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제1금속 및 제2금속산화물을 포함하는 제1박막형성물질로 지지체의 일면(一面)에 동시증착층을 형성하는 제1층형성단계, 및 제1금속을 포함하는 제2박막형성물질로 상기 동시증착층의 상면(上面)에 금속증착층을 형성하는 제2층형성단계를 포함하여, 상기 동시증착층 및 금속증착층이 교대로 증착된 교차증착복합박막을 형성하는 복합박막형성과정; 그리고상기 교차증착복합박막을 열처리하여 다공성복합체를 형성하는 복합체열처리과정;을 포함하고,상기 복합박막형성과정은 상기 제1층형성단계 및 제2층형성단계가 순차로 수행되는 사이클이 1 회 이상 반복되는 것인,비표면적이 2
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제1항에 있어서,상기 제1층형성단계의 시행 시간을 조절함으로써, 상기 다공성복합체의 비표면적이 제어되는 것인 다공성복합체박막의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 복합체열처리과정의 열처리는 상기 제1금속 융점의 1/2 내지 3/4의 온도에서 이루어지는 것인 다공성복합체박막의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 복합체열처리과정에서 열처리는 산소분위기 하에서 300 내지 800 ℃로 이루어지는 것인 다공성복합체박막의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 복합체열처리과정은 제1층형성단계 이후 또는 상기 제2층형성단계 이후에 수행되는 것인 다공성복합체박막의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제조방법은 상기 복합체열처리과정 이후에 화학 에칭을 하는 에칭과정;을 더 포함하는 것인 다공성복합체박막의 제조방법
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제6항에 있어서,상기 화학 에칭은 에칭용액에 상기 다공성복합체를 담구는 과정을 포함하고, 상기 에칭용액은 NH4OH 및 H2O2를 포함하는 것인 다공성복합체박막의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 동시증착층, 금속증착층 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택되는 박막의 형성은 RF 스퍼터링 방법(RF sputtering), DC 스퍼터링 방법(DC sputtering), 또는 펄스 레이저 증착 방법(Pulsed Laser Deposition)을 포함하여 이루어지는 것인 다공성복합체박막의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제1금속은 은(Ag), 금(Au), 알루미늄(Al), 주석(Sn), 리튬(Li), 코발트(Co), 망간(Mn), 니켈(Ni), 철(Fe), 란탄(La), 및 사마리움(Sm)으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나의 금속인 것인 다공성복합체박막의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제2금속산화물은 리튬(Li), 코발트(Co), 망간(Mn), 및 니켈(Ni)으로 이루어진 군에서 2 종 이상 원소가 포함된 금속 산화물;리튬(Li), 철(Fe), 인(P), 및 불소(F)로 이루어진 군에서 3 종 이상 원소가 포함된 금속 산화물; 또는란탄(La), 코발트(Co), 망간(Mn), 사마리움(Sm), 및 스트론튬(Sr)으로 이루어진 군에서 선택된 2 종 이상 원소가 포함된 금속산화물인 것인 다공성복합체박막의 제조방법
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제1금속; 및 제2금속산화물;을 포함하는 박막으로,상기 박막은 평균 크기가 0
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제11항에 있어서,상기 제1금속은 은(Ag), 금(Au), 알루미늄(Al), 주석(Sn), 리튬(Li), 코발트(Co), 망간(Mn), 니켈(Ni), 철(Fe), 란탄(La), 및 사마리움(Sm)으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나의 금속인 것인 다공성복합체박막
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제11항에 있어서,상기 제2금속산화물은 리튬(Li), 코발트(Co), 망간(Mn), 및 니켈(Ni)으로 이루어진 군에서 2 종 이상 원소가 포함된 금속 산화물;리튬(Li), 철(Fe), 인(P), 및 불소(F)로 이루어진 군에서 3 종 이상 원소가 포함된 금속 산화물; 또는란탄(La), 코발트(Co), 망간(Mn), 사마리움(Sm), 및 스트론튬(Sr)으로 이루어진 군에서 선택된 2 종 이상 원소가 포함된 금속산화물인 것인, 다공성복합체박막
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