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박막 특성을 개선할 수 있는 스퍼터링 증착 방법 및 장치

  • 기술번호 : KST2015125591
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따라서 진공 챔버 내부를 소정의 진공 상태로 만들기 위한 펌핑 시스템, 스퍼터링 타겟, 상기 타겟에 대향되게 배치되어, 상기 타겟으로부터 나오는 물질이 증착되어 박막이 형성되는 플렉서블 기판, 가스 유입구가 마련된 진공 챔버, 상기 진공 챔버 내부에 플라스마를 발생시키는 플라스마 생성기를 포함하는 스퍼터링 증착 장치가 제공되는데, 상기 장치는 상기 진공 챔버 내부에 제공되는 플렉서블 기판의 양단에 스트레스를 인가하여 상기 플렉서블 기판이 휘어지도록 구성된 스트레스 인가 수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 21/203 (2006.01)
CPC C23C 14/50(2013.01)
출원번호/일자 1020090086386 (2009.09.14)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1076675-0000 (2011.10.19)
공개번호/일자 10-2011-0028790 (2011.03.22) 문서열기
공고번호/일자 (20111026) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.09.14)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조용수 대한민국 서울특별시 서초구
2 최홍락 대한민국 경기도 화성시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김승욱 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로 ***, ***호(서초동, 두산베어스텔)(아이피마스터특허법률사무소)
2 이채형 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 ** (대치동 동구빌딩 *층) Neo국제특허법률사무소

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.09.14 수리 (Accepted) 1-1-2009-0563385-70
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.03.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0133762-66
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.05.09 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0339717-40
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.05.09 수리 (Accepted) 1-1-2011-0339714-14
5 등록결정서
Decision to grant		 2011.09.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0541546-14
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5252006-10
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
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번호 청구항
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삭제
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진공 챔버 내부를 소정의 진공 상태로 만들기 위한 펌핑 시스템, 스퍼터링 타겟, 상기 타겟에 대향되게 배치되어, 상기 타겟으로부터 나오는 물질이 증착되어 박막이 형성되는 플렉서블 기판, 가스 유입구가 마련된 진공 챔버, 상기 진공 챔버 내부에 플라스마를 발생시키는 플라스마 생성기를 포함하는 스퍼터링 증착 장치에 있어서, 상기 진공 챔버 내부에 제공되는 플렉서블 기판의 양단에 스트레스를 인가하여 상기 플렉서블 기판이 휘어지도록 구성된 스트레스 인가 수단을 포함하고, 상기 스트레스 인가 수단은 사이에 상기 플렉서블 기판을 안착시켜 유지하도록 구성된 한 쌍의 홀더를 포함하고, 상기 한 쌍의 홀더 중 적어도 하나에는 거리 조절부가 제공되는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 증착 장치
3 3
청구항 2에 있어서, 상기 스트레스 인가 수단은 상기 거리 조절부를 이용하여 홀더 사이의 거리를 좁혀 상기 플렉서블 기판이 스퍼터링 타겟을 향해 휘어지도록 구성되는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 증착 장치
4 4
청구항 3에 있어서, 상기 스트레스 인가 수단은 상기 플렉서블 기판이 소정의 곡률 반경을 갖고 상기 스퍼터링 타겟을 향해 휘어지도록 스트레스를 인가하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 증착 장치
5 5
청구항 4에 있어서, 상기 스트레스 인가 수단은 상기 곡률 반경을 변화시키면서 상기 스트레스를 인가할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 스퍼터링 증착 장치
6 6
청구항 2 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서, 상기 스트레스 인가 수단은 상기 거리 조절부를 이용하여 상기 홀더 사이의 거리를 원상태로 복귀시키면, 상기 기판의 양단에 가해진 스트레스를 해제하여 그 기판을 원래의 편평한 상태로 복귀시키도록 구성되는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 증착 장치
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플렉서블 기판에 박막을 증착하는 스퍼터링 증착 방법에 있어서, (a) 상기 플렉서블 기판을 거리 조절이 가능한 스트레스 인가 수단에 안착시키는 단계와; (b) 상기 스트레스 인가 수단의 거리를 조절하여 상기 기판의 양단에 스트레스를 인가하여, 상기 기판이 소정의 곡률 반경을 갖고 휘어지도록 하는 단계와; (c) 상기 휘어진 플렉서블 기판 상에 박막을 증착하는 단계와; (d) 상기 박막 증착 후, 상기 스트레스 인가 수단의 거리를 조절하여, 상기 기판에 가해진 스트레스를 해제하는 단계 를 포함하는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 증착 방법
8 8
청구항 7에 있어서, 상기 스트레스 인가 수단은 사이에 상기 플렉서블 기판을 안착시켜 유지하도록 구성된 한 쌍의 홀더를 포함하고, 상기 한 쌍의 홀더 중 적어도 하나에는 거리 조절부가 제공되는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 증착 방법
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청구항 8에 있어서, 상기 (b) 단계에 있어서, 상기 거리 조절부를 이용하여 홀더 사이의 거리가 좁혀 상기 플렉서블 기판이 스퍼터링 타겟을 향해 휘어지도록 하는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 증착 방법
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청구항 9에 있어서, 상기 (b) 단계에 있어서, 상기 스트레스 인가 수단은 상기 곡률 반경을 변화시키면서 상기 스트레스를 인가할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 스퍼터링 증착 방법
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