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보라진 다량체를 전구체로 활용하여 금속촉매 효과로 성장된 고품질의 질화 붕소막 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015123987
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 보라진 다량체를 용매에 녹여 질화 붕소 전구체 용액을 제조하고, 이를 금속촉매층의 상층 또는 하층에 코팅한 후 어닐링 하여 고품질의 고결정성 육방 질화 붕소막을 손쉽게 합성할 수 있게 하는, 보라진 다량체를 전구체로 활용하여 금속촉매 효과로 성장된 고품질의 질화 붕소막 및 그 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에서는 종래의 CVD 방법에서 문제되던 기체 전구체 제어 및 증기압 제어 등의 문제점을 해결하여 적은 비용으로 간단하게 고품질의 육방 질화 붕소막을 합성할 수 있게 되었으며 또한, 다양한 구조 및 재료에 육방 질화 붕소막을 코팅 할 수 있고, 원하는 면적에 선택적 코팅이 가능하며, 대면적화가 용이하여 복합 재료 및 다양한 재료의 코팅 응용에 용이하다.
Int. CL C01B 21/064 (2006.01) B01J 23/755 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020130113046 (2013.09.24)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-1480817-0000 (2015.01.05)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20150113) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.09.24)
심사청구항수 20

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김명종 대한민국 전북 완주군
2 박성찬 대한민국 전북 군산시 부골*길 **, (
3 조현진 대한민국 전북 완주군
4 배수강 대한민국 경남 김해시 금관대로**
5 박진형 대한민국 서울 성동구
6 강정호 대한민국 경기 용인시 수지구
7 강상욱 대한민국 경기 용인시 수지구
8 이창협 대한민국 전북 전주시 완산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영철 대한민국 서울특별시 종로구 종로*길 **, **층 케이씨엘특허법률사무소 (수송동, 석탄회관빌딩)
2 김 순 영 대한민국 서울특별시 종로구 종로*길 **, **층 케이씨엘특허법률사무소 (수송동, 석탄회관빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.09.24 수리 (Accepted) 1-1-2013-0862104-76
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2013.10.15 수리 (Accepted) 1-1-2013-0928278-26
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
4 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2014.05.19 수리 (Accepted) 1-1-2014-0469043-50
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2014.06.03 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2014.07.10 수리 (Accepted) 9-1-2014-0056473-57
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.08.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0575257-79
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.10.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0971145-06
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.10.13 수리 (Accepted) 1-1-2014-0971144-50
10 등록결정서
Decision to grant		 2014.12.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0893140-17
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번호 청구항
1 1
보라진 다량체 합성 단계;상기 보라진 다량체와 유기 용매를 혼합하여 질화 붕소 전구체 용액을 제조하는 단계;상기 제조된 전구체 용액을 숙성하여 점도를 조절하는 단계;상기 숙성된 전구체 용액을 금속촉매기판 상에 코팅하는 단계; 및상기 코팅 후, 코팅된 보라진 다량체의 상전이를 일으켜 육방 질화 붕소막을 제조하는 단계;를 포함하는 보라진 다량체를 이용한 고품질의 질화 붕소막 제조방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기 제조된 육방 질화 붕소막을 고분자 보호막을 이용하여 기판에 전사시키는 단계를 더 포함하는 보라진 다량체를 이용한 고품질의 질화 붕소막 제조방법
3 3
보라진 다량체 합성 단계;상기 보라진 다량체와 유기 용매를 혼합하여 질화 붕소 전구체 용액을 제조하는 단계;상기 제조된 전구체 용액을 숙성하여 점도를 조절하는 단계;상기 숙성된 전구체 용액을 기판 상에 코팅하는 단계; 및상기 코팅된 전구체 용액 상에 금속촉매를 증착시키고, 코팅된 보라진 다량체의 상전이를 일으켜 육방 질화 붕소막을 제조하는 단계;를 포함하는 보라진 다량체를 이용한 고품질의 질화 붕소막 제조방법
