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미세구조물의 유효굴절률을 이용한 굴절률 분포형 렌즈 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015117397
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 3mm ~ 0.8㎛의 파장을 가지는 중간적외선 및 테라헤르츠 주파수 영역에서 동작하는 미세구조물의 유효굴절률을 이용한 굴절률 분포형 렌즈 및 그 제조방법에 관한 것으로, 종래, 해당 영역의 빔(beam)을 집속하기 위해 사용되는 파라볼릭 미러(parabolic mirror)는 광경로가 복잡해지고 소형화된 광학시스템을 구현하는데 불리하다는 단점이 있으며, 실리콘 렌즈(silicon lens)는 제작이 어려워 단가가 비싸다는 단점이 있고, 기존의 가시광 영역에서 사용되는 폴리머 렌즈(polymer lens)의 경우는 대부분의 폴리머들이 중간적외선 및 테라헤르츠 주파수 영역에서 흡수 피크(absorption peak)를 가지므로 특정 대역폭이 손실되었던 단점을 해결하기 위해, 본 발명에 따르면, 유효매체이론(effective medium theorem)에 기반하여, 중간적외선 및 테라헤르츠 파장보다 작은 구조물을 통해 유효굴절률을 조절하고, 반경(radial) 방향 및 축(axial) 방향으로 굴절률에 경사(gradient)를 줄 수 있으며, 이를 통해 중간적외선 및 테라헤르츠 주파수 영역의 빔을 집속시킬 수 있는 미세구조물의 유효굴절률을 이용한 굴절률 분포형 렌즈(gradient index lens) 및 그 제조방법이 제공된다.
Int. CL G02B 3/00 (2006.01) B29D 11/00 (2006.01) B81C 1/00 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020120006899 (2012.01.20)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1340951-0000 (2013.12.06)
공개번호/일자 10-2013-0085814 (2013.07.30) 문서열기
공고번호/일자 (20131213) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.01.20)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정기훈 대한민국 대전 유성구
2 박상길 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이원희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.01.20 수리 (Accepted) 1-1-2012-0057041-93
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.01.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.02.05 수리 (Accepted) 9-1-2013-0006060-64
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.03.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0215604-31
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.05.28 수리 (Accepted) 1-1-2013-0473351-12
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.05.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0473354-59
8 등록결정서
Decision to grant		 2013.09.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0672265-08
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
굴절률 분포형 렌즈(gradient index lens)에 있어서,기판; 및상기 기판의 유효굴절률을 조절하기 위해 상기 기판에 형성되는 복수의 미세구조물;을 포함하고, 상기 기판 내에서 빛이 휘어져 중간적외선 및 테라헤르츠 주파수 영역의 파를 집속시키기 위한 유효굴절률의 차이를 가지는 형태로 상기 미세구조물들이 형성되는 것을 특징으로 하는 굴절률 분포형 렌즈
