| 1 |
1
진공 상태로 유지되는 진공조 내부에 촉매 성분으로 사용되는 고체 원소를 증착원으로부터 스퍼터링하여 상기 고체 원소의 플라즈마 이온을 발생시키고, 상기 발생된 플라즈마 이온으로부터 이온화된 촉매 성분을 다공성 담체 표면으로 가속하여 주입시키는 것을 특징으로 하는 나노입자 복합체 촉매의 제조방법
|
| 2 |
2
제1항에서,상기 고체 원소 플라즈마 이온은 증착원에 펄스 직류 전력을 인가하여 발생시키는 것을 특징으로 하는 나노입자 복합체 촉매의 제조방법
|
| 3 |
3
제2항에 있어서,상기 펄스 직류 전력은, 밀도가 10 W/cm2∼ 10 kw/cm2이고, 1 Hz ∼ 10 kHz의 주파수 및 10 usec ∼ 1 msec의 펄스폭을 갖는 것을 특징으로 하는 나노입자 복합체 촉매의 제조방법
|
| 4 |
4
제2항에서, 상기 다공성 담체에는 고체 원소 플라즈마 이온을 다공성 담체 측으로 가속시키기 위해 상기 펄스 직류 전력에 동기화된 전압 펄스가 인가되는 것을 특징으로 하는 나노입자 복합체 촉매의 제조방법
|
| 5 |
5
제4항에 있어서,상기 전압 펄스는 1 Hz ∼ 10 kHz의 주파수, 1 usec ∼ 200 usec의 펄스폭 및 -1 kv ∼ -100 kV의 음(-)의 펄스 전압을 갖는 것을 특징으로 하는 나노입자 복합체 촉매의 제조방법
|
| 6 |
6
제1항에 있어서,상기 진공조에는 0
|
| 7 |
7
제1항에서,상기 다공성 담체는 Si-O, Sn-O, Al-O, Cr-O, Mo-O, Ti-O, Zr-O, Mg-O, W-O, V-O, Sb-O, RE(희토류: Sr, Y, 란타넘족)-O계의 산화물로 이루어지는 그룹에서 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는 나노입자 복합체 촉매의 제조방법
|
| 8 |
8
제1항에서,상기 고체 원소는 Au, Ag, Cu, Co, Ni, Pt, Pd 및 Rh으로 이루어지는 그룹에서 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는 나노입자 복합체 촉매의 제조방법
|
| 9 |
9
제1항에서,상기 진공조 내부에는 플라즈마가 추가로 도입되는 것을 특징으로 하는 나노입자 복합체 촉매의 제조방법
|
| 10 |
10
제1항에서,상기 다공성 담체는 두께 1-100 μm의 담체층이 금속 또는 세라믹 기판상에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 나노입자 복합체 촉매의 제조방법
|
| 11 |
11
내부가 진공 상태로 유지되는 진공조; 펄스 직류 전력을 인가하여 스퍼터링함으로써 상기 진공조 내부로 고체 원소의 이온을 방출하는 증착원; 및 상기 증착원에 대향하여 상기 진공조 내부에 배치되며 상기 펄스 직류 전력에 동기화된 고전압 펄스에 의해 고체 원소의 이온이 주입되는 다공성 담체를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노입자 복합체 촉매 제조를 위한 장치
|
| 12 |
12
제11항에서,상기 진공조에는 고체 원소의 이온을 플라즈마 상태로 만들기 위한 플라즈마 발생 가스가 주입되는 것을 특징으로 하는 나노입자 복합체 촉매의 제조 장치
|
| 13 |
13
제12항에서,상기 진공조 내부에는 플라즈마가 추가로 도입되는 것을 특징으로 하는 나노입자 복합체 촉매의 제조 장치
|
