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기판 정렬 모듈 및 이를 구비하는 리소그래피 장치

  • 기술번호 : KST2015129098
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 기판과 스탬프를 정밀하게 정렬시키고, 정렬된 기판과 스탬프의 위치를 유지시킬 수 있는 기판 정렬 모듈과 이를 구비하는 리소그래피 장치가 개시된다. 기판과 스탬프를 정렬시키고 정렬된 기판 및 스탬프의 위치를 유지할 수 있는 기판 정렬 모듈은, 기판이 장착되는 기판 척, 상기 기판 척이 장착되는 기판 홀더, 상기 기판 상부에 구비되어 스탬프가 장착되는 스탬프 척, 상기 스탬프 척이 장착되는 스탬프 홀더, 상기 스탬프 홀더에 연결되어 상기 기판과 상기 스탬프를 제1 정렬하기 위한 스테이지부 및 상기 기판 홀더에 연결되어 상기 기판과 상기 스탬프를 제2 정렬하기 위한 압전소자를 포함하여 구성된다.
Int. CL H01L 21/68 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01)
CPC H01L 21/682(2013.01) H01L 21/682(2013.01) H01L 21/682(2013.01) H01L 21/682(2013.01)
출원번호/일자 1020110013778 (2011.02.16)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1110420-0000 (2012.01.19)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20120224) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.02.16)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 임형준 대한민국 대전광역시 유성구
2 이재종 대한민국 대전광역시 유성구
3 최기봉 대한민국 대전광역시 유성구
4 김기홍 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 무한 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(역삼동,화물재단빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.02.16 수리 (Accepted) 1-1-2011-0111425-33
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2011.02.22 수리 (Accepted) 1-1-2011-0125799-65
3 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2011.03.02 수리 (Accepted) 1-1-2011-0150939-47
4 우선심사신청관련 서류제출서
Submission of Document Related to Request for Accelerated Examination		 2011.04.01 수리 (Accepted) 1-1-2011-0238395-40
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
7 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.05.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
8 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.05.26 수리 (Accepted) 9-1-2011-0046516-39
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.06.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0304677-49
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.08.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0596545-00
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.08.02 수리 (Accepted) 1-1-2011-0596544-54
12 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.10.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0567965-39
13 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.10.18 수리 (Accepted) 1-1-2011-0811824-77
14 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.10.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0811825-12
15 등록결정서
Decision to grant		 2011.12.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0728263-84
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판이 장착되는 기판 척;상기 기판 척이 장착되는 기판 홀더;상기 기판 상부에 구비되어 스탬프가 장착되는 스탬프 척;상기 스탬프 척이 장착되는 스탬프 홀더;상기 스탬프 홀더에 연결되어 상기 기판과 상기 스탬프를 제1 정렬하기 위한 스테이지부;상기 기판 홀더에 연결되어 상기 기판과 상기 스탬프를 제2 정렬하기 위한 압전소자; 및상기 스탬프 홀더와 상기 스테이지부를 연결하는 판 스프링 형태를 갖고, 상기 기판과 상기 스탬프가 접촉되었을 때 상기 기판과 상기 스탬프가 맞닿은 면과 동일 높이에 위치하도록 구비되어, 상기 기판과 상기 스탬프 사이의 높이변화 및 각도변화를 정렬시키는 스프링부;를 포함하는 기판 정렬 모듈
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서,상기 스프링부는 상기 스테이지부에 소정의 개구부가 형성되고 상기 개구부 내부에 구비된 스프링 블록을 포함하고,일단이 상기 스탬프 홀더에 연결되고 타단이 상기 스프링 블록에 연결된 제1 스프링; 및일단이 상기 스테이지부에 연결되고 타단이 상기 스프링 블록에 연결된 제2 스프링;을 포함하는 2중 구조로 형성된 기판 정렬 모듈
4 4
제1항에 있어서,상기 스프링부는 상기 스탬프 홀더 둘레를 따라 복수개가 구비된 기판 정렬 모듈
5 5
삭제
6 6
제1항에 있어서,상기 스테이지부는 다수의 스테이지 블록이 적층되어 형성되고,상기 각 스테이지 블록은 그 중앙에 상기 기판과 상기 스탬프가 위치할 수 있도록 상기 기판 및 상기 스탬프보다 크기가 큰 홀이 형성된 기판 정렬 모듈
7 7
제6항에 있어서,상기 스테이지부는 상기 스테이지 블록을 좌우 및 전후 방향으로 직선 이동시키는 선형 가이드와 상기 스테이지 블록을 회전 이동시키는 회전 가이드를 포함하는 기판 정렬 모듈
8 8
제7항에 있어서,상기 선형 가이드는 상기 스테이지 블록의 각각의 사이에 구비되어 상기 각 스테이지 블록을 연결시키도록 구비되고,상기 스테이지 블록의 선형 이동을 조절하기 위한 선형 조절부가 상기 스테이지 블록의 양측에서 서로 마주보도록 구비된 기판 정렬 모듈
9 9
제7항에 있어서,상기 회전 가이드는 상기 스테이지 블록을 연결시키도록 구비되고,상기 스테이지 블록의 회전 이동을 조절하기 위한 회전 조절부가 상기 스테이지 블록의 일측에 구비된 기판 정렬 모듈
10 10
제1항에 있어서,상기 기판 홀더는 상기 기판 척을 자기력, 정전기력, 공기압 중 어느 하나의 형태로 고정시키는 기판 정렬 모듈
11 11
기판과 스탬프가 장착되고 상기 기판과 상기 스탬프의 위치를 정렬하는 기판 정렬 모듈;상기 기판 정렬 모듈을 이동시키는 이송부;상기 기판 정렬 모듈에 장착된 상기 기판과 상기 스탬프의 위치를 측정하는 위치측정부;상기 기판에 자외선을 조사하는 자외선 조사부; 및상기 기판을 상기 스탬프에 대해 가압하는 가압부;를 포함하고,기판 정렬 모듈은,기판이 장착되는 기판 척;상기 기판 척이 장착되는 기판 홀더;상기 기판 상부에 구비되어 스탬프가 장착되는 스탬프 척;상기 스탬프 척이 장착되는 스탬프 홀더;상기 스탬프 홀더에 연결되어 상기 기판과 상기 스탬프를 제1 정렬하기 위한 스테이지부;상기 기판 홀더에 연결되어 상기 기판과 상기 스탬프를 제2 정렬하기 위한 압전소자; 및상기 스탬프 홀더와 상기 스테이지부를 연결하는 판 스프링 형태를 갖고, 상기 기판과 상기 스탬프가 접촉되었을 때 상기 기판과 상기 스탬프가 맞닿은 면과 동일 높이에 위치하도록 구비되어, 상기 기판과 상기 스탬프 사이의 높이변화 및 각도변화를 정렬시키는 스프링부;를 포함하는 리소그래피 장치
12 12
제11항에 있어서,상기 자외선 조사부는 상부에 구비되고, 상기 자외선 조사부에 대응되는 하부에는 상기 가압부가 구비되고,상기 가압부는 수직으로 이동하여 상기 기판 정렬 모듈을 상기 자외선 조사부에 접촉시키도록 작동하며, 상기 가압부의 이동 시 상기 기판 정렬 모듈이 상기 이송부에 이탈하여 상부로 이동되는 리소그래피 장치
13 13
제11항에 있어서,상기 가압부의 상부측에는 상기 기판에 열을 가하기 위한 가열부가 구비된 리소그래피 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 한국기계연구원 나노메카트로닉스사업 다층 나노임프린팅 장비핵심원천기술개발