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웨이퍼 탑재 유지 제어장치

  • 기술번호 : KST2015121529
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 웨이퍼가 웨이퍼 캐리어에 탑재된 상태에서 웨이퍼 이탈 방지 구동부를 자동으로 구동하여 웨이퍼가 웨이퍼 캐리어로부터 미끌어지거나 이탈되는 것을 방지할 수 있는 웨이퍼 탑재 유지 제어장치를 제공한다. 웨이퍼 탑재 유지 제어장치는 웨이퍼가 탑재되는 웨이퍼 캐리어, 웨이퍼 캐리어에 결합되어 웨이퍼의 탑재 유무를 감지하는 웨이퍼 검출부, 웨이퍼 캐리어의 일측에 결합되며, 웨이퍼가 웨이퍼 캐리어로부터 이탈됨을 방지하는 웨이퍼 이탈 방지 구동부, 및 웨이퍼 검출부로부터 출력되는 웨이퍼 탑재 유무 검출신호에 따라 웨이퍼 이탈 방지 구동부로 구동 제어신호를 공급하여 웨이퍼 탑재상태를 유지시키는 제어부를 포함한다.
Int. CL B25J 13/08 (2006.01) B65G 49/07 (2006.01) H01L 21/677 (2006.01)
CPC H01L 21/67742(2013.01) H01L 21/67742(2013.01) H01L 21/67742(2013.01) H01L 21/67742(2013.01) H01L 21/67742(2013.01)
출원번호/일자 1020100074104 (2010.07.30)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-1246333-0000 (2013.03.15)
공개번호/일자 10-2012-0012139 (2012.02.09) 문서열기
공고번호/일자 (20130321) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.07.30)
심사청구항수 15

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김성일 대한민국 서울특별시 노원구
2 김용태 대한민국 경기도 성남시 분당구
3 김춘근 대한민국 서울특별시 강남구
4 김영환 대한민국 서울특별시 노원구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.07.30 수리 (Accepted) 1-1-2010-0495624-83
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.01.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.02.17 수리 (Accepted) 9-1-2012-0012078-36
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.04.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0235683-51
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.06.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0504453-53
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.06.25 수리 (Accepted) 1-1-2012-0504451-62
7 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal		 2012.11.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0719547-79
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.01.25 수리 (Accepted) 1-1-2013-0075582-27
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.01.25 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2013-0075583-73
10 등록결정서
Decision to grant		 2013.02.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0143563-35
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
웨이퍼가 탑재되는 웨이퍼 캐리어상기 웨이퍼 캐리어에 결합되어 상기 웨이퍼의 탑재 유무를 감지하는 웨이퍼 검출부상기 웨이퍼 캐리어의 일측에 결합되며, 상기 웨이퍼가 상기 웨이퍼 캐리어로부터 이탈됨을 방지하는 웨이퍼 이탈 방지 구동부, 및상기 웨이퍼 검출부로부터 출력되는 웨이퍼 탑재 유무 검출신호에 따라 상기 웨이퍼 이탈 방지 구동부로 구동 제어신호를 공급하여 웨이퍼 탑재상태를 유지시키는 제어부를 포함하며,상기 웨이퍼 이탈 방지 구동부는상기 웨이퍼 캐리어에 일체로 결합되는 제1 보디부와 구동방향을 따라 상기 제1 보디부로부터 이격되어 상기 웨이퍼 탑재부의 상면으로부터 돌출되는 제2 보디부를 포함하는 미끄럼 방지부, 및상기 제1 보디부에 고정 결합되어 상기 제1 보디부와 상기 제2 보디부를 연결하는 로드부를 포함하는 웨이퍼 탑재 유지 제어장치
2 2
제1항에 있어서,상기 웨이퍼 캐리어는손잡이기설정된 두께를 갖고 타측에서 상기 손잡이와 연결된 판형상의 몸체부, 및상기 몸체부의 어느 한 영역에서 상기 몸체부와 상이한 두께를 가지고 상기 웨이퍼가 탑재되는 웨이퍼 탑재부를 포함하는 웨이퍼 탑재 유지 제어장치
3 3
제2항에 있어서,상기 몸체부와 상기 웨이퍼 탑재부가 연결되는 경계면은 상기 웨이퍼의 외주면에 대응하여 라운드 형상으로 형성되는 웨이퍼 탑재 유지 제어장치
4 4
제3항에 있어서,상기 경계면은 경사져서 형성되는 웨이퍼 탑재 유지 제어장치
5 5
제4항에 있어서,상기 경계면은 상기 웨이퍼 탑재부의 바닥면으로부터 상기 몸체부에 가까워질 수록 상기 웨이퍼 탑재부의 면적이 커지는 웨이퍼 탑재 유지 제어장치
6 6
제5항에 있어서,상기 웨이퍼 탑재부는 2개의 다리부를 포함하며,상기 2개의 다리부는 서로 평행하게 이격되고 일단이 상기 몸체부에 결합되며, 타단이 서로 분리된 상태를 유지하는 웨이퍼 탑재 유지 제어장치
7 7
제6항에 있어서,상기 웨이퍼 이탈 방지 구동부는 상기 웨이퍼 탑재부의 타단으로부터 연장되는 부분에 형성되며, 구동시 상기 웨이퍼 탑재부의 상면으로부터 설정된 높이로 일부 돌출되어 상기 웨이퍼의 이탈을 방지하는 웨이퍼 탑재 유지 제어장치
8 8
제7항에 있어서,상기 웨이퍼 이탈 방지 구동부는상기 제1 보디부와 상기 제2 보디부 사이에 배치되어 상기 로드부에 결합되며, 탄성운동을 하는 탄성부를 더 포함하는 웨이퍼 탑재 유지 제어장치
9 9
제8항에 있어서,상기 제2 보디부의 돌출 높이는 적어도 상기 웨이퍼의 두께 이상으로 설정된 웨이퍼 탑재 유지 제어장치
10 10
제8항에 있어서,상기 제2 보디부에서 상기 로드부에 대응되는 위치에 상기 로드부가 삽입되는 홈이 형성된 웨이퍼 탑재 유지 제어장치
11 11
제8항에 있어서,상기 로드부의 주변에 상기 탄성부의 일부분이 삽입되는 안착홈이 상기 제1 보디부에 형성된 웨이퍼 탑재 유지 제어장치
12 12
제8항에 있어서,상기 제2 보디부는 상기 웨이퍼 탑재부에 인접한 부분에서 상기 제1 보디부 방향으로 형성되는 걸림돌기를 포함하는 웨이퍼 탑재 유지 제어장치
13 13
제12항에 있어서,상기 제1 보디부는 상기 걸림돌기에 대응하는 걸림홈을 형성하는 웨이퍼 탑재 유지 제어장치
14 14
제8항에 있어서,상기 미끄럼 방지부는 전자석을 포함하는 웨이퍼 탑재 유지 제어장치
15 15
제2항에 있어서,상기 웨이퍼 검출부는 상기 웨이퍼 탑재부의 상측에 내장되어 상기 웨이퍼의 무게를 검출하는 압전센서를 포함하는 웨이퍼 탑재 유지 제어장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.