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CMOS기반의 단일칩으로 구현 가능한 X-선 검출기 또는 영상센서 및 그 제조방법(X-ray detector or image sensor embodied with one chip based on CMOS and method of manufacturing the same)

  • 기술번호 : KST2016005065
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 고성능, 고 분해능, 대면적 및 대면적 확장이 가능한 CMOS기반의 단일칩으로 구현 가능한 X-선 검출기 또는 영상센서를 위하여, 반도체 기판, 상기 반도체 기판의 상면 상에 어레이 형태로 배치되며, 광 신호를 감지할 수 있는, 복수개의 픽셀블록(pixel block), 상기 반도체 기판의 하면 상에 각각의 픽셀블록에 대응되도록 배치되며, 아날로그-디지털 변환(ADC) 회로부와 픽셀단위 회로부를 포함하는, 하부대응 회로부 및 상기 반도체 기판을 관통하며, 상기 픽셀블록과 상기 하부대응 회로부를 전기적으로 연결할 수 있는, 도전성 패턴을 포함하는, CMOS기반의 단일칩으로 구현 가능한 X-선 검출기 또는 영상센서 및 그 제조방법을 제공한다.
Int. CL G01T 1/161 (2006.01) A61B 6/00 (2006.01) G01T 1/24 (2006.01) H01L 31/09 (2006.01)
CPC G01T 1/1614(2013.01) G01T 1/1614(2013.01) G01T 1/1614(2013.01) G01T 1/1614(2013.01)
출원번호/일자 1020140077993 (2014.06.25)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0000629 (2016.01.05) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.06.25)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이완규 대한민국 서울특별시 광진구
2 전호승 대한민국 경기도 의정부시 신곡로 **

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김남식 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)
2 한윤호 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **(삼성동) 명지빌딩, *층(선정국제특허법률사무소)
3 양기혁 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **(삼성동) 명지빌딩, *층(선정국제특허법률사무소)
4 이인행 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.06.25 수리 (Accepted) 1-1-2014-0594709-58
2 보정요구서
Request for Amendment
2014.07.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2014-0112901-30
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2014.07.24 수리 (Accepted) 1-1-2014-0696483-94
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
7 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.07.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
8 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.09.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0056326-99
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.09.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0648490-25
10 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2015.11.23 수리 (Accepted) 1-1-2015-1137839-02
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.12.21 수리 (Accepted) 1-1-2015-1252305-53
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.12.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-1252317-01
13 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2016.05.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0376793-31
14 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2016.07.22 수리 (Accepted) 1-1-2016-0715300-18
15 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.08.24 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2016-0823676-14
16 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.08.24 수리 (Accepted) 1-1-2016-0823675-79
17 등록결정서
Decision to grant
2016.12.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0887249-67
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
CMOS기반의 단일칩으로 구현 가능한 X-선 검출기 또는 영상센서로서,상면과 상기 상면과 반대에 위치하는 하면을 포함하는 반도체 기판;상기 반도체 기판의 상기 상면 상에 어레이 형태로 배치되며, 광 신호를 감지할 수 있는, 복수개의 픽셀블록(pixel block); 상기 반도체 기판의 상기 하면 상에 각각의 픽셀블록에 대응되도록 배치되며, 아날로그-디지털 변환(ADC) 회로부와 픽셀단위 회로부를 포함하는, 하부대응 회로부; 상기 반도체 기판을 관통하며, 상기 픽셀블록과 상기 하부대응 회로부를 전기적으로 연결할 수 있는, 관통형 도전성 패턴; 및상기 반도체 기판의 상기 하면 상에 배치된 ROIC 회로부;을 포함하며, 각각의 상기 픽셀블록마다 발생한 아날로그 신호는 상기 관통형 도전성 패턴을 통하여 상기 아날로그-디지털 변환 회로부에서 개별적으로 디지털 신호로 변환되고, 변환된 상기 디지털 신호가 상기 ROIC 회로부로 전송됨으로써, 픽셀블록에서 검출된 광 신호를 아날로그 신호 상태로 ROIC 회로부에 전송한 후 아날로그-디지털 변환 회로부에서 디지털 신호로 변환하는 경우 보다, 신호 전송 속도를 더 빠르게 구현할 수 있는 것을 특징으로 하는,CMOS기반의 단일칩으로 구현 가능한 X-선 검출기 또는 영상센서
2 2
제 1 항에 있어서,상기 픽셀블록은 복수개의 광 다이오드를 포함하고, 상기 픽셀단위 회로부는 복수개의 트랜지스터를 포함하는, CMOS기반의 단일칩으로 구현 가능한 X-선 검출기 또는 영상센서
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
제 1 항에 있어서,상기 반도체 기판의 상기 하면 상에 배치된 타이밍 및 제어 로직(timing and control logic) 회로부를 더 포함하는, CMOS기반의 단일칩으로 구현 가능한 X-선 검출기 또는 영상센서
6 6
상면과 상기 상면과 반대에 위치하는 하면을 포함하는 반도체 기판을 제공하는 단계;상기 반도체 기판의 상기 상면 상에, 복수개의 픽셀블록을 어레이 형태로 형성하는 단계;상기 반도체 기판의 상기 하면 상에, 각각의 픽셀블록에 대응되도록 배치되며, 아날로그-디지털 변환(ADC) 회로부와 픽셀단위 회로부를 포함하는, 하부대응 회로부를 형성하는 단계;상기 반도체 기판을 관통하며, 상기 픽셀블록과 상기 하부대응 회로부가 전기적으로 연결될 수 있는, 관통형 도전성 패턴을 형성하는 단계; 및상기 반도체 기판의 상기 하면 상에 ROIC 회로부를 형성하는 단계;를 포함하며, 각각의 상기 픽셀블록마다 발생한 아날로그 신호는 상기 관통형 도전성 패턴을 통하여 상기 아날로그-디지털 변환 회로부에서 개별적으로 디지털 신호로 변환되고, 변환된 상기 디지털 신호가 상기 ROIC 회로부로 전송됨으로써, 픽셀블록에서 검출된 광 신호를 아날로그 신호 상태로 ROIC 회로부에 전송한 후 아날로그-디지털 변환 회로부에서 디지털 신호로 변환하는 경우 보다, 신호 전송 속도를 더 빠르게 구현할 수 있는 것을 특징으로 하는, CMOS기반의 단일칩으로 구현 가능한 X-선 검출기 또는 영상센서의 제조방법
7 7
제 6 항에 있어서,상기 복수개의 픽셀블록을 어레이 형태로 형성하는 단계; 상기 관통형 도전성 패턴을 형성하는 단계; 및 상기 하부대응 회로부를 형성하는 단계;로 이루어진 군에서 선택된 적어도 어느 하나의 단계는, 상기 군에서 선택된 나머지 어느 하나의 단계를 수행한 이후에, 상기 반도체 기판을 적어도 한 번 이상 뒤집어 수행될 수 있는, CMOS기반의 단일칩으로 구현 가능한 X-선 검출기 또는 영상센서의 제조방법
8 8
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국과학기술원 원자력연구개발사업-방사선기술개발사업 픽셀 디텍터 어레이 공정 개발