4 4
제 1 항 또는 제 3 항에 있어서, 상기 제조된 육방 질화 붕소막의 상지층(overlayer)에 증착된 금속촉매 또는 하지층(underlayer)의 금속촉매기판을 제거하기 위하여, 과황산암모늄(Ammonium persulfate), 염화철(FeCl3), 질산(nitric acid), 염산(hydrochloric acid) 및 황산(sulfuric acid) 에칭 용액으로 이루어지는 군에서 선택되는 하나 이상의 용액으로 처리하는 단계를 더 포함하는 보라진 다량체를 이용한 고품질의 질화 붕소막 제조방법
5 5
제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 코팅 단계 후, 유기 용매를 제거하기 위하여 가열하는 베이킹 단계를 더 포함하는 보라진 다량체를 이용한 고품질의 질화 붕소막 제조방법
6 6
제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 보라진 다량체 합성 단계는 보라진을 열적 다량화 반응시키는 것인 보라진 다량체를 이용한 고품질의 질화 붕소막 제조방법
7 7
제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 유기 용매는 벤젠, 클로로벤젠, 니트로벤젠, 톨루엔, 페놀, 헥산 및 시클로헥산으로 이루어지는 군에서 선택되는 하나 이상인 보라진 다량체를 이용한 고품질의 질화 붕소막 제조방법
8 8
제 1 항 또는 제 3 항에 있어서, 상기 전구체 용액 숙성 시, 점도 조절을 위하여 -24℃ 내지 -36℃ 온도 범위 내에서 냉장 보관하는 보라진 다량체를 이용한 고품질의 질화 붕소막 제조방법
9 9
제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 금속촉매기판 또는 금속촉매의 금속은 니켈, 팔라듐, 백금, 구리, 티타늄, 루테늄, 크롬, 철, 알루미늄 및 은으로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상 또는 이들의 합금인 보라진 다량체를 이용한 고품질의 질화 붕소막 제조방법
10 10
제 1 항에 있어서,상기 금속촉매기판은 어닐링(Annealing) 처리, 전기화학적 연마(Electro-Chemical Polishing) 처리 및 금속 표면 클리닝(Cleaning) 중 선택된 하나 이상의 처리를 거친 것인 보라진 다량체를 이용한 고품질의 질화 붕소막 제조방법
11 11
제 10 항에 있어서,상기 금속 표면 클리닝 처리는 금속 에천트(metal etchant), 아세톤(acetone), 에탄올(ethanol), 메탄올(methanol) 및 이소프로판올(isopropanol)로 이루어지는 군에서 선택되는 하나 이상으로 금속 기판의 표면을 클리닝 하는 것인 보라진 다량체를 이용한 고품질의 질화 붕소막 제조방법
12 12
제 1 항에 있어서,상기 금속촉매기판의 두께는 100㎚ 내지 40㎛인 보라진 다량체를 이용한 고품질의 질화 붕소막 제조방법
13 13
제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 코팅은 불활성 분위기 조건 하에서 스핀 코팅, 스프레이 코팅, 드랍 코팅 및 딥 코팅으로 이루어지는 군에서 선택되는 하나 이상의 방법으로 이루어지는 보라진 다량체를 이용한 고품질의 질화 붕소막 제조방법
14 14
제 13 항에 있어서,상기 코팅 시 불활성 분위기 조건은 아르곤 및 질소로 이루어지는 군에서 선택되는 하나 이상 또는 이들의 혼합 가스를 포함하는 분위기인 보라진 다량체를 이용한 고품질의 질화 붕소막 제조방법
15 15
제 3 항에 있어서,상기 증착은 스퍼터링, 열적 증착 및 전자빔 증착으로 이루어지는 군에서 선택되는 하나 이상의 방법으로 이루어지는 보라진 다량체를 이용한 고품질의 질화 붕소막 제조방법
16 16
제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 보라진 다량체로부터 육방 질화 붕소로의 상전이는 가스 분위기 조건 하에서, 열적 방법, 플라즈마, 레이저, 전자빔, 이온빔 및 자외선 에너지로 이루어지는 군에서 선택되는 하나 이상의 방법으로 진행시키는 보라진 다량체를 이용한 고품질의 질화 붕소막 제조방법
17 17
제 16 항에 있어서,상기 상전이 시 가스 분위기 조건은 아르곤, 질소, 수소, 암모니아 및 헬륨으로 이루어지는 군에서 선택되는 하나 이상 또는 이들의 혼합 가스를 포함하는 분위기인 보라진 다량체를 이용한 고품질의 질화 붕소막 제조방법
18 18
제 16 항에 있어서,상기 상전이는 열적 방법으로 진행되고,상기 열적 방법은 800 내지 1200℃ 온도 범위 내에서 1시간 내지 2시간 열처리하는 것인 보라진 다량체를 이용한 고품질의 질화 붕소막 제조방법
19 19
제 18 항에 있어서,상기 열적 방법 진행 시, 반응 챔버 내의 압력은 100mtorr 내지 760torr 범위 이내인 보라진 다량체를 이용한 고품질의 질화 붕소막 제조방법
20 20
제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 기판은 실리콘, 실리콘 옥사이드, 사파이어, 쿼츠, 글라스, 그라파이트, 산화인듐, 폴리아크릴로니트릴(PAN), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET), 폴리디메틸실록산(PDMS), 폴리에틸렌(PE), 철강 및 탄소섬유로 이루어지는 군에서 선택되는 하나 이상의 재질인 보라진 다량체를 이용한 고품질의 질화 붕소막 제조방법
21 21
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1 미래창조과학부 전북대학교 신기술융합형성장동력사업 판상 나노입자를 이용한 물리적 수소차단기술개발(2N36300)
2 산업통상자원부 (주)상보 미래산업선도기술개발사업 그래핀 응용 하이배리어 복합필름 기술개발(2MR1460)