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두 개의 기판이 소정의 공간을 갖고 이격되며, 지지 다리에 의해 연결되어 있는 적외선 열을 검출하는 볼로메타(Bolometer)에 있어서, 보호층으로 코팅된 집적회로를 구비한 하부 기판; 적외선을 흡수하는 흡수층과, 상기 흡수층으로부터 흡수된 적외선 열에 의해 저항값이 변하는 저항체를 구비하고, 상기 하부 기판과 소정의 공간을 갖으며 서로 이격되어 있는 상부 기판; 상기 상부 기판를 기계적으로 지지하고, 상부 기판과 하부 기판을 연결하는 포스트(Post); 상기 하부 기판과 상부 기판 사이에서 상기 저항체로부터 하부 기판으로 신호를 전달하는 신호 다리; 상기 신호 다리를 상기 상부 기판과 전기적으로 온-오프되도록 구동하기 위하여 하부 기판 상면에 형성된 하부 전극; 및 상기 하부 기판 상면에 형성되고, 적외선 열의 흡수율을 증가시키기 위한 반사층; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 적외선 볼로메타
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제1항에 있어서, 상기 신호 다리는 적어도 두 층 이상으로 겹쳐져 형성되며, 각각의 층을 이루는 물질의 잔류 응력이 다른 것을 특징으로 하는 적외선 볼로메타
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제1항에 있어서, 상기 신호 다리는 Al (알루미늄), SiO2 (실리콘 디옥시드), SixNy (실리콘 나이트라이드), Cr (크롬), Au (금), Ti (티탄), Ni (니켈), 폴리실리콘, 실리콘 중 적어도 어느 하나의 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 적외선 볼로메타
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제2항에 있어서, 상기 신호 다리를 이루는 각각의 층은 Al (알루미늄), SiO2 (실리콘 디옥시드), SixNy (실리콘 나이트라이드), Cr (크롬), Au (금), Ti (티탄), Ni (니켈), 폴리실리콘, 실리콘 중 적어도 어느 하나의 물질로 이루어지되, 각각의 층은 다른 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 적외선 볼로메타
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제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 신호 다리의 각각의 층을 이루는 물질은 잔류 응력에 의해 상부 기판 방향으로 휘어지도록 형성되는 것을 특징으로 하는 적외선 볼로메타
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제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 신호 다리와 하부 전극 사이 및 상기 하부 전극과 하부 기판 사이에는 전기적으로 단락을 방지하기 위한 절연 물질이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 적외선 볼로메타
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두 개의 기판이 소정의 공간을 갖고 이격되며, 지지 다리에 의해 연결되어 있는 적외선 열을 검출하는 볼로메타(Bolometer)에 있어서, 보호층으로 코팅된 집적회로를 구비한 하부 기판; 적외선을 흡수하는 흡수층과, 상기 흡수층으로부터 흡수된 적외선 열에 의해 저항값이 변하는 저항체를 구비하고, 상기 하부 기판과 소정의 공간을 갖으며 서로 이격되어 있는 상부 기판; 상기 상부 기판를 기계적으로 지지하고, 상부 기판과 하부 기판을 연결하는 포스트(Post); 상기 하부 기판과 상부 기판 사이에서 상기 저항체로부터 하부 기판으로 신호를 전달하며, 압전 소자 및 신호 전달 수단으로 이루어지는 신호 다리; 상기 압전 소자에 전압을 인가하기 위한 전극; 및 상기 하부 기판 상면에 형성되고, 적외선 열의 흡수율을 증가시키기 위한 반사층; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 적외선 볼로메타
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제7항에 있어서, 상기 압전 소자을 이루는 물질은 석영(SiO2), 티탄산지르콘산납( Pb(Zr, Ti)O3; PZT), 산화아연(ZnO), 티탄산 바륨(BaTiO3) 중 어느 하나의 물질인 것을 특징으로 하는 적외선 볼로메타
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두 개의 기판이 소정의 공간을 갖고 이격되며, 지지 다리에 의해 연결되어 있는 적외선 열을 검출하는 볼로메타(Bolometer)에 있어서, 보호층으로 코팅된 집적회로를 구비한 하부 기판; 적외선을 흡수하는 흡수층과, 상기 흡수층으로부터 흡수된 적외선 열에 의해 저항값이 변하는 저항체를 구비하고, 상기 하부 기판과 소정의 공간을 갖으며 서로 이격되어 있는 상부 기판; 상기 상부 기판를 기계적으로 지지하고, 상부 기판과 하부 기판을 연결하는 포스트(Post); 상기 하부 기판과 상부 기판 사이에서 상기 저항체로부터 하부 기판으로 신호를 전달하며, 두 층 이상의 물질로 이루어지되, 각각의 층을 이루는 물질의 열팽창계수가 다르게 형성되는 신호 다리; 상기 신호 다리에 열을 전달하기 위한 열 전달 수단; 및 상기 하부 기판 상면에 형성되고, 적외선 열의 흡수율을 증가시키기 위한 반사층; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 적외선 볼로메타
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제9항에 있어서, 상기 신호 다리를 이루는 각각의 층은 Al (알루미늄), SiO2 (실리콘 디옥시드), SixNy (실리콘 나이트라이드), Cr (크롬), Au (금), Ti (티탄), Ni (니켈), 폴리실리콘, 실리콘 중 적어도 어느 하나의 물질로 이루어지되, 각각의 층은 다른 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 적외선 볼로메타
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제9항에 있어서, 상기 신호 다리를 이루는 각각의 층은 Al (알루미늄), SiO2 (실리콘 디옥시드), SixNy (실리콘 나이트라이드), Cr (크롬), Au (금), Ti (티탄), Ni (니켈), 폴리실리콘, 실리콘 중 적어도 어느 하나의 물질로 이루어지되, 각각의 층은 다른 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 적외선 볼로메타
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