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볼로미터

  • 기술번호 : KST2015117751
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 볼로미터에 관한 것이다.이러한 본 발명의 볼로미터는 기판 상에 형성된 하부 금속층과, 적외선의 세기에 따라 저항이 변하는 상부 금속층 및 상기 상부 금속층과 상기 하부 금속층을 소정의 간격으로 이격시키는 지지부를 포함한다.이러한 본 발명에 따르면 볼로미터의 구조와 제조공정을 단순화하고, 제조비용을 절감하는 등의 효과가 있다.볼로미터, 기판, 하부 금속층, 상부 금속층, 상부 절연층, 연결수단, 지지수단
Int. CL H01L 31/09 (2006.01) G01J 5/02 (2006.01)
CPC G01J 5/0853(2013.01) G01J 5/0853(2013.01) G01J 5/0853(2013.01)
출원번호/일자 1020060054876 (2006.06.19)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0785738-0000 (2007.12.07)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20071218) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.06.19)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김태식 대한민국 대전광역시 서구
2 이희철 대한민국 대전광역시 유성구
3 이용수 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김성호 대한민국 서울특별시 강남구 도곡로 *** (역삼동,미진빌딩 *층)(KNP 특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.06.19 수리 (Accepted) 1-1-2006-0427193-40
2 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent		 2007.02.16 수리 (Accepted) 1-1-2007-0144761-04
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2007.03.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2007.04.11 수리 (Accepted) 9-1-2007-0019556-05
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2007.05.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0296209-34
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2007.07.30 수리 (Accepted) 1-1-2007-0552729-56
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2007.08.30 수리 (Accepted) 1-1-2007-0631527-16
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2007.08.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0631523-34
9 등록결정서
Decision to grant		 2007.12.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0663360-29
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 상에 형성된 하부 금속층;적외선에 따라 저항이 변하는 상부 금속층; 및상기 상부 금속층과 상기 하부 금속층을 소정의 간격으로 이격시키는 지지부를 포함하고,상기 상부 금속층은 상기 하부 금속층과 함께 공진 캐버티를 형성하는 볼로미터
2 2
삭제
3 3
제1 항에 있어서,상기 지지부는상기 기판 상에 형성된 도전성의 지지수단; 및상기 지지수단과 상기 상부 금속층을 연결하는 연결수단;을 포함하는 볼로미터
4 4
제1 항에 있어서,상기 하부 금속층 상에는 실리콘디옥사이드(SiO2) 또는 실리콘나이트라이드(SiXNY)가 형성된 볼로미터
5 5
제1 항에 있어서,상기 상부 금속층의 적어도 하나의 면에 형성된 상부 절연층을 더 포함하는 볼로미터
6 6
제1 항에 있어서,상기 상부 금속층은 니켈(Ni)과 티타늄(Ti)과 백금(Pt) 중 적어도 하나를 포함하는 볼로미터
7 7
제1 항에 있어서,상기 상부 금속층의 두께는 150 옴스트롱(Å) 이하인 볼로미터
8 8
제5 항에 있어서,상기 상부 절연층은 실리콘디옥사이드(SiO2) 또는 실리콘나이트라이드(SiXNY)를 포함하는 볼로미터
9 9
제5 항에 있어서,상기 상부 금속층과 상기 상부 절연층의 두께의 합은 4000 옴스트롱(Å) 이하인 볼로미터
10 10
제3 항에 있어서,상기 연결수단은 도전성인 볼로미터
11 11
제3 항에 있어서,상기 연결수단은도전성 물질; 및상기 도전성 물질의 적어도 어느 한 면에 형성된 절연성 물질을 포함하는 볼로미터
12 12
제11 항에 있어서,상기 도전성 물질은 니켈(Ni)과 티타늄(Ti)과 티타늄나이트라이드(TiN) 중 적어도 하나를 포함하는 볼로미터
13 13
제11 항에 있어서,상기 절연성 물질은 실리콘디옥사이드(SiO2) 또는 실리콘나이트라이드(SiXNY)인 볼로미터
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.