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질화물 발광소자 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015134422
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 질화물 발광 소자 및 그 제조 방법을 개시한다. 본 발명은 실리콘등의 기판에 돌출부 및 홈부가 형성되도록 기판을 패터닝하고, 기판상의 돌출부 또는 홈부에 선택적으로 박막을 형성하며, 박막의 상부에 일정한 공간이 형성되도록 질화물층을 형성한다. 이렇게 기판과 질화물층이 접하는 면에 공간을 형성하여, 기판과 질화물층이 접하는 면적을 감소시킴으로써, 기판과 질화물층간의 격자 상수 차이로 인해서 발생하는 결함을 감소시킬 수 있고 기판과 질화물층간의 열팽창 계수의 차이로 인해서 발생하는 크랙(crack)을 현저하게 감소시킬 수 있는 효과 및 크랙이 전체 웨이퍼로 확산되는 것을 막는 효과가 있다. 또한, 기판에 형성된 패턴은 활성층에서 발생한 빛이 기판에서 흡수되지 않고 반사되도록 하여, 발광 소자의 발광 효율을 향상시킬 수 있는 효과가 있고, 특히, 기판에 메탈 재질의 박막을 형성하는 경우에는, 박막이 반사층으로 작용하여 발광 효율을 높일 수 있는 효과가 있다. 또한, 기판에 EuO계, CeO계, 또는 다른 박막 포스포(phosphor)로 박막을 형성하는 경우에는 빛의 파장을 변환하여 광변환 LED 또는 화이트 LED를 구현할 수 있는 효과가 있다.
Int. CL H01L 33/20 (2014.01) H01L 33/12 (2014.01)
CPC H01L 33/22(2013.01) H01L 33/22(2013.01) H01L 33/22(2013.01) H01L 33/22(2013.01)
출원번호/일자 1020070038179 (2007.04.19)
출원인 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0863804-0000 (2008.10.09)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20081016) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.04.19)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김태근 대한민국 경기 성남시 분당구
2 임시종 대한민국 서울시 서대문구
3 신영철 대한민국 서울시 서초구
4 한철구 대한민국 경기도 성남시 분당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김정식 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(논현동, 건설회관)(특허법인주원)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울 성북구
2 (주)루미온텍 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2007.04.19 수리 (Accepted) 1-1-2007-0296126-07
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.01.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.02.13 수리 (Accepted) 9-1-2008-0006341-26
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.03.05 수리 (Accepted) 4-1-2008-5034712-96
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2008.03.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0176351-63
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2008.05.09 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0330525-33
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2008.05.09 수리 (Accepted) 1-1-2008-0330521-51
8 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2008.05.26 수리 (Accepted) 1-1-2008-0373334-61
9 등록결정서
Decision to grant
2008.09.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0499796-08
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.06.09 수리 (Accepted) 4-1-2009-5111177-32
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.08.12 수리 (Accepted) 4-1-2010-5149278-93
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-5018243-16
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.04.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5049934-62
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(a) 소정의 기판에 돌출부 및 홈부가 형성되도록 패터닝하는 단계;(b) 상기 기판의 돌출부 또는 홈부의 상부에, 질화물층에서 발생한 광을 반사할 수 있는 재질로, 그 상부에 공간이 형성되도록 질화물층의 성장을 차단하는 박막을 형성하는 단계; 및(c) 상기 박막이 형성된 상기 기판위에 광을 발생시키는 상기 질화물층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 질화물 발광소자 제조 방법
2 2
(a) 소정의 기판에 돌출부 및 홈부가 형성되도록 패터닝하는 단계;(b) 상기 기판의 돌출부 또는 홈부의 상부에 질화물층에서 발생한 광의 파장을 변환할 수 있는 재질로, 그 상부에 공간이 형성되도록 질화물층의 성장을 차단하는 박막을 형성하는 단계; 및(c) 상기 박막이 형성된 상기 기판위에 광을 발생시키는 상기 질화물층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 질화물 발광소자 제조 방법
3 3
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 (c) 단계는상기 박막이 형성된 상기 돌출부 또는 홈부의 상부에 공간이 형성되도록 상기 질화물층을 형성하는 것을 특징으로 하는 질화물 발광소자 제조 방법
4 4
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 (c) 단계는상기 박막이 형성된 상기 기판위에 제 1 질화물 반도체층을 형성하는 단계;상기 제 1 질화물 반도체층 상부에 활성층을 형성하는 단계; 및상기 활성층 상부에 제 2 질화물 반도체층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 질화물 발광소자 제조 방법
5 5
제 4 항에 있어서, 상기 제 1 질화물 반도체층은 측면 성장법에 의해서 형성되는 것을 특징으로 하는 질화물 발광 소자 제조 방법
6 6
삭제
7 7
삭제
8 8
돌출부 및 홈부가 형성되도록 패터닝된 기판;그 상부에 질화물층의 성장을 차단하여 공간이 형성되도록 상기 돌출부 또는 상기 홈부의 상부에 질화물층에서 발생한 광을 반사할 수 있는 재질로 형성된 박막; 및상기 박막이 형성된 상기 기판위에 형성되어 광을 발생시키는 상기 질화물층을 포함하는 것을 특징으로 하는 질화물 발광소자
9 9
돌출부 및 홈부가 형성되도록 패터닝된 기판;그 상부에 질화물층의 성장을 차단하여 공간이 형성되도록 상기 돌출부 또는 상기 홈부의 상부에 질화물층에서 발생한 광의 파장을 변환할 수 있는 재질로 형성된 박막; 및상기 박막이 형성된 상기 기판위에 형성되어 광을 발생시키는 상기 질화물층을 포함하는 것을 특징으로 하는 질화물 발광소자
10 10
제 8 항 또는 제 9 항에 있어서, 상기 질화물층은 상기 박막이 형성된 돌출부 또는 홈부의 상면에 공간이 형성된 것을 특징으로 하는 질화물 발광소자
11 11
제 8 항 또는 제 9 항에 있어서, 상기 질화물층은상기 박막이 형성된 상기 기판위에 형성된 제 1 질화물 반도체층;상기 제 1 질화물 반도체층 상부에 형성된 활성층; 및상기 활성층 상부에 형성된 제 2 질화물 반도체층을 포함하는 것을 특징으로 하는 질화물 발광소자
12 12
삭제
13 13
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 서울시 고려대학교 서울시 산학협력(신기술개발사업) 박막형 형광체를 적용한 고효율 백색 LED개발