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외부 부하에 대하여 전압 변화를 나타내며, 제1 차원상의 위치와 접촉 힘을 측정하는 압력형 센서인 하나 이상의 제1 촉각 센서; 상기 제1 촉각 센서를 가로지르는 방향으로 평행하게 적층되며, 압전소자의 임피던스 변화를 통하여 제2 차원상의 위치와 접촉 시간을 측정하는 압전형 센서인 하나 이상의 제2 촉각 센서; 상기 제2 촉각 센서에 적층되어 상기 제2 촉각 센서의 전위차를 유도하는 전위차 유도층; 및상기 제1 촉각 센서와 상기 제2 촉각 센서 상에 각각 적층되는 제1 스페이서 및 제2 스페이서를 포함하는 것을 특징으로 하는 촉각 센서
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제 1 항에 있어서,상기 제1 촉각 센서가 적층되는 베이스 층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 촉각 센서
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제 1 항에 있어서,상기 제1 촉각 센서는,외부 부하에 대하여 전압 변화가 나타나는 압력 센서부, 및상기 압력 센서부에 연결된 입력단과 출력단을 포함하는 것을 특징으로 하는 촉각 센서
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제 1 항에 있어서,상기 제2 촉각 센서는,외부 부하에 대하여 전위차가 발생하는 압전 센서부, 및상기 압전 센서부에 전기적으로 연결되는 제1 전극 및 제2 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 촉각 센서
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제 1 항에 있어서,상기 제1 촉각 센서 위에 적층되는 제1 전도층; 및상기 전위차 유도층이 적층되는 제2 전도층을 포함하는 것을 특징으로 하는 촉각 센서
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제 6 항에 있어서,하나 이상의 상기 제1 전도층 및 하나 이상의 상기 제2 전도층은 상기 제2 촉각 센서와 나란하게 적층되는 것을 특징으로 하는 촉각 센서
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제 7 항에 있어서,상기 제1 전도층 및 상기 제2 전도층은, 일 부분은 상기 제2 촉각 센서를 사이에 두고 배치되고, 나머지 부분은 서로 접촉할 수 있도록 마주보도록 배치되는 것을 특징으로 하는 촉각 센서
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제 1 항에 있어서,상기 제1 및 제2 촉각 센서, 전위차 유도층 및 제1 및 제2 스페이서 중 하나 이상은 유연성과 탄성을 갖는 물질로 만들어지는 것을 특징으로 하는 촉각 센서
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제 1 항에 있어서,상기 제1 촉각 센서는 압력 센서(FSR)인 것을 특징으로 하는 촉각 센서
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제 1 항에 있어서,상기 제2 촉각 센서는 전도성 폴리플루오린화비닐리덴, 전도성 압전 세라믹스 및 수정 중 어느 하나로 구성된 센서인 것을 특징으로 하는 촉각 센서
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제 1 항에 있어서,상기 전위차 유도층은 실리콘 층인 것을 특징으로 하는 촉각 센서
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제 2 항에 있어서,상기 베이스 층은 폴리염화비닐 또는 폴리에스테르 필름인 것을 특징으로 하는 촉각 센서
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제 6 항에 있어서,상기 제1 전도층은 알루미늄을 포함하고,상기 제2 전도층은 구리를 포함하는 것을 특징으로 하는 촉각 센서
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베이스 층 위에 하나 이상의 압력형 제1 촉각 센서를 평행하게 적층하는 단계;상기 제1 촉각 센서를 가로지르도록 압전형 제2 촉각 센서를 적층하는 단계; 및상기 제2 촉각 센서에 전위차 유도층을 적층하는 단계를 포함하고,상기 제2 촉각 센서를 적층하기 전에 소정의 간격으로 이격된 하나 이상의 제1 스페이서를 적층하거나, 상기 제2 촉각 센서를 적층한 후에 소정의 간격으로 이격된 하나 이상의 제2 스페이서를 적층하는 것을 특징으로 하는 촉각 센서 제조 방법
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제 18 항에 있어서,상기 제1 촉각 센서를 적층 한 후에, 제1 전도층을 적층하는 단계; 및상기 전위차 유도층을 적층하기 전에, 제2 전도층을 적층하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 촉각 센서 제조 방법
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