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휘발성 물질 감지용 표면탄성파 가스센서

  • 기술번호 : KST2015121145
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 휘발성 물질 감지용 표면탄성파 가스센서에 관한 것으로서, 티타늄을 감응물질로 사용하여 제작된 본 발명에 따른 표면탄성파 가스센서는 기존의 표면탄성파 가스센서에 비해 감응막 형성 공정이 용이할 뿐만 아니라 아세톤, 에탄올, 메탄올 등과 같은 휘발성 물질에 대해 감도 및 내구성이 매우 우수하여 실내공기 오염도 측정이나 환경 모니터링 등에 유리하게 이용될 수 있다.표면탄성파, 가스센서, 위상변화, 감응물질, 휘발성 물질, 압전기판
Int. CL G01N 27/12 (2006.01)
CPC G01N 27/121(2013.01) G01N 27/121(2013.01) G01N 27/121(2013.01) G01N 27/121(2013.01) G01N 27/121(2013.01) G01N 27/121(2013.01)
출원번호/일자 1020050074712 (2005.08.16)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0698439-0000 (2007.03.15)
공개번호/일자 10-2007-0020619 (2007.02.22) 문서열기
공고번호/일자 (20070322) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.08.16)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김진상 대한민국 서울 서초구
2 윤석진 대한민국 서울 도봉구
3 강종윤 대한민국 서울 서초구
4 김달영 대한민국 서울 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 주성민 대한민국 서울특별시 종로구 사직로*길 **, 세양빌딩 (내자동) *층(김.장법률사무소)
2 장수길 대한민국 서울특별시 종로구 사직로*길 **, 세양빌딩 (내자동) *층(김.장법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2005.08.16 수리 (Accepted) 1-1-2005-0448225-15
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.08.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0513727-18
3 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.09.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0681356-87
4 의견서
Written Opinion		 2006.09.21 수리 (Accepted) 1-1-2006-0681367-89
5 등록결정서
Decision to grant		 2007.01.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0057750-29
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
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번호 청구항
1 1
압전 기판(5); 압전 기판상의 입력 변환기(8) 및 출력 변환기(9); 및 압전 기판상의 입력 변환기와 출력 변환기 사이에 형성된, 티타늄으로 이루어진 감응막(7)을 포함하는, 휘발성 물질 감지용 표면탄성파 가스센서
2 2
제1항에 있어서, 압전 기판이 리튬니오베이트(LiNbO3) 단결정 웨이퍼와 리튬탄탈레이트(LiTaO3) 단결정 웨이퍼와 석영(SiO2) 단결정 웨이퍼 중에서 선택된 단결정 웨이퍼; 또는 산화아연(ZnO2) 또는 질화알루미늄(AlN) 박막인 것을 특징으로 하는 표면탄성파 가스센서
3 3
제1항에 있어서, 감응막의 두께가 10 nm 내지 2 ㎛ 범위인 것을 특징으로 하는 표면탄성파 가스센서
4 4
제1항에 있어서, 휘발성 물질이 아세톤과 에탄올과 메탄올 중에서 선택된 1종 이상인 것을 특징으로 하는 표면탄성파 가스센서
5 5
제1항에 있어서, 압전 기판상의 입력 변환기 및 출력 변환기를 2쌍 이상 포함하고, 압전 기판상의 입력 변환기와 출력 변환기 사이에 형성된 티타늄으로 이루어진 감응막을 1개 이상 포함하는 것을 특징으로 하는 표면탄성파 가스센서
6 6
제1항에 있어서, 휘발성 물질 감지를 위한 신호가, 시간에 따른 입력 변환기 및 출력 변환기 사이의 위상변화인 것을 특징으로 하는 표면탄성파 가스센서
7 7
제6항에 있어서, 입력 변환기의 입력 신호 1개에 대해 2개 이상의 출력 변환기 신호를 획득하는 것을 특징으로 하는 표면탄성파 가스센서
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.