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탄소나노튜브를 이용한 가스센서 제조방법 및 가스감도측정장치

  • 기술번호 : KST2015121742
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 탄소나노튜브를 이용한 가스센서 제작 및 가스 감도 측정 장치를 제공하는 것에 관한 것이다. 가스센서 제작에 있어서, 가스 감지물질은 탄소나노튜브 페이스트를 제작하여 양 끝단에 전극이 형성된 기판에 스크린 인쇄(screen printing)법으로 탄소나노튜브를 도포 후 열처리공정을 거친 후 탄소나노튜브 후막을 형성하였고, 상기 제작된 후막을 탄소나노튜브 수직 배향처리 시켰다. 가스 감도 측정 장치를 이용하여 상기 제작된 수직 배향된 탄소나노튜브를 가스 흡착시켰고, 전자방출(field electron emission) 현상을 적용시켜 흡착된 가스를 탈착시켰다. 따라서, 본 발명은 기존의 반도체형 가스센서보다 단순한 공정으로 가스 감지막을 제작하여 흡착된 가스를 히터물질로 온도를 올려 탈착 시키는 것이 아니라 새로운 방법인 탄소나노튜브 전자방출 현상을 적용시켰다. 탄소나노튜브, 가스센서, 가스감도, 전자방출
Int. CL G01N 27/12 (2011.01) B82Y 15/00 (2011.01)
CPC G01N 27/128(2013.01) G01N 27/128(2013.01) G01N 27/128(2013.01) G01N 27/128(2013.01)
출원번호/일자 1020040098782 (2004.11.29)
출원인 한국과학기술연구원, 주식회사 케이이씨
등록번호/일자 10-0697723-0000 (2007.03.14)
공개번호/일자 10-2006-0059639 (2006.06.02) 문서열기
공고번호/일자 (20070320) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.11.29)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구
2 주식회사 케이이씨 대한민국 서울특별시 서초구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 주병권 대한민국 서울특별시 성북구
2 이양두 대한민국 서울특별시 동대문구
3 문승일 대한민국 경기 수원시 권선구
4 이현재 대한민국 충북 보은군
5 조우성 대한민국 경기도 군포시
6 이종홍 대한민국 서울특별시 중랑구
7 이곤재 대한민국 서울특별시 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이종일 대한민국 서울특별시 영등포구 당산로**길 **(당산동*가) 진양빌딩 *층(대일국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구
2 주식회사 케이이씨 대한민국 서울특별시 금천구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2004.11.29 수리 (Accepted) 1-1-2004-0560163-43
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2004.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2004-0050818-14
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.05.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0312664-26
4 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
2006.07.27 수리 (Accepted) 1-1-2006-0540132-49
5 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.08.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0603318-45
6 의견서
Written Opinion
2006.08.24 수리 (Accepted) 1-1-2006-0603307-43
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2006.10.16 수리 (Accepted) 4-1-2006-5147926-07
8 출원인변경신고서
Applicant change Notification
2006.10.17 수리 (Accepted) 1-1-2006-0748440-18
9 대리인해임신고서
Report on Dismissal of Agent
2006.11.02 수리 (Accepted) 1-1-2006-0804066-48
10 대리인해임신고서
Report on Dismissal of Agent
2006.11.06 수리 (Accepted) 1-1-2006-5087288-31
11 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent
2006.11.07 수리 (Accepted) 1-1-2006-0812249-39
12 서류반려이유안내서
Notice of Reason for Return of Document
2006.11.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2006-0140044-41
13 안내문(직권수리)
Notification(Ex officio Acceptance)
2006.11.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2006-0141049-47
14 등록결정서
Decision to grant
2006.12.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0768348-20
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.11.11 수리 (Accepted) 4-1-2009-5216898-16
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
( 삭 제 )
2 2
( 삭 제 )
3 3
( 삭 제 )
4 4
가스센서 감지막이 장착된 진공 챔버 및 진공 펌프가 구비되고, 상기 진공 챔버 및 진공 펌프에 연결된 라인관과 밸브를 통해 주입된 감지가스와 불활성 가스의 유량을 조절하는 가스 유량조절기와; 상기 진공 챔버와 연결되어 가스의 흡/착탈시 전류 및 저항 변화를 측정하기 위해 제 1전압을 공급하는 제 1전압 공급장치와; 상기 진공 챔프와 연결되어 흡착된 가스를 탈착시켜 전자방출 전류 값을 측정하기 위해 제 2전압을 공급하는 제 2전압 공급장치; 및 제어 프로그램이 구비되며, 상기 제 1 및 제 2전압 공급장치의 전압 제어에 의해 전류/저항/전자방출 전류값을 측정하기 위한 컴퓨터(PC)를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스감도 측정장치
5 5
청구항 4에 있어서, 상기 가스가 흡착된 가스센서 감지막의 캐소드 전극 기판과 애노드 전극 기판을 정열하여 상기 감지막의 에미터 전극 기판에서 방출되는 전자에 의해 흡착된 가스를 탈착시키는 것을 특징으로 하는 가스감도 측정장치
6 6
청구항 4에 있어서, 상기 감지 가스는 O2, NOx, CO2, H2 등 산화성 가스와 NH3, CO, CH4 등 환원성 가스를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스감도 측정장치
7 6
청구항 4에 있어서, 상기 감지 가스는 O2, NOx, CO2, H2 등 산화성 가스와 NH3, CO, CH4 등 환원성 가스를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스감도 측정장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.