된 대면적 나노렌즈
8 8
제 7항에 있어서,상기 대면적 나노렌즈(1)는표면이 구면 형태인 것을 특징으로 하는 대면적 나노렌즈
9 9
제 7항에 있어서,상기 대면적 나노렌즈(1)는직경이 1~999nm인 것을 특징으로 하는 대면적 나노렌즈
10 10
제 7항에 있어서,상기 대면적 나노렌즈(1)는수평방향의 단면이 원, 사각형 또는 육각형인 것을 특징으로 하는 대면적 나노렌즈
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국과학기술원 중견연구자지원사업 자연 포토닉구조의 나노공학기반 영감기술
2 미래창조과학부 한국과학기술원 나노소재기술개발사업 메타렌즈어레이기반 대면적 고속 나노리소그래피 플렛폼 개발
3 미래창조과학부 한국과학기술원 글로벌프론티어사업 다차원 내시현미경센서 시스템