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롤투롤 패턴 형성 장치 및 롤투롤 패턴 형성 방법

  • 기술번호 : KST2015124135
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 롤투롤 패턴 형성 장치는 기판을 일 방향으로 이송하며, 상호 이격된 복수의 롤부, 상기 복수의 롤부 중 이웃하는 롤부 사이에서 상기 기판 상에 위치하며, 상기 기판에 패턴을 형성하는 패턴 형성부, 상기 기판을 사이에 두고 상기 패턴 형성부와 대응하고 있으며, 상기 기판을 흡착하는 흡착부, 및 상기 패턴 형성부와 이웃하며, 상기 패턴에 광을 조사하는 광 조사부 및 상기 기판에 상기 패턴이 형성되고, 상기 패턴에 광이 조사되도록 상기 롤부, 상기 패턴 형성부, 상기 흡착부 및 상기 광 조사부를 제어하는 제어부를 포함한다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC H01L 21/0273(2013.01) H01L 21/0273(2013.01)
출원번호/일자 1020120084553 (2012.08.01)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-1343010-0000 (2013.12.12)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20131218) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.08.01)
심사청구항수 18

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 임정아 대한민국 경기 고양시 일산서구
2 송용원 대한민국 대전 중구
3 홍재민 대한민국 서울 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 서울특별시 성북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.08.01 수리 (Accepted) 1-1-2012-0617712-01
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.03.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.04.09 수리 (Accepted) 9-1-2013-0024869-05
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.05.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0376527-00
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.07.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0674841-97
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.07.25 수리 (Accepted) 1-1-2013-0674838-59
7 등록결정서
Decision to grant		 2013.11.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0833979-65
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판을 일 방향으로 이송하며, 상호 이격된 복수의 롤부;상기 복수의 롤부 중 이웃하는 롤부 사이에서 상기 기판 상에 위치하며, 상기 기판에 패턴을 형성하는 패턴 형성부;상기 기판을 사이에 두고 상기 패턴 형성부와 대응하고 있으며, 상기 기판을 흡착하는 흡착부; 및상기 패턴 형성부와 이웃하며, 상기 패턴에 광을 조사하는 광 조사부; 및상기 기판에 상기 패턴이 형성되고, 상기 패턴에 광이 조사되도록 상기 롤부, 상기 패턴 형성부, 상기 흡착부 및 상기 광 조사부를 제어하는 제어부를 포함하며,상기 기판은 플렉서블(flexible)하며,상기 롤부는,상기 기판 상에 위치하고, 상기 기판의 일 부분을 지지하며 회전하는 제1 서브롤; 및상기 기판을 사이에 두고 상기 제1 서브롤과 대응하며, 상기 기판의 타 부분을 지지하며 회전하는 제2 서브롤을 포함하며,상기 제어부는 상기 제1 서브롤과 상기 제2 서브롤 사이의 간격을 조절하는 롤투롤 패턴 형성 장치
2 2
삭제
3 3
제1항에서,상기 제어부는 상기 기판의 판면과 나란한 제1 방향, 상기 기판의 판면과 나란하며 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향, 및 상기 제2 방향과 교차하며 상기 기판의 판면과 수직인 제3 방향 각각으로 상기 패턴 형성부를 구동하는 롤투롤 패턴 형성 장치
4 4
제1항에서,상기 흡착부는 공기를 흡입하는 하나 이상의 제1 흡입구를 포함하는 롤투롤 패턴 형성 장치
5 5
제1항에서,상기 광 조사부가 조사하는 상기 광은 백색 펄스광(pulsed light)인 패턴 형성 장치
6 6
제1항에서,상기 흡착부와 이웃하여 상기 기판을 사이에 두고 상기 광 조사부와 대응하고 있으며, 상기 기판을 평탄화하는 평탄화부를 더 포함하는 패턴 형성 장치
7 7
제6항에서,상기 평탄화부는 공기를 흡입하는 하나 이상의 제2 흡입구를 포함하는 롤투롤 패턴 형성 장치
8 8
제6항에서,상기 흡착부와 상기 기판 사이에 형성되는 압력은 상기 평탄화부와 상기 기판 사이에 형성되는 압력 대비 큰 롤투롤 패턴 형성 장치
9 9
제8항에서,상기 흡착부와 상기 기판 사이에 형성되는 압력은 0
10 10
제1항, 제3항 내지 제9항 중 어느 한 항에 따른 롤투롤 패턴 형성 장치를 제공하는 단계;상기 상호 이격된 복수의 롤부에 기판을 지지시키는 단계;상기 복수의 롤부를 회전시켜 상기 기판의 일 영역을 상기 패턴 형성부에 대응시키는 단계;상기 패턴 형성부를 이용하여 상기 기판의 일 영역에 패턴을 형성하는 단계;상기 복수의 롤부를 회전시켜 상기 기판의 일 영역을 상기 광 조사부에 대응시키는 단계; 및상기 광 조사부를 이용하여 상기 패턴에 광을 조사하여 상기 패턴을 소성 또는 소결하는 단계를 포함하며,상기 기판은 플렉서블한 롤투롤 패턴 형성 방법
11 11
삭제
12 12
제10항에서,상기 광은 백색 펄스광인 롤투롤 패턴 형성 방법
13 13
제12항에서,상기 백색 펄스광의 펄스 에너지는 0
14 14
제12항에서,상기 백색 펄스광의 조사 시간은 0
15 15
제12항에서,상기 백색 펄스광의 펄스 횟수는 1 내지 99회인 롤투롤 패턴 형성 방법
16 16
제10항에서,상기 패턴 형성부를 이용하여 상기 기판의 일 영역에 패턴을 형성하는 단계는 상기 흡착부에 상기 기판의 일 영역을 흡착시키고 수행하는 롤투롤 패턴 형성 방법
17 17
제16항에서,상기 흡착부와 상기 기판의 일 영역 사이의 압력은 0
18 18
제10항에서,상기 복수의 롤부를 회전시켜 상기 기판의 일 영역을 상기 광 조사부에 대응시키는 단계는 상기 흡착부에 흡착된 상기 기판의 일 영역을 흡착 해제시키고 수행하는 롤투롤 패턴 형성 방법
19 19
제6항에 따른 롤투롤 패턴 형성 장치를 제공하는 단계;상기 상호 이격된 복수의 롤부에 기판을 지지시키는 단계;상기 복수의 롤부를 회전시켜 상기 기판의 일 영역을 상기 패턴 형성부에 대응시키는 단계;상기 흡착부에 상기 기판의 일 영역을 흡착시키고 상기 패턴 형성부를 이용하여 상기 기판의 일 영역에 패턴을 형성하는 단계;상기 복수의 롤부를 회전시켜 상기 기판의 일 영역을 상기 광 조사부에 대응시키는 단계; 및상기 평탄화부에 상기 기판의 일 영역을 평탄화시키고 상기 광 조사부를 이용하여 상기 패턴에 광을 조사하여 상기 패턴을 소성 또는 소결하는 단계를 포함하는 롤투롤 패턴 형성 방법
20 20
제19항에서,상기 평탄화부와 상기 기판의 일 영역 사이의 압력은 0
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US09248471 US 미국 FAMILY
2 US20140037863 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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1 US2014037863 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US9248471 US 미국 DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국기계연구원 지식경제부기타 나노잉크를 이용한 박막형 슈퍼캐패시터 연속 생산공정 및 시스템 개발(2M29410)