2 2
제 1항에 있어서, 상기 미세구조물은, 중간적외선 및 테라헤르츠 파의 파장 이하의 직경을 가지는 기둥 또는 구멍이 상기 기판상에 배열되어 형성되는 미세구조물의 유효굴절률을 이용한 굴절률 분포형 렌즈
3 3
제 2항에 있어서, 상기 중간적외선 및 테라헤르츠 파의 파장 이하의 직경은 3mm ~ 0
4 4
제 2항에 있어서, 상기 미세구조물은, 원형, 다각형 또는 복합 형상을 가지는 구멍이 상기 기판상에 배열되어 이루어지는 미세구조물의 유효굴절률을 이용한 굴절률 분포형 렌즈
5 5
제 2항에 있어서, 상기 미세구조물은, 원형, 다각형 또는 복합 형상을 가지며 그 수직 방향의 단면이 삼각형, 사각형, 반원, 반타원 중 하나의 형상을 가지는 기둥 형태의 구조가 상기 기판상에 배열되어 이루어지는 미세구조물의 유효굴절률을 이용한 굴절률 분포형 렌즈
6 6
제 1항에 있어서, 상기 기판의 굴절률의 분포는, 표면방향 및 깊이 방향으로 포물선 방정식, 다차방정식, 다차방정식의 제곱근, 구 분포 중 하나의 분포를 따르는 미세구조물의 유효굴절률을 이용한 굴절률 분포형 렌즈
7 7
미세구조물의 유효굴절률을 이용한 굴절률 분포형 렌즈 제조방법에 있어서,기판에 마스크층을 형성하는 단계; 중간적외선 및 테라헤르츠 파를 집속시키기 위해 상기 기판 내에서 빛이 휘어지도록 상기 기판의 굴절률을 조절하기 위해 상기 마스크층에 중간적외선 및 테라헤르츠 파의 파장 이하의 직경을 가지는 미세구조물의 패턴을 형성하는 단계;상기 중간적외선 및 테라헤르츠 파의 파장 이하의 직경을 가지는 상기 미세구조물의 패턴에 따라 상기 기판을 식각하는 단계 및 상기 식각하는 단계 후 남아 있는 마스크층을 제거하는 단계를 포함하는 미세구조물의 유효굴절률을 이용한 굴절률 분포형 렌즈 제조방법
8 8
제 7항에 있어서, 상기 미세구조물의 패턴을 형성하는 단계는, 원형, 다각형 또는 복합 형상을 가지는 구멍이 상기 기판상에 배열되도록 상기 패턴이 형성되는 미세구조물의 유효굴절률을 이용한 굴절률 분포형 렌즈 제조방법
9 9
제 7항에 있어서, 상기 미세구조물의 패턴을 형성하는 단계는, 원형, 다각형 또는 복합 형상을 가지며 그 수직 방향의 단면이 삼각형, 사각형, 반원, 반타원 중 하나의 형상을 가지는 기둥 형태의 구조가 상기 기판상에 배열되도록 상기 패턴이 형성되는 미세구조물의 유효굴절률을 이용한 굴절률 분포형 렌즈 제조방법
10 10
제 7항에 있어서, 상기 중간적외선 및 테라헤르츠 파의 파장 이하의 직경은 3mm ~ 0
11 11
제 7항에 있어서, 상기 기판의 굴절률의 분포는, 표면방향 및 깊이 방향으로 포물선 방정식, 다차방정식, 다차방정식의 제곱근, 구 분포 중 하나의 분포를 따르는 미세구조물의 유효굴절률을 이용한 굴절률 분포형 렌즈 제조방법
12 12
중간적외선 및 테라헤르츠 파를 집속시킬 수 있는 미세구조물의 유효굴절률을 이용한 굴절률 분포형 렌즈 제조방법에 있어서, 마스터 기판에 폴리머를 주입하는 단계; 주입된 상기 폴리머를 경화시키는 단계; 및 경화된 상기 폴리머를 상기 기판으로부터 분리시키는 단계를 포함하고, 상기 폴리머를 주입하는 단계는, 청구항 1항 내지 6항 중 어느 한 항에 기재된 굴절률 분포형 렌즈를 상기 마스터 기판으로서 사용하는 미세구조물의 유효굴절률을 이용한 굴절률 분포형 렌즈 제조방법
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US09772476 US 미국 FAMILY
2 US20150002927 US 미국 FAMILY
3 WO2013108994 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2015002927 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US9772476 US 미국 DOCDBFAMILY
3 WO2013108994 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국과학기술원 산업원천기술개발사업 주파수빗 기술 기반 Terahertz/NIR 복합 고속 분광 내시경 개발
2 교육과학기술부 한국과학기술원 나노소재기술개발사업 메타렌즈어레이기반 대면적 고속 나노리소그래피 플렛폼 개발
3 교육과학기술부 한국과학기술원 KI 기관고유사업 테라헤르쯔파 물질의 설계, 소자 개발 및 정밀 측정 연구