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나노임프린트 리소그래피 방법

  • 기술번호 : KST2015129357
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 나노임프린트 리소그래피 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게 스탬프의 패턴이 기판 위에 도포된 레지스트에 전사되며, 자외선 조사에 의해 상기 레지스트가 경화되는 나노임프린트 리소그래피 방법에 있어서, 상기 스탬프의 패턴이 전사되는 영역에 선택적으로 자외선이 조사됨으로써, 나노패턴과 마이크로패턴이 복합적으로 형성된 패턴을 제작할 수 있는 나노임프린트 리소그래피 방법에 관한 것이다.
Int. CL G03F 7/00 (2006.01) G03F 7/26 (2006.01)
CPC G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01)
출원번호/일자 1020120025991 (2012.03.14)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1422112-0000 (2014.07.16)
공개번호/일자 10-2013-0104477 (2013.09.25) 문서열기
공고번호/일자 (20140723) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.03.14)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 임형준 대한민국 대전 유성구
2 이재종 대한민국 대전 서구
3 최기봉 대한민국 대전 유성구
4 김기홍 대한민국 대전 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.03.14 수리 (Accepted) 1-1-2012-0205471-95
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.02.01 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.03.08 수리 (Accepted) 9-1-2013-0013975-89
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.08.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0549203-25
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.10.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0909072-38
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.10.08 수리 (Accepted) 1-1-2013-0909086-77
7 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2014.02.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0132459-72
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.03.11 수리 (Accepted) 1-1-2014-0234137-09
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.03.11 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2014-0234128-98
10 등록결정서
Decision to grant
2014.05.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0309402-87
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
스탬프(300)의 패턴이 기판(100) 위에 도포된 레지스트(200)에 전사되며, 자외선 조사에 의해 상기 레지스트(200)가 경화되는 나노임프린트 리소그래피 방법에 있어서,a) 상기 레지스트(200)가 편평하게 도포된 상기 기판(100) 위에 상기 스탬프(300)를 접촉 시켜 상기 스탬프(300)의 패턴이 상기 레지스트(200)에 전사되는 단계; 및b) 상기 스탬프(300)의 상측에 구비되며 대물렌즈(510)를 포함하는 광학수단(500)에 의해 직접 조사된 집광빔이, 상기 스탬프(300)를 투과하여 상기 레지스트(200)에 선택적으로 조사되는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노임프린트 리소그래피 방법
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
제 1항에 있어서,상기 나노임프린트 리소그래피 방법은상기 대물렌즈(510)의 개구수 및 상기 광학수단(500)을 통해 조사되는 빛의 파장에 따라 집광빔의 크기가 조절되는 것을 특징으로 하는 나노임프린트 리소그래피 방법
5 5
제 4항에 있어서,상기 스탬프(300) 두께는상기 대물렌즈(510)의 작동거리보다 얇은 것을 특징으로 하는 나노임프린트 리소그래피 방법
6 6
제 5항에 있어서,상기 나노임프린트 리소그래피 방법은상기 기판(100)에 평평하게 도포된 레지스트(200) 위에 상기 스탬프(300)를 접촉시킨 다음,상기 스탬프(300)에 형성된 패턴과 상기 레지스트(200) 사이에 형성된 공간에 모세관 현상을 이용하여 레지스트(200)를 충진시키는 것을 특징으로 하는 나노임프린트 리소그래피 방법
7 7
제 6항에 있어서,상기 나노임프린트 리소그래피 방법은상기 스탬프(300)가 하측면에 고정되는 스탬프 고정챔버(600)에 공기압이 인가되며,상기 스탬프 고정챔버(600)의 공기압에 의해 상기 스탬프(300)가 가압되는 것을 특징으로 하는 나노임프린트 리소그래피 방법
8 8
제 7항에 있어서,상기 스탬프 고정챔버(600)는내부에 상기 광학수단(500)의 전체 또는 일부영역이 수용되는 것을 특징으로 하는 나노임프린트 리소그래피 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국기계연구원 지경부-국가연구개발사업(II) 폭 1m급 광학필름용 원통형 나노패터닝 공정장비 개발 (1/5)